• 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-09-13 颁布
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【正版授权】 IEC 62047-12:2011 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC 62047-12:2011 EN-FR
  • 标准名称：半导体器件-微机电器件-第12部分：利用微机电结构共振振动的薄膜材料弯曲疲劳测试方法
  • 英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2011-09-13

文档简介

利用微机电系统结构共振振荡进行薄膜材料弯曲疲劳测试的方法标准的内容非常详细，包括测试方法、测试设备、测试步骤、测试条件、测试结果等方面。

首先，该标准规定了弯曲疲劳测试的原理和方法，包括使用共振振动的方法来测试薄膜材料的疲劳性能。这种方法可以模拟薄膜材料在实际使用中受到的弯曲应力，从而评估其使用寿命和可靠性。

其次，该标准还详细描述了测试设备的组成和性能要求，包括振动器、传感器、控制单元等。测试设备需要能够产生稳定的共振振动，并且能够精确控制测试参数，以确保测试结果的准确性和可靠性。

在测试步骤方面，该标准要求按照一定的顺序进行操作，包括准备样品、安装样品、设置测试参数、开始测试、记录数据、结束测试等。每个步骤都需要按照标准要求进行操作，以确保测试结果的准确性和可靠性。

在测试条件方面，该标准规定了测试环境的要求，包括温度、湿度、振动等。这些条件会影响薄膜材料的疲劳性能，因此需要严格控制测试环境，以确保测试结果的准确性和可靠性。

最后，该标准还对测试结果进行了分析和评估，包括疲劳寿命、疲劳强度等方面的评估。根据测试结果，可以得出薄膜材料的质量和可靠性水平，从而为生产过程中的质量控制和改进提供依据。

IEC62047-12:2011EN-FR标准为弯曲疲劳测试提供了详细的指导和方法，对于保证薄膜材料的质量和可靠性具有重要意义。在实际应用中

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