环境-校正品质培训

环境,校正品质培训BY:QCTeam

1.ESD管理

2.Environment管理

3.校正,GRRQuality品质培训1.ESD品质管理题目ESD管理教育资料目的为传递在现场发生的静电问题的正确理解和抑制活动适用范围Hitch

B/E线所有操作者[内容]1.ESD用语处理2.静电定义和原理3.静电发生源4.ITEM別作用原理5.静电受害事例6.管理ESD需要的遵守事项7.参考资料像我们公司一样生产半导体的产业中，因静电放电(ESD)不断发生灾害。随着不良产生和品质低下的损失，结果导致顾客的忧虑和经济性损害。最重要的一点，这种大部分的静电灾害是因为管理疏忽，对静电的认识和理解不足而发生的。本次教育是以这样的宗旨来开始。为传播在现场发生的静电问题的正确理解和抑制活动(ESD管理教育前,弄操作者教育PLAN，为管理教育对象及结果的记录.)前言ESD保护区域(EPA)为限制静电位，拿资料和装置准备和考案的环境.接地(Ground)1）电流回路或装备和大地或是大地连接的某种导电体间的意图式或是事故的导电性连接2）以大地为基础无电位差的电流状态或部份导电性(Conductive)包含表面阻抗

10^5以下的物质

WorkTable,Box等.疏散性(StaticDissipative)包含表面阻抗

10^5~10^12的物质Mat,shoes等电离装置

(Ionizer)为产生阳极还有/或是阴极的大气离子研制的装置.绝缘体(Insulator)包含表面阻抗

10^12以上

的物质纸，树，塑料，橡皮等.中和(Neutralization)重组合阳极和阴极电荷、电荷接地导电或导入同等的相斥电荷，解除电界.防止性带电(Antistatic)包含防止摩擦静电性的物质Bag,FingerCoat等.摩擦带电(TriboelectricCharging)两种材质接触后分离时产生的静电荷电气过负荷(EOS)超过最大定格的电流或是电压，某种清单泄漏.传导带电(InductionCharging)电界里瞬间接地时物体的电荷移动静电性切断保护(ElectrostaticShield)静电性敏感的电子产品或是基板的运输和保管时使用EX)AluminumShieldingBAG喷出带电(SprayCharging)气体，液体，固体流经过断面积小的喷出口时产生的静电荷.1.ESD用语整理静电发生原理

静电是?-.电荷不从一个物体转移到另一个物体，只是存储在一个地方的电-.因互相擦时发生的，故也是摩擦电的一种-.两种材质接触后分离时，材质间部份原子和电子的移动使相互间产生不均衡而发生的2.静电的定义/原理工作台表面

-.漆上蜡，油漆，清漆等的绝缘物质-.一般绝缘塑料袋-.其他塑料类地板块-.以混凝土，蜡等绝缘光泽剂漆板楼板-.一般绝缘塑料瓷砖-.一般绝缘地板衣物

/鞋-.一般合成纤维物质-.30%RH以下的棉织品-.绝缘性鞋类椅子-.涂有光泽剂的木材类-.一般塑料其他绝缘材质包装/货运-.通用塑料包，锡纸，泡沫,泡沫剂,碟子,模具，箱子等组装/洗涤/试验/维修区域-.喷雾式洗涤剂容器-.一般塑料类容器-.喷射机-.复印机-.真空清扫机3.静电发生源1.走在塑料地板块时：

250-12,000V2.作业指示书用的塑料信封：600-7,000V3.操作台操作员：

100-6,000V

4.摘掉一般粘着的胶布：

9,000-15,000V5.拿操作台上的涤纶包：1,500-18,000V

产品内部的非常小的导

电性路径容易受损.

在50V

以下时也有可能

损坏产品.3-1.日常生活中发生的静电ITEM别

作用原理

.操纵资财的作业在Table上铺盖疏散性垫子.安全分散操作时产生的静电.使用纤维内部装有导电丝

(碳素纤维).防尘服上不能穿另外的衣服，防尘服的袖口部分要直接接触皮肤..以人体及Line内的

Shelf,W/T等接地的方法、ESD管理资财为适当的鞋来做媒介接地的System.接地护腕的金属板要贴紧不能松或翻转..从人体产生的静电接地，在0.1秒内放电以至保护对静电敏感的IC等电子产品.操作中不能用手直接触摸..手套的材质必须是内置导电丝,操作时产生的静电通过导电丝分散..站着操作的作业员或是在操作场移动工作的作业员要接地，把工作时产生的静电分散..要保持干净的静电疏散地板，不能用洗涤剂清扫.椅子或HandCart一样的Mobile产品因DragChain或导电性轮子引起的静电，通过与地面的接触System疏散..产生的静电传导

100micro-sec以内反应，以至防止物品的损坏4.ITEM别作用原理NORMALESDDAMAGED5.ESD（静电放电）受害实例-.如所述，能给产品带来很大的灾害，

所以必须遵守LINE遵守事项.1.确认ESD保护区域

(EPA;ESDProtectedArea).

