PECVD操作手册中英文版

PAGE72ofNUMPAGES127PAGEPAGE72操作手册SINAL–系统氮化硅沉积系统（人工装载）制造商:Roth&RauAGGewerbering3D-09337Hohenstein-Ernstthal,OTWuestenbrandGermany目录1引言....41.1应用和使用……41.2硬件和软件的识别………………41.2.1硬件…41.2.2软件…71.3主要元件的安装介绍…………72一般的操作说明…………82.1射频按钮82.2按钮82.3清单82.4检验盒92.5输入和输出框架………92.6Tooltip93开/关控制系统103.1打开103.2关闭104功能描述和操作……114.1标题124.2信息线124.3动态菜单134.4静态菜单134.5图象区域145标准功能………165.1系统165.2工艺参数……195.3气体系统235.4参数265.4.1系统参数265.4.2工艺参数305.4.3气体参数335.5配方355.6趋向395.7协议425.8上升率测试…435.9外盖控制…445.10控制445.11泵465.12人工传输……486维护506.1测试点………506.1.1主要分布516.1.2机械节点A2546.1.3机械节点A3566.1.4等离子源586.1.5传输系统596.1.6气体系统616.2登录和退出…626.3用户管理………636.4诊断(只针对有权限人员)647信息列表658故障检修671Introduction引言Applicationanduse应用和使用‘SiNALsystem’isacontrolsystemforsurfacecoatingsystems.Itworksasacontinuousflowcontrollerwith5processchambers.Thefollowinglistshowsitsfunctionalityataglance:‘SiNAL系统’是一种表面镀膜控制系统。有5个工艺腔室，连续流动控制的工作方式。以下是它的功能列表：Fullgraphicalrepresentationofthesystemlayoutandthecurrentprocesssequenceaswellasdisplayofallaggregateconditionsandprocessstatusconditions.全部图像表示系统布局、当前工艺次序、并显示所有总体状况和工艺状态。Fullgraphicaltrendfunctionsforpresentvaluesasaprocess-relatedtrend.针对工艺相关趋势的当前数值，系统具有全部的图像趋向功能。Charge-baseddatarecording基于装料的数据记录。Operationinthefollowingmodes:运行于以下模式：Processmodeforautomaticoperationwithfullrecipemanagement,onlineparametersettingsandprotocolfunction工艺模式：自动操作，带有全部配方管理，在线参数设定和协议功能。Servicemodeforsupportingsystemstartup,troubleshooting,systemandcontrollerconfigurationusingmachineparameters维护模式：支持系统启动，故障诊断，使用机器参数进行系统和控制器布局。1.2Identificationofhard-andsoftware硬件和软件的识别1.2.1Hardware硬件ThecontrolsoftwarefortheSiNALsystemisinstalledonanindustrialPC(IntelCeleron2.66GHz,256MBRAM,80GBSeagateHDD,3.5“FD,LGDVDCDROM,AOpengraphicscard,networkinterfacecardonboard,Windows2000English+ServicePack4).ThisPCincludesa15"TFTcolormonitoranda19"keyboardwithtouchpad.SiNAL系统的控制软件安装在PC机上（Intel赛扬2.66GHz，256MBRAM，80GB希捷硬盘，3.5寸软驱，LGDVDCDROM，图形卡，网卡，Windows2000English+ServicePack4），15寸TFT液晶显示器，19寸键盘，触摸垫板。ThecontrolsoftwarehasaccesstothreelocalperipheralunitsofthetypeET200MbyaSI-NECL2controller,CP5613(ProfibusDP),integratedinthePC.TheyareextendedbyI/O-componentsaccordingtotheprocesschannelstoberecorded.Severaldevices(likeEu-rothermheaters,valveblocks,massflowcontrollersandservomotors)aredirectconnectedtotheProfibus.Thisallowsafastdirectaccesstoamassofparametersofeachdevice.ThePC,asmaster,isconnectedtoaTwistedPairline.控制软件通过一个SI-NEC控制器和三个局部外围单元（ET200M类型）连接。CP5613(ProfibusDP)集成在PC机上，根据工艺通道的记录，扩充I/O零件。几个装置（Eu-rotherm加热器，阀组，质量流量计，伺候电动机）直接连接于Profibus。这允许快速直接访问每个装置的参数组。PC机作为主机，连接于一个双绞线。TheplasmasourcesaredriventhroughaCANbusplug-incard(PCI331)inthePC.等离子源通过一个CAN总线插入式卡（PCI331）驱动。