《真空技术+氦质谱真空检漏方法GBT+36176-2018》详细解读

《真空技术氦质谱真空检漏方法GB/T36176-2018》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4一般要求4.1人员资格4.2设备要求contents目录4.3氦气4.4环境要求5检漏方法5.1喷吹法5.2氦罩法5.3压力-真空检漏法6检漏文件contents目录6.1检漏记录6.2检漏报告附录A(规范性附录)检漏记录附录B(规范性附录)检漏报告011范围适用领域该标准适用于各种真空设备、系统及其零部件的氦质谱真空检漏。涉及行业包括电子、航空航天、核工业、化工等需要使用真空技术的领域。检漏方法规定了使用氦质谱检漏仪进行真空检漏的具体操作步骤。涵盖了检漏前的准备、检漏操作、结果判定等环节。““明确了检漏仪的精度、稳定性等性能指标。提出了对检漏环境和操作人员的具体要求，确保检漏结果的准确性和可靠性。技术要求安全与环保强调了检漏过程中的安全注意事项，如防止氦气泄漏、避免高压伤害等。倡导环保理念，要求合理处理检漏过程中产生的废气、废液等污染物。022规范性引用文件GB/TXXXX.X-XXXX真空技术术语GB/TXXXX.X-XXXX真空技术真空系统图用图形符号引用标准引用规范GB/TXXXX.X-XXXX真空技术真空测量规范GB/TXXXX.X-XXXX真空技术真空检漏方法选择及实施指南相关技术文件GB/TXXXX.X-XXXX真空技术真空泵性能测量方法GB/TXXXX.X-XXXX真空技术真空系统密封性能试验方法参照的国际标准ISOXXXXXXXX真空技术真空系统检漏相关国际标准(注上述"GB/TXXXX.X-XXXX"和"ISOXXXX:XXXX"为示例标准编号，实际编号需根据具体引用的标准和规范进行替换。)ISOXXXXXXXX真空技术真空测量相关国际标准030201033术语和定义真空技术定义真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术分类真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。3.1真空技术氦质谱真空检漏原理利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测氦气的存在，从而确定系统的漏率。氦质谱真空检漏优点灵敏度高、检测速度快、定位准确等。3.2氦质谱真空检漏3.3相关术语真空度表示真空状态下气体稀薄程度的物理量，通常用压强来表示。漏率单位时间内通过漏孔的气体量，是评价真空系统密封性能的重要指标。质谱仪一种能够检测气体分子的质量并进行分析的仪器，在氦质谱真空检漏中用于检测氦气的存在。示踪气体在检漏过程中加入的一种易于检测的气体，用于指示漏孔的位置和大小，氦气是常用的示踪气体之一。044一般要求应具备稳定的真空环境，以确保氦质谱检漏的准确性。真空系统应采用高灵敏度的氦质谱检漏仪，能够准确检测氦气的存在。氦质谱检漏仪为确保测量准确性，应使用经过校准的真空计、压力表等设备。校准设备4.1设备要求010203操作人员应接受过真空技术和氦质谱检漏方法的专业培训。专业培训操作人员应熟练掌握真空系统的操作、氦质谱检漏仪的使用以及数据处理和分析方法。熟练掌握4.2操作人员要求温度与湿度实验室内的温度和湿度应控制在一定范围内，以保证设备的正常运行和测量结果的准确性。清洁度实验室内应保持清洁，避免灰尘等污染物对实验结果的影响。4.3环境要求4.4安全要求应急处理应制定应急处理预案，以应对可能出现的意外情况，如设备故障、气体泄漏等。安全防护实验室内应配备必要的安全防护设施，如防护眼镜、手套等，以确保操作人员的安全。054.1人员资格123检漏工作人员应具备相关的专业知识和实践经验。