ESD保护区域标示

ESD发生物质标示2.确认

ESD发生物质.

.ESD发生物质最好禁止出入生产线..不得已在

Line内使用的情况,贴TagESD发生物质标示来管理6.为ESD管理遵守事项IMAGE*Line出入后，要注意始终保持最初的着装状态

1.在指定个人

LOCKER里保管便服及生产线

禁止带入的物品3.禁止头发露出帽子2.禁止防尘服接地而引起污染4.佩戴时WristStrap的端子要接触与手腕5.如室前照镜子确认是否完整穿戴防尘服A.戴口罩只局限于清电室操作员B.PKG操作员要依据

PKG着装规定6-1.正确的着装（样本）入室顺序

IMAGEOPERATION入室顺序

穿戴防尘服脱掉便服管理

戴防尘帽入室戴WristStrapWristStrap&ShoesTEST*PKG操作者依据

PKG如室规则

6-1.入室顺序（样本）OPERATION使用方法/注意事项测试

IMAGE1234Wriststrapon-linemonitor接地把WristStrap插在wriststrapon-monitor上.佩戴WristStrap后s/w调到

on.正确佩戴WristStrap后工作1234*闹钟响时确认连接状态

WristStrap异常时更换.6-2.WristStrapOn-lineMonitorOPERATIONSPEC

测试

IMAGE12穿着防静电拖鞋站到测试仪的脚板上将手放在测试板的开关上指示灯亮绿色，推Gate进入

*GateShoesTester不需要另外记入logsheet*出入生产线時,每次TEST

后出入.323123PASS

进入Fail

防尘靴

Cleaning及交替6-3.ConductiveShoes（AutoTester）

IMAGE1.每天测试

WristStrap和导电性

Shoes2.佩戴时WristStrap要接触手腕

,

系好工作服的纽扣.3.接受教育训练或是根据操作者带领的人

员才允许出入EPA内.4.作业场维持干净，丢掉绝缘体

(塑料类,纸类等).5.

只有接地时才可取对静电敏感的物品.通过肉眼和ALRAMSYSTEM始终检查接

地线处于连接.6-4.正确的操作环境错误的工作例

错误佩戴WristStrap例

错误佩戴

Smock例错误的姿态

Handling例

错误带入物品的生产线例

6-5.错误的工作环境*手机/首饰*烟/火柴/打火机

*食物

*文具类*化妆品类*其他塑料产品6-6.line出入时禁止携带的物品

Worktable&Shelf&ManESDControl

Earth接地

System接地基本构造2.环境管理无尘室定义无尘室管控项目Particle内容DIwater温湿度无尘室管理什么是Environment（环境）？环境既包括以空气、水、土地、植物、动物等为内容的物质因素，也包括以观念、制度、行为准则等为内容的非物质因素；既包括自然因素，也包括社会因素；既包括非生命体形式，也包括生命体形式。环境（environment）是指周围所在的条件，对不同的对象和科学学科来说，环境的内容也不同。对生物学来说，环境是指生物生活周围的气候、生态系统、周围群体和其他种群。对文学、历史和社会科学来说，环境指具体的人生活周围的情况和条件。对建筑学来说，指室内条件和建筑物周围的景观条件。对企业和管理学来说，环境指社会和心理的条件，如工作环境等。

