• 现行
  • 正在执行有效
  • 2021-10-14 颁布
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【正版授权】 IEC TS 62607-9-1:2021 EN Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 9-1: Traceable spatially resolved nano-scale stray magnetic field measurements - Magnetic for_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC TS 62607-9-1:2021 EN
  • 标准名称：纳米制造-关键控制特性-第9-1部分：可追溯的纳米尺度散射磁场测量-磁力显微镜
  • 英文名称：Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 9-1: Traceable spatially resolved nano-scale stray magnetic field measurements - Magnetic force microscopy
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2021-10-14

文档简介

该标准主要关注的是空间上分布的磁场的测量方法，特别是在纳米尺度上的磁场测量技术。在纳米制造过程中，磁场的变化可能会对设备、材料和工艺产生影响，因此对磁场进行精确控制非常重要。

该标准提供了关于如何进行磁场测量的关键控制特性，包括测量方法、测量设备、测量环境、测量数据处理等方面的规定。这些规定旨在确保测量结果的准确性和可靠性，从而有助于控制纳米制造过程中的磁场。

具体来说，该标准涉及以下方面：

*测量方法：规定了使用磁力显微镜（MFM）进行空间上分布的磁场的测量方法，包括磁场的定位、聚焦和探测等步骤。

*测量设备：要求使用经过校准和验证的设备进行测量，以确保测量的准确性和可靠性。

*测量环境：要求在恒定的温度、压力和气氛条件下进行测量，以避免环境因素对磁场的影响。

*数据处理：规定了如何分析和解释测量数据，以确保得到准确的结果。

此外，该标准还强调了测量结果的溯源性，即要求测量结果能够追溯到已知的参考标准，以确保测量的可信度。

IECTS62607-9-1:2021ENNanomanufacturing-Keycontrolcharacteristics-Part9-1:Traceablespatiallyresolvednano-scalestraymagneticfieldmeasurements-Magneticforcemicroscopy是一个重要的标准，它为纳米制造过程中

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