Y -S-T 1683-2024 磁记录用铬钛合金溅射靶材（正式版）

1CCS77.150.50YS中华人民共和国有色金属行业标准2024-03-29发布2024-10-中华人民共和国工业和信息化部发布YS/T1683—2024本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波热等静压技术有限公司。本文件主要起草人：姚力军、吴东青、廖培君、杨慧珍、王学泽、刘晓、周友平、曹欢欢、边逸军、宋琦、汤婷、袁海军、干科军、许兴、黄引驰、陈玉蓉、时晓旭。1YS/T1683—2024磁记录用铬钛合金溅射靶材本文件规定了磁记录用铬钛合金溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钛合金靶材。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定GB/T4702.6—2016金属铬铁、铝、硅和铜含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T6394金属平均晶粒度测定方法GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级YS/T891高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求4.1化学成分产品的化学成分应符合表1的规定。表1化学成分%CNOSWV2YS/T1683—20244.2晶粒尺寸产品的晶粒尺寸平均值不大于45μm，最大值不大于120μm。4.3相对密度产品的相对密度应不小于98%。4.4内部质量产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单中注明。4.5外形尺寸产品通常为圆形，尺寸规格及结构方式一般由需方提供图纸，经双方确认后，方可生产。产品溅射面的平面度应小于0.1mm。4.6表面粗糙度产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。4.7外观质量产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。5试验方法5.1Ti含量的测定按照附录A的规定进行或由供需双方协商确定；C含量的测定按照GB/T4698.14的规定进行；O和N含量的测定按照GB/T4698.7的规定进行；S含量和其他杂质元素含量的测定按照YS/T891的规定进行。5.2晶粒尺寸检验按照GB/T6394的规定进行。5.3相对密度检验按GB/T3850的规定进行。5.4内部质量检验按照GB/T8651的规定进行。5.5外形尺寸通过卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测定。需方有特殊要求时，可采用三坐标测量仪进行检测。5.6表面粗糙度通过粗糙度测量仪按照GB/T1031的规定进行检验，或按照供需双方协商确定的方法测定。5.7外观质量用目视方法检测，必要时用放大镜或显微镜进行鉴别。6检验规则6.1检查和验收6.1.1产品应由供方或第三方进行检验，产品质量应符合本文件及订货单的规定，并填写随行文件。6.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外观质量及外形尺寸的异议，应在收到产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协商确定。6.2组批产品应成批提交验收。每批应由同一生产周期、同一牌号和规格的产品组成。6.3检验项目3YS/T1683—2024每批产品均应进行化学成分、晶粒尺寸、相对密度、内部质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量的检验。6.4取样6.4.1产品的取样应符合表2规定。表2取样6.4.2化学成分、晶粒尺寸检验在半成品的边缘位置进行取样，样品间隔1/4圆弧长，如图1所示。样品2图1取样位置示意图6.5检验结果的判定6.5.1化学成分、晶粒尺寸、相对密度、内部质量检验结果不合格时，从同批产品中取双倍数量的试样进行重复检验，若有任一检验结果不合格时，则判该批产品不合格。6.5.2外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验结果不合格时，判该件产品不合格。7标志、包装、运输、贮存及随行文件7.1标志7.1.1应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置。7.1.2在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：a)供方标志；b)产品名称；c)牌号；d)生产批号；e)出厂日期；7.2包装4YS/T1683—20247.2.1产品的清洗、干燥及内包装应在GB/T25915.1—2021中ISO5级的洁净室内进行。产品经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整无贯通，无泄露。7.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将随行文件用塑封袋装好后粘贴于包装盒上。7.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。7.3运输与贮存运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。7.4随行文件每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、出厂日期或包装日期外，还宜包括下列内容。a)质量证明书，内容如下：l产品名称、牌号、规格和状态；l产品锭号、批号、批重和数量；l产品的主要性能及技术参数；l各项分析检验结果及质量检验部门印记；b)合格证，内容如下：l锭号或批号；l检验日期；l检验员签名或盖章；8订货单内容需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容：a)产品名称；b)牌号；c)外形尺寸；d)数量；e)本文件编号；f)其他。5YS/T1683—2024铬钛合金中钛含量测定A.1原理试料以硝酸、盐酸、氢氟酸分解，样品经一定比例稀释后，使用电感耦合等离子体发射光谱仪测定，具体过程如下：稀释溶液由氩气带入等离子体矩焰中，经气化、电离、激发并辐射出特征谱线，通过特征曲线信号强度测定钛的质量浓度，通过标准曲线计算出试料中钛的含量，以质量分数表示测定结果。A.2试剂A.2.1盐酸。A.2.2氢氟酸。A.2.3硝酸(5%)。A.2.4钛标准贮存溶液:采用有效期内有证书的钛标准贮存溶液。此溶液1mL含1mg钛。A.2.5钛标准溶液：分别移取10.00mL钛标准贮存溶液（A.2.4）置于100mL容量瓶中，以硝酸(A.2.3)稀释至刻度线，摇匀。此溶液1mL含钛100μg。A.3试料称取0.1g样品，精确到0.0001g。A.4试验步骤将试料(A.3)置于60mL聚四氟乙烯管中，加入2mL～3mL盐酸（A.2.1），加热100℃10min，待反应停止后加入2mL氢氟酸（A.2.2）至试