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文档简介
迁移率及电导率与杂质浓度和温度的关系
迁移率及电导率与杂质浓度和温度的关系
⑴迁移率ⅰ
掺杂浓度一定(饱和电离)时,μ大→σ大,即导电能力强;其中弛豫时间て与散射机构有关(散射几率大时,迁移率小)。例:一般情况下μn
>μp,因此,npn比pnp的晶体管更适合于高频器件.对于MOS器件,n沟道器件比p沟道器件工作速度快.
ⅱ
迁移率μ的公式为则有mc称为电导有效质量.电导率σ的表示式为②③几种散射同时存在时,有:实际的弛豫时间て及迁移率μ由各种散射机构中最小的弛豫时间和迁移率决定,此时相对应的散射最强.①ⅲ
与温度的关系:讨论:1.
在高纯材料中:以上时,㏒μ~
㏒T的关系曲线为线性,表明μ是T
的幂函数.可见,随着T的增大,μ
下降的速度要比声学波散射的T-3/2的规律要快,这是因为长光学波散射也在起作用,是二者综合作用的结果。2.在掺有杂质的半导体中:T一定(室温)时,由㏒μ~㏒N关系曲线,得GaAsGeSi㏒μ10210181019㏒
N与掺杂浓度的关系:若掺杂浓度一定,㏒μ~T
的关系为:-10020001001015cm-3㏑μn1013cm-31016cm-31017cm-31018cm-31019cm-3T(℃)(Si中电子迁移率)与温度的关系:NI
↑→电离杂质散射渐强→μ随T下降的趋势变缓NI很大时(如1019cm-3),在低温的情况下,T↑,μ↑(缓慢),说明杂质电离项作用显著;在高温的情况下,T↑,μ↓,说明晶格散射作用显著.NI很小时,[1013(高纯)—1017cm-3(低掺)].BNI/T3/2<<CT3/2.
所以,随着温度的升高,迁移率μ下降。即T↑,μ↓。此时晶格散射起主要作用。-10020001001015cm-3㏑μn1013cm-31016cm-31017cm-31018cm-31019cm-3总之:低温和重掺杂时,电离杂质散射主要影响因素;
高温和低掺杂时,晶格振动散射为主要影响因素.电导率ⅰ
与温度的关系:1/T饱和区本征区杂质电离㏑σ①低温区:
T↑n↑μ↑.(电离杂质散射).
主要由n~T的变化决定.
㏑σ~1/T为一条直线,其斜率为无补偿有补偿确定电离能EI的方法②温度升高到杂质饱和电离区:
n基本不变,晶格振动散射是主要的。随着温度T的升高,迁移率μn下降,电导率σ也下降。即
T↑→μn↓→σ↓③进入本征区后:随着温度T的升高,载流子浓度n以e指数的形式增加,而迁移率μn以幂指数的形式下降,电导率σ也上升。即
T↑→n↑,
μn↓→σ↑1/T饱和区本征区杂质电离㏑σ
作lnσ~1/T的关系曲线,为一条直线,根据其斜率-Eg/2k可确定出禁带宽度。ⅱ
与杂质浓度的关系:轻掺杂情况下(1016~1018cm-3),可认为300k时,杂质饱和电离.所以n≈Nd,p≈Na,或n≈Nd–Na,p≈Na–Nd
(轻补偿).以N型半导体为例:㏑ρ=-㏑Nd-㏑eμn
其中,μn随杂质浓度变化不大,低温时才显著。㏑ρ~㏑Nd
为直线,如书P.121,图5.7所示。我们可直接进行ρ~Nd之间的换算,这在器件设计时有重要的作用
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