应熟悉氦质谱真空检漏的基本原理、操作方法和注意事项。应了解被检设备和检漏仪器的性能、特点及使用要求。4.1.1基本要求010203检漏工作人员应接受专业的培训和考核，确保其具备从事检漏工作的能力。培训内容应包括理论知识和实践操作两部分，注重提高工作人员的实际操作能力。考核合格后方可上岗，确保检漏工作的准确性和可靠性。4.1.2培训与考核在检漏过程中，应采取必要的防护措施，如佩戴防护眼镜、手套等。如遇紧急情况，应立即停止检漏并采取相应的应急措施。检漏工作人员应严格遵守安全操作规程，确保人身和设备安全。4.1.3安全与防护4.1.4职业道德与素养检漏工作人员应具备良好的职业道德和素养，保持认真负责的工作态度。01应严格遵守保密规定，不得泄露任何与工作相关的信息。02在工作中应积极与团队成员沟通交流，共同协作完成检漏任务。03064.2设备要求氦质谱检漏仪应具有高灵敏度，能够检测到微小的氦气泄漏。灵敏度仪器应具有良好的稳定性，确保长时间检测过程中的准确性和可靠性。稳定性检漏仪的响应时间应尽可能短，以便及时检测到泄漏并作出反应。响应时间4.2.1氦质谱检漏仪真空系统应能达到所需的真空度，以保证检漏的准确性。真空度真空系统应具有足够的抽气速率，以便在短时间内建立所需的真空环境。抽气速率真空系统的稳定性对于检漏结果的准确性至关重要，因此应选择性能稳定的真空系统。稳定性4.2.2真空系统确保检漏过程中连接处的密封性，防止气体泄漏。连接器与密封件定期对检漏仪进行校准，确保其准确性和可靠性。校准设备提供稳定的氦气供应，用于检漏过程中的示踪气体。氦气源4.2.3辅助设备电气安全使用氦气时，应注意防止气体泄漏和积聚，确保操作环境的安全。气体安全操作安全操作人员应接受专业培训，熟悉设备操作和安全规范，确保检漏过程的安全进行。确保检漏仪和相关设备的电气安全，防止触电事故发生。4.2.4安全防护074.3氦气稀有气体氦气是一种无色无味无臭的稀有气体，化学性质非常稳定，不易与其他物质发生化学反应。氦气的性质密度小氦气的密度远小于大气中的其他气体，因此在真空检漏中易于检测和定位。渗透性强氦气分子小，渗透性强，能够穿过微小的漏洞，便于发现潜在的泄漏点。安全性好相比其他检漏方法，使用氦气作为示踪气体的安全性更高，不会对人体和环境造成危害。示踪气体在真空检漏过程中，氦气常被用作示踪气体，通过检测氦气的浓度变化来判断是否存在泄漏。灵敏度高由于氦气的独特性质，使得氦质谱真空检漏方法具有高灵敏度，能够检测到微小的泄漏。氦气在真空检漏中的应用为了保证检漏的准确性，应使用高纯度的氦气，避免杂质气体的干扰。高纯度要求在使用氦气进行真空检漏时，应严格按照操作规程进行，确保人员和设备的安全。正确操作氦气应储存在阴凉、通风的地方，远离火源和热源，运输过程中要避免碰撞和剧烈震动。储存与运输氦气的使用注意事项084.4环境要求温度进行氦质谱真空检漏时，环境温度应控制在一定范围内，通常建议在20-25摄氏度之间，以确保检测设备的稳定性和准确性。湿度温度与湿度环境湿度对检测结果也有一定影响，一般应控制在相对湿度40%-60%的范围内，以避免因湿度过高或过低导致的误差。0102清洁度检测环境应保持清洁，避免灰尘、杂质等污染物对检测结果的影响。必要时，应采取适当的防尘措施。振动为确保检测设备的稳定性和准确性，应尽量避免强烈的振动和冲击。在必要时，应采取减震措施以降低振动对检测结果的影响。清洁度与振动VS检测设备应接入稳定可靠的电源，并确保电源电压和频率符合设备要求。在电源波动较大的地区，建议使用稳压电源以保证设备的正常运行。接地为确保设备和人身安全，检测设备应良好接地。接地线应连接至专门的接地装置，并确保接地电阻符合相关标准。电源电源与接地操作人员进行氦质谱真空检漏时，操作人员应穿戴适当的防护用品，如实验服、手套等，以确保人身安全。