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三氯氢硅合成工艺的选择目录TOC\o"1-2"\h\u6606三氯氢硅合成工艺的选择 1321931国内外常用的三氯氢硅合成反应器 132338(1)冷激式合成工艺 114679(2)冷管式合成工艺 119534(3)水管式合成工艺 16343(4)固定管板列管合成工艺 228400(5)多床内换热式合成工艺 258052三氯氢硅合成工艺的选择 21国内外常用的三氯氢硅合成反应器三氯氢硅合成工艺的结构分为三个部分：外部储罐，内部加热器和电加热器，内部由通风机和热交换器组成。根据催化剂篮和热交换器的结构以及催化剂床区域内气流的方向，催化剂篮中反应的热回收过程会有所不同，并且热交换器的形状可以概括为5种三氯氢硅合成方法[8]：(1)冷激式合成工艺作为第一座低压三氯氢硅塔，该三氯氢硅合成项目使用低温水进入塔中，以消散激冷反应产生的能量。尽管塔架结构简单并且可以大规模使用，但是低转化率和高能耗限制了塔架的发展，必须将其分类。(2)冷管式合成工艺这种类型的三氯氢硅合成器来自于铵合成。尽管三氯氢硅合成材料经过多次精制后具有很高的转化率，但它可以产生低至0.4MPa的蒸汽压力，因此，能量效率不高，因此该塔经常进行滴灌。(3)水管式合成工艺这种类型的三氯氢硅反应合成器将冷管合成工艺床中的传热管中的冷空气转化为沸水，这大大提高了传热系数，并通过去除反应热同时减小了热交换面积并随着催化剂的负载能力的增加而变得更容易，该合成方案可用于三氯氢硅生产作为副产物获得的中压蒸汽（2）5MPa〜4.0MPa），适用于生产大量合成装置。(4)固定管板列管合成工艺这种类型的三氯氢硅反应合成器使用安装在管道内部的管道热交换催化剂，并且通过通过管道壁之间的流体除去能量来进行热交换。管和管。这套三氯氢硅生产综合计划可以产生副产的中压蒸汽（3.0MPa×4.0MPa），极大地提高了转化率，减少了循环和能耗，但是由于管子必须由特殊的不锈钢制成，因此成本相对较高。(5)多床内换热式合成工艺该合成工艺由大型氨合成工艺发展而来其塔型结构简单转化率高造价低适用于大型和超大型装置，但反应热利用率不高。2三氯氢硅合成工艺的选择随着加工业对三氯氢硅的需求不断增长，合成三氯氢硅生产装置必将大规模开发。作为主要的三氯氢硅合成材料，特别重要的是要了解所选的三氯氢硅合成材料具有稳定的特性，能效，高效率和成本。坚持技术，性能，环保和经济的理念。此配置中使用的三氯氢硅合成器必须具有以下特性。[9]（1）结构可靠，稳定性好；（2）反应技术简单易得，设备成本低；（3）催化剂的温度应易于监测和控制；（4）可以回收反应热，加热催化剂，还原过程适当，还原充分；（5）床层对原料气的抵抗力较差，塔内部件的连接适合储热。（6）催化剂的装卸更方便，维护容易。根据每个塔的特点，结合选择合成工艺的一般原则和大规模三氯氢硅合成生产的其他示例，经过仔细分析，设计人员最终决定使用此设备。德国鲁奇（Lurgi）公司[10]合成固体管材和

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