洁净室及相关受控环境 第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效-编制说明

编制说明

一、工作简况

根据《国家标准化管理委员会关于下达2021年第二批

推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》（国标

委发〔2021〕23号），全国洁净室及相关受控环境标准化技

术委员会（SAC/TC319）组织成立了《洁净室及相关受控环境

第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效》（国家标准

计划：20213386-T-469）国家标准的起草工作组，工作组的

主要组成单位是：中国电子工程设计院有限公司、深圳市丽

风净化工程有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限

公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国建筑科学

研究院有限公司、中国标准化协会、派欧尼尔环境净化工程

（北京）有限公司、仲恺农业工程学院、南京工业大学、奥

星工程科技（石家庄）有限公司、浙江朝晖过滤技术股份有

限公司等。起草工作组严格按照国家标准制定工作程序开展

工作，于2022年3月16日召开了第一次工作会议，制定了

工作计划，对标准草案进行了讨论。至2023年1月组织了

多次线上讨论会，起草工作对标准草案进行多轮修改，形成

了标准征求意见稿。

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据

（一）编制原则

在提升洁净室和空气净化装置的能效方面，我国目前没

有国家标准。ISO14644-16已于2019年发布，为引导我国

洁净室和空气净化装置能效的技术标准尽快与国际接轨，本

次按照立项要求，依据《采用国际标准管理办法》，在翻译和

理解准确的基础上，将ISO14644-16：2019等同转化为国

家推荐标准，起草规则按照GB/T1.1-2020进行。

（二）主要内容

本标准给出了在新建和既有洁净室、洁净区、隔离装置

的能源优化利用和保持良好能效方面的指导和建议，考虑了

所有洁净室的特性及不同洁净区的要求，以便在电子、航空

航天、核领域、制药、医院、医疗设施、食品工业及其他洁

净室的应用场合优化能源利用，同时还引入了用于洁净室能

源效能评估和对比的概念，可指导洁净室的设计、建造、调

试和运行。

章节内容：

1范围

2规范性引用文件

3术语和定义

4节能评估和实施程序

5用户技术要求（URS）对能耗的影响

6风量与补偿因数

7功率管理——低速运行、关机、复原

8自适应控制

9供暖和冷却负荷

10风机和过滤器的选择

11照明

12培训

13运行

14维护

15停机

附录A源强：风量和示例

附录B节能机会

附录C影响评估

附录D洁净室能源效能指标比对

附录E降低供暖与冷却损耗措施

（三）确定依据

洁净室为达到规定的洁净度水平，耗能较高，其中风机

能耗约占35%至50%，以保障洁净系统中高压差下工作的高

效过滤器及其他空气循环环节所需的功率。洁净室能耗可占

到一般生产制造设施总能耗的80%。此外，为保证洁净室内

的工艺需求、人员舒适所需的温湿度，以及达到洁净空间所

需压力，还有一定能耗。因此，不论是新洁净室设计，还是

既有设施更新改造，都有巨大的节能潜力。

本标准列出并解释了从洁净室到净化空气装置可实施

的节能技术措施，其中包括ISO14644-7中所描述的隔离器、

手套箱、微环境。本标准的依据是设计经验、工程实践、实

验测试，并辅以理论计算，以期对节能效果做出清楚、科学

的阐述。

本标准中所采用的节能方法和技术均为通用技术，适用

于各种洁净环境，不针对特定生产工艺，且不包含相关生产

工艺，如水处理、炉子、高压釜、应力循环运行等。可根据

需方、供方和安装调试方所商定的洁净室运行条件，决定具

体采用的节能方法。

三、试验验证的分析、综述报告，技术经济论证，预期

的经济效益、社会效益和生态效益；

（一）调研

起草工作组通过走访不同类型的大学、研究机构、相

关企业，了解洁净室和空气净化装置的能效实际状况和对

其有影响的其他因素，从而保证所建议的节能措施合理有

效。起草过程中，工作组也综合考虑了洁净室和空气净化

装置所采取节能措施的可行性及风险评估，开展了相关调

研，进行技术积累，汇总，整理大量相关资料。

（二）标准草案研制

采用国际标准最关键的是试验验证。ISO14644-16为

中国联合主导的国际标准，王大千老师作为ISO14644-16

的技术负责人，从始至终参加了该项国际标准的制订工作。

洁净室由于其用途的特殊性，较难开展验证工作。但在ISO

14644-16制订过程中，TC319和王大千老师仍调动了很多

委员单位，积极开展相关验证工作，并将中国在洁净室及空

气净化装置方面的节能措施提案纳入到ISO14644-16中，

为本次等同转化为国家推荐标准打下了很好的基础。

本标准制订工作启动后，起草工作组多方听取各方面

的意见，形成标准草案，标准文本组以国际标准化专家为

主，他们是王大千、冯昕、……。2022年11月召开工作组

视频会议进一步讨论修改，形成标准征求意见稿。

（三）效益分析

在洁净室寿命周期的每个阶段，都存在优化系统性能和

采取节能措施的机会。设计阶段采纳的节能措施对新洁净室

是最有效的，但已运行洁净室也可实现相似的节能效果。根

据洁净室现场的实际条件，节能方法可单个使用，也可成组

使用。

在设计阶段，因缺少建筑及工艺等信息，会造成系统设

计保守、技术要求过严。在此阶段审核这些技术要求和设计

要点，对能源效率是很有价值的。