现在我们所说的环境是环境无尘室(Clean

Room),也称为洁净室。

无尘室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。

因此，无尘室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要求。

设立无尘室的目的：

因空气中的微尘会附着在产品上，造成产品的损坏或不良，因此需控制空气中的微尘含量，确保无尘室的高洁净度，使设备正常运转，并使设备达到所需使用寿命。无尘室光照N2boxDIwaterParticle温湿度在生产的过程中需要使用水进行清洗，但水中存在的微量杂质将会导致产品的污染，因此需要使用DIwater，即超纯水无尘室内的照明条件，根据工程的不同所需的光照强度也不同为防止产品受到污染及被氧化等现象的产生，需要使用到氮气柜Particle对空气悬浮粒子进行管控，若尘埃、污物被带到操作现场将影响产品质量，恶化产品性能、降低成品率。Temperature/Humidity在洁净室内根据产业及工艺的不同对温湿度要进行管控，以保证产品的质量以及为操作人员体统一个良好的工作环境HitechQC无尘室主要控制内容大气中存在大量的悬浮尘粒子，它们的存在极大地影响产品的精密化，微型化，高质量，高纯度和高可靠性。空气中悬浮的粒状污染物质是由固体或液体微粒子所组成。大气尘可分为狭义大气尘和广义大气尘：无尘室中Particle狭义大气尘是指大气中的固态粒子，即真正的灰尘。对于大于10μm的粒子，因为较重，经过一段时间的无规则的布朗运动后，在重力的作用下，它们会逐渐沉降到地面上(沉降尘)，是通风除尘的主要目标。大气尘现代的概念既包含固态微粒也包含液态微粒的多分散气溶胶，是专指大气中的悬浮微粒，粒径(指空气动力学直径)小于10μm，这就是广义的大气尘。大气中0.1μm~10μm的灰尘粒子也在空气中做无规则运动，因重量较轻，则容易随气流漂浮，而很难沉降到地面。这种大气尘在环境保护领域被叫做飘尘。因此空气洁净技术中的大气尘的概念和一般除尘技术中的灰尘的概念是有所区别的。悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1～5μm之间。洁净度：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。高效空气过滤器HEPA

：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。专业术语一般微粒粒径对比0.3μm微尘粒径人类头发

(15μm)肉眼可视

(5μm)感性认知1,00010,000外大气层大气层田园地带街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带一般自然界气体等级感性认知DIWater：去离子水,是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。理论上,纯水中只有H离子和OH离子参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为18.3(兆欧·厘米)，一般约为15～18（兆欧·厘米）。水的电阻率的大小，与水中含盐量的大小、水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。因此，纯净的水电阻率很大，超纯水电阻率就更大。水越纯，电阻率越大。超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，是否可以饮用？DIWater去离子水一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子。Hitech目前只有Wafer

Saw和Singulation两个工程。31无尘室初级滤网預冷盘管預热盘管加湿器截水器冷却盘管加热盘管初级滤网送风机组中级滤网ＨＥＰＡ逆止风门外气空调箱温湿度控制

1、产品及设施

无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下

2、人发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发

尘绝对量也在不断减少。

A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为的确良、去静电纯涤纶、尼龙；

B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；

C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；

D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。发尘源及量：洁净人员管理1、人员产生的污染：

（1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）（2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。（3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。（4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。（5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。（6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。

（7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。人的污染2、分析国外试验资料显示：

（1）无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10~300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为150~1000个/min.人快步行走时的发菌量为900~2500个/min.人（2）咳嗽一次一般为70~700个/min.人（3）喷嚏一次一般为4000~62000个/min.人（4）穿平常衣服时发菌量3300~62000个/min.人（5）无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14人的污染所以，洁净间的管理，关键是人员的管理，只有每位员工严格遵守洁净间管理规定，才能真正发挥洁净间的作用，从而有效保证产线的正常运行，减少产品的人为不良率，降低成本，提高企业产品的竞争能力。(1)皮肤有晒焦、脱皮剥落、搔痒症者；无尘室出入人员管理之八不准具有下列状况之人员不准进入洁净室：(4)有搔头、挖鼻孔、搓脸、搓皮肤之不良习惯者；(2)患有严重型伤风、感冒，打嚏、咳嗽多者；(3)不注重个人卫生，头发脏乱、头皮屑多者；(5)涂覆胭脂、粉底或未按规定洗去化妆品、指甲油者；(7)持有或带有非无尘类物品或相关规定禁止带入洁净室之物品者；(8)未穿或未按规定穿戴好洁净服者；(6)吸烟过量者(烟粒子在说话,呼吸过程中能再次喷出)进入洁净室的人员应注意以下事项：（1）室内作业人员需严格遵守作业指示要求，按规定步骤操作设备及产品；（2）室内维修人员需严格遵守洁净室之规定，尽量避免室内进行切削、打磨甚至钻

孔等易产生污染类作业；（3）室内人员禁止打闹、奔跑或进行剧烈性的大动作行为；（4）室内人员禁止聚堆聊天说笑、玩手机或长时间打电话等影响环境工作之行为；（5）室内人员禁止吸烟、吃零食，禁止携带与工作无关之杂物；（6）室内人员严禁不戴手套进行作业或接触产品；（7）室内人员需时刻保持无尘服、鞋、帽等的正确穿戴，严禁在室内脱衣、换装或