DistributionofprofibusaddressesProfibus地址的分布模块/节点Profibus地址PC1电源分配节点(ET200M)3机器节点A2(ET200M)4机器节点A3(ET200M)5Eurotherm2408频率转换器(工艺腔室)12Eurotherm2400加热器(装载lock)14Eurotherm2400加热器(加热腔室)15Eurotherm2400加热器(工艺腔室)16阀组1+2(FestoCPVDIO1)18+19MFC1-3(MKS1179As)21-23Lenze马达1(装载腔室r)41Lenze马达2(加热腔室)42Lenze马达3(工艺腔室)43Lenze马达4(工艺腔室r)44Lenze马达5(冷却腔室)45Lenze马达6(冷却腔室)46Lenze马达7(卸载腔室)47Lenze马达11(卸载台)51Lenze马达24(装载台)64预处理源(RF-发生器)66DistributionofCAN-Bus-NodeID’sCAN-Bus-NodeID’s的分布模块/节点信息ID信息返回ID微波11191微波21292微波31393微波41494微波51595微波61696微波71797微波81898DecentralizedperipheralET200M分散的外围设备ET200MPeripheralnode1(PowerdistributionNode)外围节点1(电源分配节点)Designation名称单元个数分散的外围系统ET200M(IM153)1S7-300数字输入SM321,potentialsseparated,16DI3S7-300数字输出SM322,16DO2S7-300模拟输入SM331,potentialsseparated,8AI2S7-300信号模块的前端插头7Peripheralnode2(MachineNodeA2)外围节点2(机器节点A2)Designation名称Numberofunits分散的外围系统ET200M(IM153)1S7-300数字输入SM321,potentialsseparated,16DI5S7-300数字输出SM322,16DO2S7-300信号模块的前端插头7Peripheralnode2(MachineNodeA3)外围节点2(机器节点A3)Designation名称Numberofunits分散的外围系统ET200M(IM153)1S7-300数字输入SM321,potentialsseparated,16DI3S7-300数字输出SM322,16DO1S7-300模拟输入SM331,potentialsseparated,8AI1S7-300信号模块的前端插头51.2.2Software软件Windows2000EnglishwithServicePack4isusedasoperatingsystemforcontrollingandoperatingPC.采用Windows2000EnglishwithServicePack4操作系统。VisualsystemwithVAC_NT,Version3.0带VAC_NT的可视化系统,3.0版本Graphicvisualizationofalldata,setpoints,processstatesanduserinputs所有数据，设定点，过程状态和用户输入的图像可视化Menu-controlledprocessoperatingwithkeyboardandtouchpad.带键盘和触摸板的菜单控制过程操作Manualoperationforselectedfunctions.已选功能的人工操作Automaticoperationforprocessesusingparameters使用参数过程的自动操作Database-orientedcontrolandmanagementofprocedures数据库导向控制和管理程序Event-controlledmessagelogging事件控制信息的录入Protocolrecordingduringtheprocessrun工艺运行过程的协议记录Diagnosisfunction(I/Olist)诊断功能(I/O清单)1.3Installationinstructionforthemaincomponents主要元件的安装指示FortheinstallationoftheSIMATICperipheralcomponentsseethesectionintheSystemmanual“LocalperipheralequipmentET200M”(OrderNo.:6ES7153-1AA01-8AA0).SIMATIC外围元件的安装参见系统手册“LocalperipheralequipmentET200M”(OrderNo.:6ES7153-1AA01-8AA0).ForSINEC-L2connectioncomplywiththeTechnicalDescriptionandtheInstallationGuidelinesintheManual“CP5613”.SINEC-L2的连接遵守技术描述和和安装向导，在手册“CP5613”。2Generaloperatinginstructions一般的操作说明Thesystemcanbeoperatedwithkeyboardandmouse(touchpad)inthesamemannerasWINDOWS®.Theusersurfaceusesinputelements(numericalandtextinputframes,tables,…)accordingtotheWINDOWS®-standard.ForfurtherinformationseetheWINDOWS®Manual.系统可以通过键盘和鼠标（触摸板）操作，和Windows操作方式一致。根据WINDOWS®标准，用户界面采用输入元件(数字和文本输入框架，表格，…)。更多的信息参见WINDOWS®手册。2.1Radiobuttons单选按钮Radiobuttonsalwaysappearingroups.Theyarelikeamultiple-choice-test.Atleastoneofthebuttonsisalwaysactivatedatanytime.Thatmeansaradiobuttoncannotbedisabled,unlessatleastonedifferentradiobuttonhasbeenactivatedtodisablethefirst.单选按钮总是出现在群groups里面，就像多项选择测试一样。至少有一个按钮在任何时候总是激活的。这意味着一个单选按钮不可能是无效的，除非至少有一个不同的单选按钮已经被激活使前一个按钮失效。Clickontheradiobuttonwiththeleftmousekeytoenabletheradiobutton.Or鼠标左键点击单选按钮使之启用。或者Press[TAB]repeatedlyuntiltheradiobuttonishighlighted.Afterthispress[Leftarrow]or[Rightarrow]toenabletheradiobutton.重复按下[TAB]直到单选按钮为高亮显示。