- 现行
- 正在执行有效
- 2020-08-24 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 22278:2020 EN
- 标准名称：精细陶瓷（高级陶瓷、高级技术陶瓷） 使用平行 X 射线束的 XRD 方法测试单晶薄膜（晶片）结晶质量的方法
- 英文名称：Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
- 标准状态：现行
- 发布日期：2020-08-24
文档简介
ISO22278:2020标准是关于高级陶瓷、高级技术陶瓷的详细规定，特别是关于使用平行X射线束的XRD方法来测试单晶薄膜（晶片）的晶体质量。以下是对该标准的详细解释：
1.ISO22278标准主要关注陶瓷材料的质量控制和性能评估。它涵盖了各种高级陶瓷材料，包括但不限于单晶薄膜（晶片）。
2.XRD方法是一种常用的材料分析技术，它利用X射线的衍射来确定材料的晶体结构。在这个标准中，XRD方法被用于评估单晶薄膜的晶体质量。
3.“平行X射线束”是指X射线源发出的所有射线都平行射向样品，这样可以消除由于不同射线角度带来的误差，提高测试的准确度。
4.该标准详细规定了XRD测试的过程，包括样品制备、X射线源、测试条件、数据分析等各个方面。此外，它还提供了关于如何解读测试结果的具体指南。
5.ISO22278标准的目标是提供一个统一的、可重复的方法来评估陶瓷材料的晶体质量，从而有助于质量控制和性能优化。
希望以上详细解释能满足您的要求。
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