半导体厂房简介

01半导体产品应用半导体产品应用随处可见，进入5G万物互联时代，半导体将更加不可或缺01半导体产业链01国内市场及国产比例国内市场及国产比例逐步提高，国内半导体行业进入黄金期，我们大有可为01国内生产厂商合肥长鑫中芯国际（中芯上海）01国内生产厂商合肥晶合武汉长存02建厂规划概念个人认为我们施工方面主要关注制程规划，产能规划，时程规划制程规划我们能知道厂内大概需求多少系统，产能规划能知道大概多少工程量，时程规划能知道业主的重要时间节点，及时调试人力计划。02时程规划-主要节点02制程规划-主要生产工艺半导体生产主要经过

氧化/扩散、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、CMP抛光、金属化制程、检测，产品经过以上主要工序多次反复，形成电路图形半导体生产工艺线宽等级决定着产品的先进性。02制程规划-主要生产设备03半导体厂房构成132045987106110办公楼1FAB厂房2大宗气站3动力站4废水站5成品库6110KV变电室7特气存储间8化学品供应间9化学品仓库A110化学品仓库B211硅烷站合肥晶合半导体厂房布局03半导体主生产厂房-洁净室由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。——摘自GB50073-2013《洁净厂房设计规范》03半导体主生产厂房示意图03半导体主生产厂房示意图03半导体生产设备布置示意图先找到源头的起点：WaferStart03半导体生产设备布置示意图03半导体生产厂房厂务供应系统示意图整个厂房厂务系统由众多系统组合，每个系统都会与其他系统有交叉，每个专业都要与其他专业精心合作才能完成一个好项目。03半导体生产厂房各系统制程排气设备与风管电气室03半导体生产厂房各系统新风机组冷却塔03半导体生产厂房各系统化学品管道高架地板与FFU04半导体厂二次配简介-什么是二次配什么是二次配？二次配（HookUp）：一次侧SUB-Mian管路预留点（Takeoff点）至机台设备出口端所连接的管线。04半导体厂二次配简介序号系统名称1电力系统（Power）2制程冷却水和冲洗水（PCW&LSW)3纯水（UPW)4排水系统（Drain）5化学品系统Chemical6气体供应（Gas）7工艺真空（Pv)8真空泵管道(Pumpingline)序号系统名称9搬运（Movein）10加热带（HeatingjacketandHeatingtape）11漏液侦测（Leakagesensor）12气体侦测（Gasdetector）13基座（Foundation）14承漏盘和接液盘15防护罩16固定角座04半导体厂二次配简介-二次配主要特点二次配这些特点决定着想把二次配做好，需要整个Team不断学习，团结协作，共同努力才能做好二次配施工特点管制严格危险