之后按下[左箭头]或者[右箭头]来启用单选按钮。2.2Buttons按钮Buttonsareoperationelements,whichfunctionlikeapushbutton.Thepushbuttonscanbeactuatedintwoways:按钮是操作基本元件，它的功能就象真实的按钮，推进按钮可以通过两种方式驱动：Clickingonitwiththeleftmousebutton.鼠标左键点击，或者Press[Tab]repeatedlyuntilthebuttonishighlightedandthenpress[Space]toactuatethefunction.重复按下[TAB]直到按钮为高亮显示，然后按下[Space]来启用该功能。2.3Lists列表Theobject“list”isintendedtodisplaylargedataamounts.Itisusedinmanymenus(e.g.controlmenufortechnologyselection).Theoptionsavailableinthelistaredisplayedbeloweachother.对象“list”用来显示大量的数据。在许多菜单中使用(如工艺选择的控制菜单)。列表里面可用的选项逐行显示。Clickonthelistandthelistisopened.Thecurrentpositioninthelistishighlighted.Moveupordownwiththemousecursorwithinthelist.Clickselectiontoconfirmandthelistisclosed.点击打开list。List里面当前的位置是高亮度显示。鼠标向上或向下移动来选择。点击鼠标确认选择对象，list关闭。或者Press[Tab]repeatedlyuntillisthighlighted.Afterthispress[Alt]+[Uparrow]or[Alt]+[Downarrow]toopenthelist.Usethearrowbuttonstochangetheselection.Press[Enter]toconfirmandthelistisclosed.重复按下[TAB]直到list为高亮显示。然后按下[Alt]+[Uparrow]or[Alt]+[Downarrow]来打开list。使用指针按钮来改变选择。按下[Enter]确认，list关闭。2.4Checkboxes检验栏AcheckboxislikeanON/OFFswitch.Aselectedcheckboxisenabled,adeselectedcheckboxisdisabled。检验栏类似ON/OFF开关。被选定的检验栏是激活的，被取消选定的检验栏失效。Simplyclickonthecheckboxwiththeleftmousekeytoenable/disablethecheckbox.使用鼠标左键点击来启用/关闭检验栏。或者Press[TAB]repeatedlyuntilthecheckboxishighlighted.Afterthispress[Space]toen-able/disablethecheckbox.重复按下[TAB]键直到检验栏高亮度显示，然后按下[space]键启用/关闭检验栏。2.5Inputandoutputframes输入和输出框Aframeisarectangularwindowwhichservesforinputand/oroutputoftextandnumbers(e.g.forsetpointsinputinmanualmodeortoinputparametersfortechnologies).Inputframeshaveawhitebackgroundandoutputframesareindicatedbyacoloredbackground.Ithasavarietyoffunctions:该框为长方形窗口，作为文本和数字（如手动模式的输入设置或工艺参数输入）输入和/或输出。输入框是白色的背景，输出框由有色的背景显示。它们有许多不同的功能。Marktext:文本标记：Hold[Shift]andmovethecursoracrossthetext.Thetextacrosswhichthecursorhasbeenmovedishighlighted.按住[Shift]键同时在文本上移动鼠标，被移动过的文本高亮度显示。或者Holdtheleftmousekeyandmovethemouseacrossthetext.按住鼠标左键同时在文本上移动鼠标。或者Tohighlightthecompletecontentofaframepositionmovethemousecursorovertheframeanddoubleclickwiththeleftmousekey.为了高亮度显示框架位置里面的所有内容，在框架上面移动鼠标，双击左键。Deletetext:删除文本Clickontheframe,press[Del]todeletethetexttotherightorpress[←]todeletethetexttotheleft.点击框架，按下[Del]键删除右边的文本，或者按下[←]键删除左边的文本。或者Afterthetexthasbeenhighlighted,inputthenewtext(thetextisoverwritten)orpress[Del]toremovethetext.Afterinputpress[enter]toconfirm.在文本高亮度显示之后，输入新的文本（先前的文本被覆盖）或责按下[Del]键删除文本，输入结束后按[enter]键确认。Note注释:Entriesintheframesbecomevalidif:有效登录进入框架的条件：:－theentryhasbeencompletedwith登录完成并带有记号。－thecursorhasbeenclickedintoanotherobject(anotherframeorsymbol).指针点击在另外的对象（另一个框架或符号）。－theobjectisnolongerhighlighted.该对象不再高亮度显示。2.6Tooltip工具提示Whenthemousecursormovesacrossanobjectandremainstherelongerthan2seconds,atooltipin-cludingashortmessageisdisplayedifnecessary.当鼠标在一个对象上面移动，并停留时间超过2秒，一个提示工具包括短信息提示显示出来（如果有必要）。