- 废止
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- 2005-12-06 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 14644-3:2005 EN
- 标准名称：洁净室及相关受控环境 第3部分：测试方法
- 英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
- 标准状态：废止
- 发布日期：2005-12-06
文档简介
**ISO14644-3:2005Part3:TestMethods**
**引言**
ISO14644-3的第三部分是关于洁净室测试方法的。洁净室是一个用于制造高度精确和性能一致的产品的环境，通常用于电子行业。该标准为设计、实施和维护洁净室提供了详细的指南。
**测试设备**
在洁净室中，对测试设备的清洁度和精度有严格的要求。这包括空气过滤器、通风设备、压力控制系统、尘埃粒子计数器等。测试设备必须经过严格清洁和校准，以确保它们能够准确测量环境中的微粒数量和空气流动。
**环境参数**
洁净室中的环境参数，如温度、湿度、压力和空气质量，也需要进行定期监测和控制。这些参数的变化可能会影响产品制造的质量和一致性。
**人员和物料**
洁净室中的工作人员和物料也需要进行清洁度和无尘处理。进入洁净室的人员必须经过适当的培训和指导，以了解如何遵守无尘室的规则。物料也必须经过适当的清洁和处理，以确保它们不会引入额外的微粒。
**清洁和维护**
洁净室需要定期进行清洁和维护，以确保其性能和环境参数的稳定性。清洁和维护工作必须按照标准指南进行，以确保无尘室的清洁度和安全性。
**结论**
ISO14644-3:2005EN标准为设计和维护洁净室提供了详细的测试方法和指南。它涉及到许多复杂的细节，包括测试设备、环境参数、人员和物料的管理以及清洁和维护工作。对于需
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