- 现行
- 正在执行有效
- 2020-07-15 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 13067:2020 EN
- 标准名称：微束分析 电子反向散射衍射 平均粒度测量
- 英文名称：Microbeam analysis — Electron backscatter diffraction — Measurement of average grain size
- 标准状态：现行
- 发布日期：2020-07-15
文档简介
ISO13067:2020是一个关于微束分析的国际标准，它涵盖了电子背散射衍射（EBSD）技术用于测量平均晶粒大小的方法。EBSD是一种用于观察和测量材料微观结构的技术，特别适用于在SEM（扫描电子显微镜）下对金属样品进行观察和测量。
这种方法利用了电子散射的原理，当电子束照射到样品时，电子会发生散射，不同角度散射的电子会形成不同的衍射环。这些环的位置和强度可以用来确定晶粒的方向和大小。
其中，平均晶粒大小是通过测量所有晶粒的尺寸并除以晶粒的数量来计算的。有多种方法可以测量晶粒大小，包括利用EBSD软件中的自动测量功能，可以识别和测量特定的衍射环，从而得出晶粒的大小。
这种方法在材料科学、金属加工、机械工程等领域中广泛应用，可以帮助研究人员和工程师了解材料的微观结构，从而优化材料的性能和生产过程。
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