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文档简介
2YS/T543-202X半导体键合用铝-1%硅细丝本文件规定了半导体器件键合用铝-1%硅细丝的要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本文件适用于半导体内引线用的拉制或挤压铝-1%硅细丝(以下简称细丝)。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3199铝及铝合金加工产品包装、标志、运输、贮存等标准的;GB/T7999铝及铝合金光电直读发射光谱分析方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T10573有色金属细丝拉伸试验方法GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法GB/T17432变形铝及铝合金化学分析方法GB/T20975(所有部分)铝及铝合金化学分析方法;YS/T871高纯铝化学分析方法痕量元素含量的测定辉光放电质谱法3产品分类3.1牌号、状态、尺寸规格细丝的牌号、状态、尺寸规格见表1。表1牌号、状态、尺寸规格m0.040、0.045、0.050、0.060、0.070、0.3.2标记及示例细丝的标记按产品名称、标准编号、牌号、状态及尺寸规格的顺序表示。标记示例如下:4技术要求4.1化学成分细丝用铝基化学成分应符合YS/T665中5.1.1中Al99.998A4N8牌号标准,且细丝的化学成分应符3YS/T543-202X表2化学成分牌号化学成分(质量分数)/%BV其他杂质aAlb单个合计≤≤Nib铝的质量分数为100.00%与所有含量不小于0.0010%的元素4.2尺寸偏差4.2.1直径偏差细丝的直径偏差应符合表3的规定。表3直径偏差--4.2.2长度偏差细丝的长度偏差应符合表4的规定。表4长度偏差4.3室温拉伸力学性能4.3.1细丝的拉断力、断后伸长率见表5,细丝的拉断力和断后伸长率应在表5规定的最小和最大值的区间内选定,并在订货单(或合同)中具体注明。4YS/T543-202X表5拉断力、断后伸长率拉断力FN断后伸长率A%4.3.2细丝的拉断力、断后伸长率波动范围应符合表6的规定。表6拉断力、断后伸长率波动范围4.3.3需方对拉断力和断后伸长率有其他要求时,由供需双方协商确定,并在订货单(或合同)中注明。4.4表面质量4.4.1细丝表面应洁净,不允许有亮点、条伤、附着物、划痕、氧化、油污缺陷(参见附录A)。4.4.2允许有不影响使用的点状缺陷,缺陷深度应不超过细丝直径允许负偏差值,并不应使细丝的直径偏差超出允许范围。4.4.3盘装细丝应连续地绕在线盘上,每盘细丝应无接头。细丝缠绕的外端应缠绕牢固,端口使用特殊颜色黏贴标记,易于辨识。5YS/T543-202X5试验方法5.1化学成分丝材的化学成分分析方法应符合GB/T20975(所有部分)或GB/T7999或YS/T871的规定,仲裁分析应采用GB/T20975(所有部分)、YS/T871规定的方法。5.2尺寸偏差细丝的直径测量及仲裁判定按GB/T15077规定方法进行或采用直接测量法,细丝直径及长度检测使用的直接测量法见附录B。5.3室温拉伸力学性能室温拉伸力学性能按GB/T10573规定的方法进行。5.4表面质量表面质量检测按附录C规定的方法进行,细丝缠绕及接头质量采用目视检查。6检验规则6.1检查和验收6.1.1产品应由供方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单(或合同)的规定,并填写质量证明书。6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。检验结果与本文件或订货单(或合同)的规定不符时,应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于外观质量及尺寸偏差的异议,应在收到产品之日起一个月内提出,属于其他性能的异议,应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁,可委托供需双方认可的单位进行,并在需方共同取样。