3SwitchingON/OFFthecontrolsystem控制系统的切换开关ON/OFF3.1Switchingon打开Simultaneouslywithswitchingon,theoperatingandcontrolcomputerisstarted.ThePCisswitchedonbypressingthepowerbuttonbehindthediskprotection.打开开关，操作和控制计算机同时启动。按下磁盘保护装置后面的电源按钮，PC机打开。TheWindows2000®login-windowappearsaftertheoperatingcomputerhasstartedup.Entertheusername“Operator”(withoutpassword)andpress[Enter].Nowthecontrolsoftwarecanbestart(bydouble-clickingthesymbolSystemonthedesktop).Windows2000®的登录－操作计算机启动后，出现window界面。输入用户名“Operator”(没有密码)，按下[Enter]键。这时可以启动控制软件(通过双击桌面上的System符号)。Assoonastheloadingprocedurehasbeencompleted,thediagramofthesystemappearsandthemessageSystemwasstartedisshowninthemessagelineattheloweredgeofthescreen.Intheforegroundthelogin-windowappearstoentertheusernameandthepassword.一旦完成加载程序，系统的图表显示出来并且屏幕下边的信息栏显示“Systemwasstarted”。屏幕前台出现登录窗口要求输入用户名和密码。3.2Switchingoff关闭Theswitchoffbuttonintheservicemenuswitchesofftheapplicationsoftware.Afterpressingthisbuttonthefollowingwindowappears.service菜单里面的switchoff按钮用来关闭应用软件。按下该按钮后，出现下面窗口：.图1:提示程序关闭Attention:ByShutdownyouswitchofftherunningprocessesandthepumps!注意：关闭程序意味着关闭了正在运行的工艺和泵。ThecomputercannowbeshutdownaccordingtotheWindows®standard(Start→Shutdown→Shutdown).现在电脑可以根据Windows®标准正常关闭。(启动→关闭→关闭).Whenthisprocedurehasbeencompletedamessageappearsthatthecomputercannowbeswitchedofforrestarted.当程序完成后，信息提示电脑可以关闭或重启。Withthesystemmainswitchyoucanshutdownelectricalequipmentinavoltage-freestate.Seegeneralusermanual.通过系统的主开关你可以关闭电器设备到无电压状态，参见用户手册概要。4Functiondescriptionandoperating功能描述和操作Operatingthesystembykeyboardandmouse(touchpad)canbeperformedinthesamemannerasWINDOWS®.Theusersurfaceusesinputelements(inputframesfornumeralsandtext,tables,…)incompliancewiththeWINDOWS®standardinterface.通过键盘和鼠标（触摸板）操作该系统，类似于WINDOWS®操作方式。用户界面采用输入单元（数字、文本、表格的输入框架），与WINDOWS®标准界面一致。图像区域标题动态菜单Figure2:屏幕结构信息栏静态菜单4.1Header标题Theheaderisalwaysvisibleanddisplaysthedate,thetimeandtheactualuserofthesys-tem.Intheleftcornerthereareshownthestatesofpressuresandcoolingwater(blue→ok;yellow→ismissing;red→error).标题总是可视的并显示日期，时间和当前的系统用户。在左边区域显示压力和冷却水的状态（蓝色→ok；黄色→缺少、遗漏；红色→错误）。图3:标题Thesystemisoperatedintheservicemode,ifthissymbolisshownintheheadline.标题栏显示该图标时，表示系统运行在维护模式。The‘hand’symbolrepresentedthemanualtransportfunctionisactivated.‘手’图标表示激发人工传输功能。Thecolorofthe‘rotatingflashinglight’ispointingtothestateofthesystem(red→errormessage;yellow→warning;green→serviceswitchisactive).Ifanwarning/errorisoccurred,themessagelinecontainsthemannerofthewarning/error.‘旋转闪光灯’的颜色标志系统的状态(红色→错误信息；黄色→警告；绿色→维护开关正起作用)。如果发生警告/错误，信息栏会包含警告/错误的方式。4.2Messageline信息栏图4：信息栏Themessagelineextendsacrossthecompletescreenwidthbelowtheimagearea.The“Q”attheendofthelinegivesatooltip,thatthereisatleastonemessagetobeacknowledged.Thisisnotnecessarilytheshownmessage.Amessagecanbeacknowledgedusingthefunc-tionkeysF8(individualacknowledgement)orF9(groupacknowledgement).TodisplayallmessagespressF7ordouble-clickonthemessagelinewiththeleftmousebutton.Toclosethemessagelisteither信息栏在图像区域的下面，延伸到整个屏幕宽度。