进行大动作穿戴整理等；（8）室内人员严禁随意丢放物品、工具、器皿等，应按规定有序放置于相应规定区

域或工具箱内；洁净室入内人员管理之八注意进出洁净室人员应做到：(1)争取每天冲澡、洗头，刮胡须、换衣，保持身体清洁；(2)男士不留长发、长指甲，女士不涂胭抹粉、修眉毛、涂指甲；(3)进入洁净室前应洗手，无尘服需严格按要求穿戴，不准将头发漏在外面，口罩应罩在鼻梁位置；(4)严格遵守无尘室规定，在指定区域更换拖鞋、穿戴无尘服，换下无尘服应按规定折叠整齐或挂放指定地点；(5)严格遵守进出通道制度，人员进、出及物料通道要区分清楚，物料进出需按固定进行操作；(6)进入风淋室，必须严格按规定进行周身吹扫，风听5Sec后才可进入无尘室；(7)不准穿无尘服走出更衣室，更不允许穿戴无尘服上厕所；(8)争取不将手机带入洁净室，在洁净室内放取手机时应远离产品，不允许摘下口罩、帽子进行通话。洁净室出入管理人员之八做到3.校正,GRR1）.基本概念计量是指：“实现单位统一和量值准确可靠的测量”。在规定的条件下，为确定测量仪器或测量系统所指示的量值，或实物量具（参考物质）

所代表的量值，与对应的由标准所复现的量值之间关系的一组操作。指查明和确认测量仪器是否符合法定要求的程序，它包括检查、加标记和（或）出具检

定证书计量Metrology（根据JJF1001-1998,4.2）校正/校准Calibration检定VerificationGR&R（根据《国际通用计量学基本术语》VIM:1993,6.11)（根据JJF1001-1998,9.12）GageRepeatability&Reproducibility量具的重复性及再现性

-Repeatability重复性：在相同的测量条件下，对统一被测量进行连续多次测量所得结果之间的一致性-Reproducibility再现性：在改变了的测量条件下，同一被测量的测量结果之间的一致性（根据《国际通用计量学基本术语》VIM:1993,3.7)392）.计量管理概念及区别B计量检定的目的是确定计量器具是否符合法定要求，校准的目的是确定计量器具（测量设备）的示值误差。A计量检定是进行量值传递的重要途径，自上而下，带有强制性，必须执行检定规程。校准是自下而上，用户根据需要自主溯源，执行校准规范。C计量检定的结果是要给出计量器具是否合格的结论，出具检定证书或检定结果通知书，校准是给出计量器具（测量设备）的误差，记录在校准证书或校准报告上☺计量检定：查明和确认计量器具是否符合法定要求的程序。它包括检查、加标记和（或）出具检定证书。根据检定的必要程度和我国对其依法管理的形式，可将检定分为强制检定和非强制检定。☺校准：在规定条件下，为确定测量仪器或测量系统所指示的量值，或实物量具或参考物质所代表的量值，与对应的由标准所复现的量值之间关系的一组操作。40412）.计量管理ISO9001：2000对计量器具管理的要求

此外，当发现设备不符合要求时，组织应对以往测量结果的有效性进行评价和记录。组织应对该设备和任何受影响的产品采取适当的措施。校准和验证结果的记录应予以保持。对于计算机软件，应确认其满足预期用途的能力，确认应在初次使用前进行，必要时再确认.为确保结果有效，必要时，测量设备应：A）对照能溯源到国际或国家标准的测量标准，按照规定的时间间隔或在使用前进行校准或检定，当不存在上述标准时，应记录校准或检定的依据；B）进行调整或必要时再调整；C）得到识别，以确定其校准状态；D）防止可能使测量结果失效的调整；E）在搬运、维护和贮存期间防止损坏或失效。ISO9001：200标准第7.6条监视和测量装置的控制对计量器具管理进行如下规定：“组织应确定需实施的监视和测量以及所需的监视和测量装置，为产品符合确定的要求提供证据。组织应建立过程，以确保监视和测量活动可行并以与监视和测量的要求相一致的方式实施。42

校准规范的准备：

计量校准规范应规定以下方面的内容：

A）规范的适用范围；

B）校准的项目及校准用的工具；

C）校准的条件：例如温度23±4℃，湿度50±20%；

D）校准的要求；

E）校准的方法：外观检查、计量特性的检查、数据处理和分析；

F）校准结果的处理和校准周期。

校准实施步骤：

A）外观检查B）正常性检查C）计量特性的校准D）数据处理和分析E）校准结果的处理

校准记录：

1）校准原始记录应包含的信息；2）记录的书写要求；3）记录核验制度

校准证书及报告：

1、证书及报告包含的信息；

2、证书的种类：校准证书，检定证书3.证书的保管及登录：纸质证书由QC部门统一保管，扫描件登录HIQ1MSA系统管理

计量器具校准状态标识2）.计量管理