6.2组批产品应成批提交验收,每批应由同一状态、炉号及直径的产品组成。6.3检验项目每批细丝应进行化学成分、尺寸偏差、室温拉伸力学性能、表面质量的检验。6.4取样取样应符合表7的规定。),),6YS/T543-202X6.5检验结果的判定6.5.1任一试样的化学成分不合格时,产品能区分熔次的判该试样代表的熔次不合格,其他熔次依次检验,合格者交货。不能区分熔次的判该批不合格。6.5.2任一试样的尺寸偏差不合格时,判该批产品不合格。但经供需双方商定,允许供方逐轴检验,合格者交货。6.5.3任一试样的室温拉伸力学性能不合格时,应从该批(或热处理炉)产品中另取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格,则判该批(或热处理炉)产品合格。若重复试验结果中仍有试样不合格,则判该批(或热处理炉)产品不合格。经供需双方商定允许供方逐轴检验时,合格者交货。6.5.4任一产品的表面质量不合格时,判该批产品不合格。但经供需双方商定,允许供方逐轴检验,合格者交货。7标志、包装、运输、贮存及质量证明书7.1标志7.1.1产品标志在检验合格的细丝外包装上打印如下标记(或贴标签a)供方名称;b)产品名称;c)牌号、状态、尺寸规格;d)批号;e)生产日期(或包装日期);f)本标准编号;g)供方技检部门的检印或质检员签名(或盖章)。7.1.2包装箱标志细丝的包装箱标志应符合GB/T3199的规定。7.2包装细丝采用线轴绕线,线轴放置在铝箔/塑料袋真空包装后装入纸质包装箱内。7.3运输、贮存细丝的运输、贮存应符合GB/T3199的规定。7.4质量证明书每批细丝应附有产品质量证明书,其上注明以下内容:a)供方名称;b)产品名称;c)牌号、状态、尺寸规格;d)批号;YS/T543-202Xe)重量或米数;f)本标准编号;g)各项分析项目的检验结果和供方监督部门的检印;h)包装日期(或出厂日期)。8订货单(或合同)内容订购本文件所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容:a)产品名称;b)牌号、状态、尺寸规格;c)重量(或米数);d)化学成分、室温拉伸力学性能的特殊要求;e)其他特殊要求;f)本文件编号。8YS/T543-202X附录A不同种类丝材典型表面缺陷A.1丝材表面亮点典型缺陷示例A.2丝材表面划伤典型缺陷示例A.3丝材表面颗粒/异物典型缺陷示例YS/T543-202XA.4丝材表面划痕/碰伤典型缺陷示例A.5丝材表面氧化典型缺陷示例A.6丝材表面氧化典型缺陷示例YS/T543-202X附录B细丝的直径及长度测量方法本附录适用于检测丝材的直径及长度。B.2设备及工具激光测径仪(最小分度值为0.00001mm)、电子称。B.3检测步骤B.3.1方法1:取1卷测量细丝,由细丝始端剪去3段100mm长度。使用激光测径仪(最小分度值为0.00001mm)测量铝丝直径,共计测量3次,取平均值为该细丝直径D。B.3.2方法2:取1m长度细丝,称量铝丝重量为G1。根据重量公式G1=((πD2)×ρ×L1)计算细丝直径D。称量待检测细丝重量为G2,收丝卷轴重量为G3,根据丝材长度公式为L=()×1m。B.4注意事项生产过程中,通过定期检查拉丝模具来控制产品直径,或使用千分尺测量产品直径。YS/T543-202X附录C表面质量检测方法本附录适用于检测丝材的表面质量。C.2设备及工具显微镜、聚光灯。C.3测试条件C.3.1检测显微镜的放大倍数为50倍。C.3.2放大倍数一般采用20-40倍,特殊部位观察可适当调整。C.4检测步骤C.4.1将被检测的丝材放置在显微镜视场中。C.4.2调整光源位置,做到以下三点:g光与水平呈大致45°的角度投射到被检测丝材表面;光源处在包括了线轴轴线的垂直平面内;光源与处在显微镜视场中的铝丝表面之间的距离是18cm左右。C.4.3
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