信息栏末端的“Q”是提示工具，至少可以显示一个提示信息。显示的信息并不都是必须的。可以通过功能键F8（单独确认）或F9（群确认）来确认显示任一信息。要显示所有信息，按F7键或用鼠标左键双击信息栏。要关闭信息列表可以通过以下任一种方式：－pressF7again,再次按下F7键，－press[Alt]+[F4],同时按下[Alt]+[F4]，－clickwiththemouseonthesymbolintherightuppercorner,鼠标点击右上方的符号，－clickontheClosebuttonor点击Close按钮或者－double-clickonthemessagelist.双击信息列表.4.3Dynamicmenu动态菜单Thisscreenareaisusedtodisplaythemenusandsubmenusassociatedwiththeviews.Thestructureofthedynamicmenudependsonthechosendisplayorfunction.Intheillustrationontherightthemenusofstandardfunctionswillbeinserted,aswellasfurthersubmenusinthescreenarea.该屏幕区域显示动态菜单和与示意图相关的子菜单。动态菜单的结构依赖于所选择的显示或功能。右图将插入标准功能的菜单，以及屏幕区域的下一层子菜单。图5:动态菜单4.4Staticmenu静态菜单Thestaticmenuisshowninthebottomrightcornerofthescreenanddisplaysthesameoptionsalltimes.Theimageareacanbeswitchedfromsystemviewtoserviceview.Thismenuallowsaccesstothefollowingfunctionsatanytimedependingonthecurrentmodeanduserauthorization.静态菜单在屏幕的右下角，任何时候显示相同的选项。图像区域可以从系统视图切换到维护视图。该菜单允许在任何时候访问以下功能，这取决于当前模式和用户的权限。System系统Showstheoverallviewofthesystemaswellasgeneralchamberfunctions(e.g.transport,trending,covercontrol,…).显示系统的全部视图和总的腔室功能（如传输，趋向，外盖控制等等）。Processchamber工艺腔室Showsdetailedgraphicsofthechambersandenablesprocess-specificfunctions(recipe,control,...).显示该腔室的详细图表，启用具体的工艺功能（配方，控制等等）图6：静态菜单Gassystem工艺气体系统Showsadetailedgraphicofthegassupplyandenablespurgingofthegaschambers.显示工艺气体供应的详细图表，启用气体腔室的清洗功能。Service维护Theservicemenucontainsthefollowingfunctions:Systemdiagnostics,logon,logoff,administrationofaccessrights,turningoffthesystem.维护菜单包含以下功能：系统诊断，登录，退出，访问权限的管理，关闭系统。Stop停止TheSTOPfunctionrepresentsanemergency-STOPfunctionforalltechnologicalprocessesandpumps.STOP功能代表所有工艺过程和泵的急停功能。4.5Imagearea图像区域Theimageareaisusedtodisplaythevariousoverviewimagesofthesystemaswellastheserviceimages,messagelist,trenddisplay,administration,andalltheinputscreensformachineconfigurationandindividualrecipesforthechambertechnologies.Thefollowingsectionscontainmoredetailedinformationaboutindividualimagesandinputscreens.图像区域用来显示系统不同的全局图表和维护图表，信息列表，趋向显示，管理。以及所有的输入屏幕：设备布局输入屏幕和腔室工艺单独配方的输入屏幕。以下截面包括关于单独图像和输入屏幕的详细信息。图7:图像区域Displayelements显示元素Thestatusofthesystemsisdisplayedusingvariouscolors.Eitherthedisplayedvaluehasacoloredbackgroundorthesystemitself(e.g.symbolforpumps,valves)isshowninvariouscolors:系统的状态通过不同颜色来显示。显示数值带有颜色的背景，或者系统本身（如泵符号、阀门）以不同颜色显示出来。Valvesandpumps:阀门和泵：Gray→closed/off/inactive(e.g.valveclosed)灰色→关闭/断开/不起作用（如阀门关闭）Green→open/on/active(e.g.valveopen)绿色→打开/启用/起作用（如阀门打开）Yellow→transitionbetweenopenandclosed,switchedonandoff黄色→在打开和关闭之间过渡Red→error(e.g.pumpcannotbeswitchedon)红色→出错（如泵不能打开）Airandwater:压缩空气和冷却水：White→inactive(e.g.coolingwaterisswitchedoff)白色→不起作用（如冷却水关闭）Lightblue→active(e.g.compressedairisok)浅蓝色→起作用（如压缩空气正常）Yellow→intervalbetweenswitchonandoff黄色→打开和关闭之间的间隔Red→error(e.g.N2pressureisnotavailable