中职教育一年级上学期电子与信息《导片与上片》教学课件

项目四晶圆检测流程4.1导片与上片微电子技术与器件制造主讲人：钟雪梅4.1导片与上片引言

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INTRODUCTION本项目从导片与上片任务入手，先让导片以及上片有一个初步了解；然后详细介绍导片与上片步骤专业技能。最后通过学习导片与上片的注意事项，让同学们进一步了解导片与上片工艺。PART01导片PART02上片目录4.1导片与上片4.1导片与上片知识目标了解导片步骤、以及注意事项4.1.1导片首先对于导片的定义来做一个了解，它是在对温图与试件单上的信息统一后再将同一批次的图按次放入花篮,导片就是为以后检测工艺做好相应的基础,保证其检测的合格率。晶圆检测工艺流程4.1.1导片导片—材料介绍

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。如图1所示。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。4.1.1导片通常情况下,晶圆多指单晶硅圆片。图1晶圆就是制造半导体芯片的基本材料,按其直径可分为4英寸、5英寸6英寸、8英寸、12英寸等规格。晶圆越大,晶圆的制造成本越低,但对材料技术和生产技术的要求则更高。在晶圆制造过程中,其合格率是首要考虑的因素。4.1.1导片接下来我们一起学习导片的步骤：1准备工作①根据生产排程表对应的“待测栏信息,从氮气柜中取出装有晶圆的花篮和对应的晶圆测试随件单。②工具准备:晶圆镊子,空的花篮。具体情况请大家看ppt上的图片。4.1.1导片3、核对晶圆印章批号确认晶圆数量无误后,用晶圆镊子从常温花篮中依次取出晶圆,核对晶圆信息,确保晶圆的印章批号和晶圆测试随件单一致。如下图所示:S6K36577为印章批号,且晶圆与晶圆测试随件单上的印章批号一致。其中,图1为晶圆测试随件单,图2为晶圆印章批号所在位置的示意图。4.1.1导片第四部：核对晶圆片号为保证晶圆检测的合格率,在印章批号核对一致后,还要核对晶圆片号和花篮编号。然后用晶圆镊子将晶圆放置到相应的花篮编号中,等待晶圆上片检测。如下所示:图1所示的晶圆片号为22,则该晶圆应放在图2所示的常温花篮编号为22的沟槽内。4.1.1导片特别强调：导片要注意的事项1、手持晶圆镊子时应采用“握笔式”的姿势夹取晶圆,如图所示（大家请看图）2、用晶圆镊子夹取晶圆时,注意晶圆镊子的“短边”(锯状头)应置于晶圆正面,“长边”(平头)应置于晶圆背面,夹的时候要夹晶圆的空白部分,千万不可伤及晶圆。4.1.1导片3.一个花篮通常装有25片晶圆，导片时需保证晶圆片号与花篮编号一致。如图所示,片号为8的晶圆需放置在花篮编号为8的沟槽内。若晶圆片号和花篮编号不一致,则会导致后期检测工艺环节数据调用错误,影响产品合格率,造成重大质量事故。4.1.1导片知识总结同学们要特别注意导片的步骤：包括准备工作-工具准备-核对晶圆印章-核对晶圆片号4.1导片与上片知识目标了解上片步骤以及上片注意事项第二个部分主要是对上片知识的学习4.1.1上片

这里上片是在探针台的承重台上实现的,上片是将装有待测品的花篮，固定在承重台上,承重台下移至探针台位置,此时完成取片的过程。所以在进行扎针测试前,需要将完成导片的晶圆放到探针台相应位置等待进行晶圆检测,这一过程就是上片。4.1.1上片接下来给同学们介绍的书上片的设备

探针台从操作上可分为手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台的型号有PW-400;半自动探针台的型号有SHCV-8EG2001;全自动探针台的型号有UF200A,TELP8,P8XL,80W,EG4060,TSKAPM990其中,由于手动探针台的工作效率较低,目前工业级晶圆检测中通常使用半自动探针台和全自动探针台。如右图所示就为全自动探针台。4.1.1上片同样接下来我们也来学习下上片的步骤：1.这里花篮放置以全自动探针台为例,上片时先打开盖子,将导片完成的花篮放在探针台的待测区域(承重台)。花篮放置时需注意此时承重台前的两盏指示灯均处于灯灭状态。其中绿灯表示上升红灯表示下降。右图所示为将待检花篮的放置，此时就是圆印章批号正面朝上在承重台上的现象。4.1.1上片第二步：花篮固定前后移动花篮,将花篮固定在承重台上,如图1所示当花篮的卡槽与承重台的上片槽密贴时,即花篮位置放置正确时,承重台上的位置指示灯亮,如图2所示4.1.1上片第三步花篮下降：确认花篮的卡槽和承重台的上片槽密贴后,按确认键,下降指示灯(红灯)亮,如图1所示。承重台和花篮开始下降到探针台指定位置,如图2所示。4.1.1上片第四步是花篮到位：承重台下降到指定位置后,下降指示灯(红灯)灭,合上盖子,探针台自动完成晶圆上片。图1为花篮到位后,下降指示灯灭的示意图，图2是将探针台上的盖子合上的示意图。4.1.1上片这里要提醒大家上片中注意事项有两个：1.如果花篮位置放置不正确,即花篮的卡槽与探针台的上片槽没有密贴,就有可能导致晶圆探针错位、破片。2、探针