当系统安装及性能测试时，仍有机会调整系统适应空态

的实际情况，以便优化系统性能、使能耗最低。

在洁净室设施的工作寿命期间，能够并应该对监测数据

进行分析，以对系统进行进一步的优化，使能耗最少。

本标准的制订与实施，将有效提升洁净室和空气净化装

置能源利用效率，不仅使多方受益，具有显著的经济效益，

同时，也将极大提升我国洁净室系统性能优化水平，具有明

显的社会效益和生态效益。

四、与国际、国外同类标准技术内容的对比情况

对“洁净室和空气净化装置能效”等方面的内容进行了广

泛查询，本标准等同采用了国际标准ISO14644-16：2019，

未采用其他国际和国外先进标准。

五、以国际标准为基础的起草情况，以及是否合规引用

或者采用国际国外标准

本标准依据《采用国际标准管理办法》，等同采用国际标

准ISO14644-16：2019，起草规则按照GB/T1.1-2020进行。

六、与有关法律、行政法规及相关标准的关系

本标准符合相关法律、法规，与现行有关国家标准、国

家军用标准、行业标准无冲突。

七、重大分歧意见的处理经过和依据

无

八、涉及专利的有关说明

无

九、实施国家标准的要求，以及组织措施、技术措施、

过渡期和实施日期的建议等措施建议

在标准颁布、实施前后，通过各种途径加强宣传、宣贯、

培训工作，例如采用成立标准宣贯小组、发布各种标准解读

材料、召开培训会议、线上线下答疑等方式，使标准相关各

方能够较为深刻的理解标准的技术内容。

由于提升洁净室和空气净化装置的能效属于前沿领域，

在实施本标准的基础上，建议技术委员会及有关单位积极组

织各方力量，对节约洁净室运行的能源消耗及其他相关问题，

进行专题研讨，以进一步提升洁净室和空气净化装置的能效

应用标准化水平。

为保证本标准的顺利实施，建议设置适度的过渡期。

十、其他应当说明的事项

无

《洁净室及相关受控环境

第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效》

国家标准工作组

2023年1月

编制说明

一、工作简况

根据《国家标准化管理委员会关于下达2021年第二批

推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》（国标

委发〔2021〕23号），全国洁净室及相关受控环境标准化技

术委员会（SAC/TC319）组织成立了《洁净室及相关受控环境

第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效》（国家标准

计划：20213386-T-469）国家标准的起草工作组，工作组的

主要组成单位是：中国电子工程设计院有限公司、深圳市丽

风净化工程有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限

公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国建筑科学

研究院有限公司、中国标准化协会、派欧尼尔环境净化工程

（北京）有限公司、仲恺农业工程学院、南京工业大学、奥

星工程科技（石家庄）有限公司、浙江朝晖过滤技术股份有

限公司等。起草工作组严格按照国家标准制定工作程序开展

工作，于2022年3月16日召开了第一次工作会议，制定了

工作计划，对标准草案进行了讨论。至2023年1月组织了

多次线上讨论会，起草工作对标准草案进行多轮修改，形成

了标准征求意见稿。

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据

（一）编制原则

在提升洁净室和空气净化装置的能效方面，我国目前没

有国家标准。ISO14644-16已于2019年发布，为引导我国

洁净室和空气净化装置能效的技术标准尽快与国际接轨，本

次按照立项要求，依据《采用国际标准管理办法》，在翻译和

理解准确的基础上，将ISO14644-16：2019等同转化为国

家推荐标准，起草规则按照GB/T1.1-2020进行。

（二）主要内容

本标准给出了在新建和既有洁净室、洁净区、隔离装置

的能源优化利用和保持良好能效方面的指导和建议，考虑了

所有洁净室的特性及不同洁净区的要求，以便在电子、航空

航天、核领域、制药、医院、医疗设施、食品工业及其他洁

净室的应用场合优化能源利用，同时还引入了用于洁净室能

源效能评估和对比的概念，可指导洁净室的设计、建造、调

试和运行。

章节内容：

1范围

2规范性引用文件

3术语和定义

4节能评估和实施程序

5用户技术要求（URS）对能耗的影响

6风量与补偿因数

7功率管理——低速运行、关机、复原

8自适应控制

9供暖和冷却负荷

10风机和过滤器的选择

11照明

12培训

13运行

14维护

15停机

附录A源强：风量和示例

附录B节能机会

附录C影响评估

附录D洁净室能源效能指标比对

附录E降低供暖与冷却损耗措施

（三）确定依据

洁净室为达到规定的洁净度水平，耗能较高，其中风机

能耗约占35%至50%，以保障洁净系统中高压差下工作的高

效过滤器及其他空气循环环节所需的功率。洁净室能耗可占

到一般生产制造设施总能耗的80%。此外，为保证洁净室内

的工艺需求、人员舒适所需的温湿度，以及达到洁净空间所

需压力，还有一定能耗。因此，不论是新洁净室设计，还是

既有设施更新改造，都有巨大的节能潜力。

本标准列出并解释了从洁净室到净化空气装置可实施

的节能技术措施，其中包括ISO14644-7中所描述的隔离器、

手套箱、微环境。本标准的依据是设计经验、工程实践、实

验测试，并辅以理论计算，以期对节能效果做出清楚、科学

的阐述。

本标准中所采用的节能方法和技术均为通用技术，适用

于各种洁