)红色→出错（如N2压力无效的）Button:按钮：Darkgray→functionisenabled深灰色→功能是激活的Lightgray→functionisdisabled浅灰色→功能是无效的LED’s:LED的颜色：Darkgreen→inactive(.functionisinactive)深绿色→不起作用的（功能不起作用）Lightgreen→active(functionisactive)浅绿色→起作用的（功能起作用）Darkred→noerror深红色→没有出错Lightred→errorattherelevantunit浅红色→相关单元出错Yellow→intervalbetweentheswitch黄色→开关切换之间的间隔Framesfornumbers:数值框架White→inputsetvalues白色→输入设置值Lightgreen→displayactualvalues浅绿色→显示实际数值Darkgreen→displaysetvalues深绿色→显示设置值5Standardfunctions标准功能5.1System系统Thesystem-overviewisshownwhenstartingthesoftware.Thisoverviewcanalsobereachedbypressingthesystembuttoninthestaticmenu.当启动软件时，显示系统的全观图。全观图也可以通过按下静态菜单里面的system键获得。图8：系统可视化Thesystemoverviewoffersanoperatinghourscounterofsystemaswellaseachpump.系统全观图提供了系统和每个泵的运行小时计数器。Operationtimeof-运行时间：apump:clickonpumpsymbolwithrightmousebutton－泵：鼠标右键点击泵的符号-system:clickonbackgroundwithrightmousebutton－系统：鼠标右键点击画面背景ThecountercanbedeletedbythepressingResetintheoperationtimewindow(e.g.changeapump).计数器可以通过点击操作时间窗口（如更换泵）的“Reset”键来清除。Dynamicmenu动态菜单Parameters参数Displayforchangingthegeneralmachineparameters.显示更改总体机械参数。Trending趋向Onlinetrendforselectedprocessparameters.选中工艺参数的在线趋向Datalogging数据录入Createanddeleteaprotocol创造和删除某个协议Rateofrisetest上升率测试Performaleaktestandtrenddisplay.执行泄漏测试和趋向显示Covercontrol外盖控制Menuforopeningorclosingthechambers打开或关闭腔室的菜单Control控制Menuforstartingarecipeoratransport.启动一个配方或传输的菜单Pumps泵Thepumpsofallchamberscanbeswitchedonoroff.所有腔室的泵组可以被打开或关闭。Manualtransport手动传输Formanualopeningandclosingofthegatesbetweenthechambers.Thecarrierscanbetransportedstepbystep,too.用于手动打开或关闭腔室之间的闸门。载板也可以一步步的传输。Processchamberrecipe工艺腔室配方Name:名称：Displaystheactualrunningrecipe.显示实际运行的配方。Status:状态：Messagesaboutthestatusoftherunningrecipe.与运行配方状态相关的信息。Thebargraphdisplaysthestateoftheheatingtimeinpercent.条形图显示加热时间百分比状态。Statusofloadchamber,processchamberandunloadchamber装载腔室、工艺腔室和卸载腔室的状态Therearethreedifferentstatusmessagesforachamber:pumps,transportandrateofrisetest.Clickwiththerightmousebuttononthedisplaypanelandchooseoneofthethreeoptions.对于一个腔室，有三个不同的状态信息：泵组、传输和上升率测试。鼠标右键点击显示面板并选择上述三个选项之一。Forexample:displaypanelforthepumpsoftheprocesschamber例如：工艺腔室泵的显示面板Temperature[°C]温度[°C]Displaystheactualtemperatureofthethreeheaters.Besidethetemperaturedisplaythebargraphshowsthepercentcontrolvalueofheating.显示三个加热器的实际温度值。在温度显示旁边的条形图表显示加热控制值的百分率。TPRvacuumgaugeofloadchamberandunloadchamber[mbar]装载和卸载腔室的TPR真空计[mbar]RespectivelyoneTPRgaugedisplaysthepressureintheloadchamberandintheunloadchamber.(HV→highvacuum,ATM→atmosphere).一个TPR真空计分别显示装载腔室和卸载腔室的压强。（HV→高真空，ATM→常压）。PKRvacuumgaugeofprocesschamber[mbar]工艺腔室的PKR真空计[mbar]ThePKRgaugedisplaysthepressureintheprocesschamber.ThedisplayofthePKRgaugedependsonthegastypeandispossiblyinfluencedbytheplasma.(HV→highvacuum,ATM→atmosphere).Whengasletintothechamberthroughthechannels1–3,thePKRoftheprocesschamberisswitchedoff.PKR真空计显示工艺腔室的压强。PKR真空计的显示取决于工艺气体类型，可能受到等离子体的影响（HV→高真空，ATM→常压）。