• 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-10-24 颁布
©正版授权
注：本标准为国际组织发行的正版标准，下载后为完整内容；本图片为程序生成，仅供参考，介绍内容如有偏差，以实际下载内容为准
【正版授权】 IEC 62276:2016 EN-FR Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods_第1页
全文预览已结束

下载本文档

基本信息：

  • 标准号：IEC 62276:2016 EN-FR
  • 标准名称：用于表面声波（SAW）器件的单晶片-规格和测量方法
  • 英文名称：Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2016-10-24

文档简介

**范围和概述**：

该标准适用于表面声波（SAW）器件应用的单晶片，特别是用于半导体设备的频率调节器，传感器，执行器和驱动器。此标准也涵盖了为SWE设备和模块应用所制造的原材料、制造过程中获得或分拣的单晶片的处理过程。

**物理性能**：

*厚度：通常在标准偏差的±15％范围内。

*尺寸和形状：对于任何特定的应用，可能需要进行特定形状和尺寸的定制。

*清洁度：对于一些敏感的应用，表面清洁度也是一个重要因素。

*粗糙度：它对电性能有显著影响。

*切向角度偏差：影响压电性能和导热性。

**机械性能**：

*硬度和脆性：直接影响到切片过程中的切削方式。

*厚度偏差和翘曲度：可能会影响其使用的性能和功能。

*强度：如果发生机械冲击或压力，会影响其完整性。

**电气性能**：

*介电常数和损耗：这些参数决定了材料的电性能。

*压电系数：这是评价材料在压电转换过程中的效率的重要参数。

*热膨胀系数：它影响材料的热稳定性。

**化学性能**：

*元素组成：这决定了材料的纯度和来源。

*杂质含量：包括有害的金属元素和其他杂质，它们可能会影响材料的性能和使用寿命。

**测量方法**：

为了确保单晶片的性能和质量，需要使用适当的测量设备和方法，包括但不限于电子显微镜（SEM），X射线衍射仪（XRD），激光测厚仪，热分析仪等。这些测量方法用于评估物理、机械和电气性能，以及表面和内部质量。

以上就是IEC62276:2016EN-FRSinglecrystalwafersforsurfaceacousticwave(SAW)deviceapplications-Specificationsandmeasuringmethods的主要内容。这个标准对于理解和

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。
  • 4. 下载后请按顺序安装Reader（点击安装）和FileOpen（点击安装）方可打开。详细可查看标准文档下载声明

最新文档

评论

0/150

提交评论