01安全防护设备保护为避免设备损坏或性能下降，应定期对检测设备进行维护保养，并确保在使用过程中避免碰撞和过度磨损。同时，在设备周围应设置必要的防护措施，以防止意外事故的发生。02095检漏方法氦质谱真空检漏是利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测氦气的存在，从而确定系统的泄漏情况。通过测量泄漏率，可以确定系统的密封性能，进而保证真空系统的正常运行。氦气具有较小的原子量和较高的扩散速度，因此能够快速地通过泄漏处进入真空系统，被质谱仪检测到。5.1氦质谱真空检漏原理向被检系统内充入一定量的氦气，使其达到一定的压力。充氦阶段开启质谱仪，对系统进行扫描检测，观察是否有氦气泄漏。检漏阶段01020304确认检漏设备和被检系统的连接，确保系统处于真空状态。准备阶段记录检测数据，计算泄漏率，评估系统的密封性能。数据处理阶段5.2检漏步骤5.3检漏注意事项确保被检系统处于真空状态，避免空气或其他气体干扰检测结果。充氦时要控制氦气的压力和充入量，避免对系统造成过大的压力或浪费氦气。在检漏过程中要保持环境安静，避免外部噪声干扰质谱仪的检测精度。对于检测到的泄漏点要及时进行修复，确保系统的密封性能达到要求。105.1喷吹法利用惰性气体（如氦气）作为载体，将脱硫粉剂通过喷枪喷入被测真空系统中，通过检测氦气的泄漏情况来判断系统的密封性能。原理喷吹法具有灵敏度高、操作简便、可重复性好等优点，适用于各种真空系统的检漏。特点原理与特点准备工作选择合适的喷枪和脱硫粉剂，连接好喷吹装置和真空系统。泄漏检测使用氦质谱检漏仪检测系统中的氦气泄漏情况，记录泄漏数据。喷吹操作开启喷吹装置，将脱硫粉剂均匀喷入被测真空系统中。操作步骤注意事项喷吹过程中要确保喷枪与真空系统的密封性，防止气体泄漏。01喷吹时要控制喷吹速度和时间，避免过量喷入导致系统污染。02检测过程中要保持环境安静，避免外部干扰对检测结果的影响。03真空设备制造与维修用于检测真空设备的密封性能，确保设备质量。科研实验工业生产应用范围在科研实验中，需要高密封性的真空环境，喷吹法可用于检测实验装置的密封性。在工业生产过程中，对真空系统的密封性有严格要求，喷吹法可满足生产过程中的检漏需求。115.2氦罩法利用氦气作为示踪气体，因其分子小、渗透力强，易于通过微小漏孔在被检件外部罩上充有氦气的罩子，若被检件有漏，则氦气会通过漏孔进入被检件内部通过检测被检件内部是否有氦气来判断是否存在泄漏原理010203能够完全覆盖被检件的密封罩子，内部充有氦气设备与材料氦罩用于对被检件进行抽真空操作真空系统用于检测被检件内部是否有氦气泄漏氦质谱检漏仪1.将被检件放入氦罩中，并确保氦罩密封良好2.对氦罩进行充气，使其内部充满氦气3.开启真空系统，对被检件进行抽真空操作4.使用氦质谱检漏仪检测被检件内部是否有氦气泄漏5.根据检测结果判断被检件是否存在泄漏，并记录泄漏位置和大小0304020105步骤010203确保氦罩密封性良好，避免外部空气进入影响检测结果在进行抽真空操作时，要确保被检件能够承受相应的真空度，避免损坏被检件使用氦质谱检漏仪时，要按照说明书规范操作，避免误操作导致设备损坏或检测结果不准确注意事项125.3压力-真空检漏法原理介绍该方法适用于检测较小漏率和较高精度的场合通过测量和分析氦气的浓度变化，可以确定漏孔的位置和大小利用被检件内部充入高于大气压的氦气或混合气体，在外部用真空泵造成负压，氦气通过漏孔进入检漏仪被检测010203真空系统包括真空室、真空泵和真空计等，用于在被检件外部形成负压环境充气系统将被检件内部充入高于大气压的氦气或混合气体氦质谱检漏仪用于检测和分析通过漏孔进入真空室的氦气浓度设备组成对被检件进行预处理，如清洁表面、去除油污等将被检件放入真空室，并密封好启动真空系统，使真空室内达到预定的真空度启动充气系统，向被检件内部充入高于大气压的氦气或混合气体，并保持一定时间打开氦质谱检漏仪，检测和分析通过漏孔进入真空室的氦气浓度，从而确定漏孔位置和大小操作步骤检测灵敏度高，可以检测出非常小的漏孔；定位准确，可以直接找到漏孔位置；检测效率高，可以快速完成检测任务优点设备成本较高，需要专业的操作人员；对于大型或复杂结构的被检件，可能存在检测盲区或难以到达的区域。