当工艺气体通过气体通道1－3进入腔室时，PKR真空计关闭。Baratrongauge[mbar]Baratron真空计[mbar]Displaystheprocesschamberpressureintherangefrom10mbardownto1*10-4mbar.Thisgaugehasahigheraccuracyandisgasindependent.Ifthepressuregetsoutofrange,theBaratronpressuredisplaysnothing.显示工艺腔室压强在10mbar到1*10-4mbar范围内的压强。该真空计有更高的精度并与工艺气体无关。如果压强超出上述范围，Baratron压强没有任何显示。Stop/continue(belowtheload/unloadtable)停止/继续（在装载/卸载台的下面）TheStopbuttonisshownassoonasacarrierwithintheloadchamberdrivesintotheprocesschamberandgate2isclosed.Bypressingthebuttonthetransportofcarriersintotheloadchamberisstopped.Thecarriersinsidethechambersaredrivenoutofthesystem.一旦装载腔室里面的载板驱进工艺腔室以及闸门2关闭，菜单里面显示“Stop”按钮。按下该按钮，载体进入装载室的传输停止。在腔室里面的载体传输出系统。TheContinuebuttonisshownassoonasthetransportwasstoppedbypressingtheStopbutton.Bypressingthebuttontheuncompletedtransportiscontinuedandanewcarrierdrivesintotheloadchamber.Whenthesystemmessagesatransportfailureanditwasacknowledged,apromptisdisplayedonthescreen:Continueorcancelthetransport?当按下“Stop”按钮，传输停止时，菜单里面显示“Continue”按钮。按下该按钮，那些没有完成的传输继续，新的载板传输进入装载室。当系统提示传输失败的信息，并且该信息得到承认时，屏幕显示提示：继续或者取消该传输？Speed[inch/min]传输速度[inch/min]Theactualvelocitiesofmotorscanbeshownandremovedwiththeaidoftheconveyersymbolasfollows:ClickwithrightmousebuttononconveyersymbolinsideofthesystemandpresstheSpeedbutton.通过传送带标记，可以使马达的实际速度显示和隐藏，方法如下：鼠标右键点击系统里面的传送带标记，再按下“Speed”按钮。Carrier载板Countsthecarrierswhicharedriventhroughtheprocesschamber.Ifacarrierreachesthepositionsensor11(inthecoolingchamberinfrontofthegate3),onecarrierisadded.Thelowervalueisusedfore.g.countingthecarriersonadayandisdeletedbythepressingReset.计数传输通过工艺腔室载板的数量。如果一个载板到达传感器11的位置（位于闸门3前面的冷却腔室），计数器加上1。下面的数值用来计算如当天的载板数量，可以通过按下“Reset”键来删除计数器。5.2Processchamber工艺腔室Thisoverviewcanbereachedbypressingtheprocessbuttoninthestaticmenu.Theviewpresentstheprocesschamberindetail.通过按下静态菜单中的“process”按钮来获得工艺腔室的全观图。该图表详尽描述工艺腔室。图10：工艺腔室Theoverviewoffersanoperatinghourscounteroftheprocesschamberpumps,microwavesourcesandRF-generator,aswellasofgases.该全观图提供了工艺腔室泵组、微波源、RF发生器以及工艺气体的运行时间计数器。Operationtimeof显示运行时间的方法：-apump:clickwithrightmousebuttononpumpsymbol－泵组：鼠标右键点击泵图标-amicrowave:clickwithrightmousebuttononstatuslineofmicrowave－微波：鼠标右键点击静态栏上的微波-RF-generator:clickwithrightmousebuttononRFsource－RF发生器：鼠标右键点击RF源-agas:clickwithrightmousebuttonondisplayofactualgasflow－工艺气体：鼠标右键点击实际气体流的显示图ThecountercanbedeletedbythepressingResetintheoperationtimewindow(e.g.changeapump).计数器可以通过按下运行时间窗口（如更换一个泵）里面的Reset键来删除。Dynamicmenu动态菜单Recipe配方Thisfunctionopensadisplayforcreatingoreditingrecipes.该功能提供了创建或编辑配方的显示窗口。Parameters参数Thisfunctionopensadisplayforsettingmachineparametersoftheprocesschamber.该功能提供了设置工艺腔室机械参数的显示窗口。Pumps泵Thepumpsoftheprocesschambercanbeswitchedonoroff.工艺腔室的泵组可以被打开或关闭Control控制Menuforstartingarecipeoratransportoperation.启动某个配方或传输操作的菜单图11：动态菜单Note:Activationofpressurecontrol,microwavesources,RF-generator,heatersandgasesisonlypossiblebystartingarecipe.See5.5Recipe(setup)and5.10Control(start).