• 现行
  • 正在执行有效
  • 2019-06-18 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 21859:2019 EN Fine ceramics (advanced ceramics,advanced technical ceramics) - Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equ_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 21859:2019 EN
  • 标准名称：精密陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 半导体制造设备中陶瓷部件的抗等离子体性能测试方法
  • 英文名称：Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2019-06-18

文档简介

ISO21859:2019是关于高级陶瓷（高级陶瓷技术）的测试方法标准，特别关注了半导体制造设备中陶瓷部件的抗等离子体性能。这个标准提供了对陶瓷部件在特定环境条件下进行测试的详细指南，包括如何选择和准备样品，如何设置和操作测试设备，以及如何分析和解读测试结果。

具体来说，这个标准主要关注以下方面：

*样品准备：需要明确说明陶瓷部件的类型和尺寸，以及制造材料和制造工艺。此外，还必须说明如何选择和制备用于测试的样品。

*测试设备：需要详细描述用于测试的等离子体设备，包括其规格、操作条件和性能指标。此外，还需要说明如何调整和校准设备以确保其准确性。

*测试过程：详细描述了测试过程的各个步骤，包括如何将样品放置在设备中，如何启动和操作设备，以及如何收集和分析数据。

*结果分析：解释如何解读测试结果，包括如何确定陶瓷部件的抗等离子体性能，以及如何将结果与标准性能指标进行比较。

此外，该标准还提供了许多其他相关建议和注意事项，以确保测试过程的有效性和可靠性。例如，它建议定期维护和校准设备，并定期检查样品的制备质量和状态。它还强调了测试结果的重要性，因为它们是评估陶瓷部件性能的关键依据。

ISO21859:2019ENFineceramics(advancedceramics,advancedtechnicalceramics)—Testmethodforplasmaresistanceofceramiccomponentsinsemiconductormanufacturingequipment是一个非常重要的标准，

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