- 现行
- 正在执行有效
- 2019-01-14 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 18516:2019 EN
- 标准名称：表面化学分析 确定基于光束的方法的横向分辨率和清晰度，范围从纳米到微米
- 英文名称：Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
- 标准状态：现行
- 发布日期：2019-01-14
文档简介
ISO18516:2019标准是关于表面化学分析的，特别是基于光束的方法用于确定从纳米到微米的分辨率和清晰度。这个标准提供了关于如何执行这些分析的详细指导。
该标准主要关注的是表面微观结构和化学组成的分析，特别是在纳米至微米范围内的分辨率和清晰度。该标准涉及到各种技术和方法，如扫描电子显微镜(SEM)，原子力显微镜(AFM)，光谱反射分析和x射线分析等。
这个标准涉及到以下关键概念和过程：
*分辨率和清晰度的定义：分辨率是光束能够清晰地分离开相邻物体或特征的能力，而清晰度是物体或特征在光束照射下能够被正确识别的程度。
*光束照射和成像技术：这包括各种扫描技术，如扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)。这些技术通过将光束或电流束扫描到表面上来产生图像，并使用这些图像来分析表面的结构和化学组成。
*样品准备：在进行表面化学分析之前，可能需要准备样品。这可能包括选择适当的表面处理方法，以确保光束能够正确地映射表面的结构和化学组成。
*数据分析和解读：通过分析光束图像，可以获得表面的分辨率和清晰度信息。这需要使用适当的软件和算法来解读和分析这些图像。
该标准提供了详细的指南和建议，以帮助实验室工作人员和科学家正确地执行这些分析，并获得准确和可靠的结果。这些指南和建议涵盖了各种技术细节，如选择适当的仪器和方法，正确的样品准备和处理，以及如何正确解读和分析数据。
ISO18516:2019标准为表面化学分析提供了重要的指导，特别是在纳米至微米范围内的分辨率和清晰度的测定。它为实验室工作人员和科学家提供了一种可
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