缺点优缺点分析136检漏文件检漏任务书明确检漏的对象、目的、要求、方法和步骤等。检漏记录详细记录检漏过程中的数据、现象和结果，包括检漏时间、地点、人员、设备、环境条件等。检漏报告对检漏结果进行汇总、分析和评价，提出处理意见和建议。6.1检漏文件的内容准确性检漏文件应真实反映检漏过程和结果，数据准确可靠。规范性检漏文件应符合相关标准和规范的要求，格式统一，表述清晰。完整性检漏文件应包含所有相关的信息和数据，不得遗漏或隐瞒。6.2检漏文件的编制要求检漏文件应按规定进行存档，以备后续查阅和使用。存档管理涉及机密或敏感信息的检漏文件应做好保密工作，防止信息泄露。保密管理对于过期的或无保存价值的检漏文件，应按规定进行销毁处理。销毁管理6.3检漏文件的管理146.1检漏记录确保检漏质量完整的检漏记录可以作为质量控制的依据，确保每个检漏环节都得到了有效的执行和监控。提供改进依据通过对检漏记录的统计和分析，可以发现检漏过程中的问题和不足，为后续的改进提供有力的数据支持。跟踪和记录检漏过程通过详细记录检漏过程中的各项参数和操作，可以方便后续对检漏结果进行分析和追溯。检漏记录的重要性检漏设备信息包括设备型号、编号、生产厂家等基本信息，以确保设备的可追溯性。检漏环境参数记录检漏时的环境温度、湿度、气压等参数，以排除环境因素对检漏结果的影响。检漏过程数据详细记录检漏过程中的数据变化，如氦气浓度、泄漏速率等，以便后续分析。检漏结果及判定根据检漏数据和标准要求，对检漏结果进行判定，并记录判定结果和依据。检漏记录的内容检漏记录的保存和管理010203保存期限检漏记录应按照规定进行保存，以备后续查询和追溯。保存期限应根据相关法规和标准进行确定。保密性要求检漏记录可能涉及企业的商业机密或技术秘密，因此应做好保密工作，防止信息泄露。电子化管理为提高管理效率，可以采用电子化管理系统对检漏记录进行保存和管理，方便查询和统计分析。156.2检漏报告01检漏对象的基本信息包括设备名称、型号、编号等，以及检漏的具体部位或系统。报告内容02检漏方法和仪器详细描述所采用的检漏方法（如氦质谱检漏法）和使用的仪器（如全自动氦质谱检漏仪）。03检漏过程与结果记录检漏过程中的关键步骤和数据，如氦气的注入量、检测到的漏率等，并给出是否合格的结论。报告格式和要求报告应采用规范格式，包含标题、正文、结论、签名等部分。01报告中的数据应真实、准确，并经过审核确认。02报告应加盖检漏单位公章和检测人员签名，以确保其真实性和有效性。03检漏报告是评估设备或系统密封性能的重要依据，有助于及时发现并处理潜在的泄漏问题。报告的意义和作用检漏报告可以为设备的维护、保养和维修提供有价值的参考信息，延长设备的使用寿命。检漏报告还可以作为设备验收、质量评估等工作的必要文件之一，确保设备的安全性和可靠性。16附录A(规范性附录)检漏记录跟踪和记录检漏过程检漏记录可以详细记录每次检漏的过程，包括检漏时间、地点、人员、设备、方法等信息，有助于后续对检漏情况进行跟踪和分析。检漏记录的重要性确保检漏质量通过检漏记录，可以监控检漏过程是否符合规范，及时发现并纠正可能存在的问题，从而确保检漏的质量和准确性。提供法律依据在涉及法律纠纷或质量问题时，检漏记录可以作为重要的法律依据，证明检漏过程的合规性和检漏结果的可靠性。检漏记录的内容要求包括检漏日期、时间、地点、检漏人员姓名、使用的检漏设备和检漏方法等基本信息。基本信息详细记录检漏过程中的各个步骤，如设备准备、检漏操