提示：只有启动某个配方，才可能激活压强控制、微波源、RF发生器、加热器以及工艺气体。参见5.5配方（设置）和5.10控制（启动）Recipe配方Name：名称：Displaystheactualrunningrecipe.显示实际运行的配方。Status：状态：Messagesaboutthestatusoftherunningrecipe.运行中配方状态的信息。PKRvacuumgaugeofprocesschamber[mbar]工艺腔室的PKR真空计[mbar]ThePKRgaugedisplaysthepressureintheprocesschamber.ThedisplayofthePKRgaugedependsonthegastypeandispossiblyinfluencedbytheplasma.(HV→highvacuum,ATM→atmosphere).Whengasletintothechamberthroughthechannels1–3,thePKRoftheprocesschamberisswitchedoff.PKR真空计显示工艺腔室的压强。PKR真空计的显示取决于工艺气体类型，可能受到等离子体的影响（HV→高真空，ATM→常压）。当工艺气体通过气体通道1－3进入腔室时，PKR真空计关闭。Baratrongauge[mbar]Baratron真空计[mbar]Displaystheprocesschamberpressureintherangefrom10mbardownto1*10-4mbar.Thisgaugehasahigheraccuracyandisgasindependent.Ifthepressuregetsoutofrange,theBaratronpressuredisplaysnothing.显示工艺腔室10mbar到1*10-4mbar范围内的压强。该真空计有更高的精度并与工艺气体无关。如果压强超出上述范围，Baratron没有任何显示。微波源1－4左边从上到下：左微波电源的设定值、左微波电源的实际值、左微波电源的实际反射值和左右微波的状态（主干线、微波开、联锁、磁控管加热器开）；正上方：微波源的状态；右边从上到下：右微波电源的设定值、右微波电源的实际值、右微波电源的实际反射值和左右微波的出错信息（通常的、高电压、磁控管冷却）、错误信息复位。RF源1左边从上到下：RF发射器功率设定值、RF发生器偏置电压设定值、自动移动电容器来决定匹配位置、错误信息复位；正上方：RF发生器的状态；右边从上到下：RF发生器的实际功率、RF发生器实际反射功率、RF发生器偏置电压实际值、RF发生器的状态（触点、远程控制、发生器开、等离子体、出错）。Transportation传输Statusline:状态栏Displaysactualmessagesaboutthetransport.显示传输的实际信息。速度[cm/min]:Displaystheactualtransportspeedofthemotors2-6intheheatingchamber,processchamberandcoolingchamber.Theprocesstransportspeedmustbeenteredintherecipe.显示加热腔室、工艺腔室和冷却腔室里面马达2－6的实际传输速度。必须在工艺配方里输入工艺传输速度。Gassystem工艺气体系统Displaystheactualvaluesofthegaschannels1-3.显示工艺气体通道1－3的实际流量Heater加热器Time[min:sec]:时间[min:sec]:Displaysthesetandtheactualvalueofheatingtime.Thebargraphdisplaysthestateoftheheatingtimeinpercent.显示加热时间的设定值和实际值，条形图显示加热时间百分率状态。Temperature[°C]:温度[°C]:Displaysthesetandactualtemperatureofthethreeheaters.Besidethetemperaturedisplaythebargraphshowsthepercentcontrolvalueofheating.显示三个加热器的设定温度和实际温度，温度显示旁边的条形图显示加热的百分率控制值。Phase[%]:相位[%]:Displaysactualphasecurrent1-3ofthethreeheaters.显示3个加热器实际相位电流。Pressurecontrol压强控制Theprocesschamberpressurecanberegulatedbyafrequencyconverter.Thefrequencyconvertercontrolsthespeedoftherootspump.工艺腔室的压强可以通过频率转换器来调节。频率转换器控制了罗茨泵的转速。Controlmode:控制模式：Off:Thepressurecontrolisswitchedoffandtherootspumprunswith60Hz(100%).关闭Off：压强控制关闭，罗茨泵以60Hz（100％）运转。Pos.:Therootspumpoperateswiththesetspeed.Thespeedmustbesendtothefrequencyconverteraspercentvalue(0%=10Hz,100%=60Hz).Pos.：罗茨泵以设定的速度运行，速度设定必须以百分比形式（0%=10Hz,100%=60Hz）发送到频率转换器。Pres.:Thefrequencyconverterregulatesthespeedoftherootspumptoreachthesetpressure.Pres.：频率转换器调节罗茨泵转速，直到压强达到设定值。Pumps泵组Displaysstatusmessagesofthepumpsandthevalvesattheprocesschamber.显示泵组和工艺腔室阀门的状态信息。Note:IfatechnologyisrunningandtheuserhastheOnlineparameter-right,thesetvaluesoftheunits(microwavepower,transportspeed,heatingtimeandtemperature,frequencyofrootspumpandprocesspressure)canbechanged.Thereforeclickintotheframeofthese