TFT-LCD玻璃基板制造过程中的几点体会_第1页
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文档简介

TFT-LCD玻璃基板是显示产业链的关键上游材料。以中小世代溢流下拉法生产TFT-LCD玻璃基板为例，重点阐述了半成品生产的关键管控理念：质量守恒、能量守恒、电量守恒以及成型稳定的重要性，阐述了成品生产中基础管理工作的重要性，洁净管理和二次污染对质量的影响。目前玻璃基板的主流制造工艺有两种，即浮法和溢流下拉法。以中小世代溢流下拉法生产玻璃基板的制造流程见图1。图1中小世代溢流下拉法生产过程示意图液晶玻璃基板半成品生产的关键理念：（1）半成品生产遵循三个守恒：即质量守恒、能量守恒、电量守恒，这样的玻璃产品内在性能指标一定是最稳定的。（2）零工耗，是产线稳定的最终目标。工耗（工程损耗）是指某工序从输入到输出端的损失比率，工耗大小是判断产线稳定与否的重要指标。产线稳定先要控制工耗，尤其要做到前工程不断板，后工程不破片，因为它们不仅会导致设备损坏、还会导致温度场破坏、洁净环境破坏等，需要长时间跑片恢复。（3）成型四个稳定，即来料稳定、节拍稳定、功率稳定、压差稳定。来料稳定是指供料的流量和温度要稳定，它直接关系到厚度分布。节拍稳定和功率稳定牵涉到每一片玻璃的成型热历史，压差稳定事关成型和退火温度、应力大小。而这些都关系到产品的关键指标，关系到产品的一致性问题。对于后续工序而言，各个区域压差、温湿度稳定，气流才稳定，洁净度才能保证，产品洁净才能得以保证。液晶玻璃基板成品生产的关键理念：（1）基础管理，成品生产靠的是基础管理，加工、清洗、传输和包装设备的精度是产品外观质量的重要保证。加工从精切开始，精切的质量、精切的量就决定了研磨的质量和效率，乃至清洗的效果和效率。气浮孔（条）送气量大小的变化，会导致擦划伤的产生，导轨精度直接决定研磨质量等。（2）洁净管理，洁净管理的最终目的是产品洁净。洁净间是产品洁净的基本保证，但洁净等级高不等于产品就洁净，洁净间里人是主要污染源，人员的出入、行为举止、人员数量所有这些细节都要严格管控。（3）二次污染，必须高度重视二次污染，二次污染中间隔纸又是重中之重。二次污染是指过了颗粒检查机之后的污染，虽然检查都是合格的，但在之后的传送过程中、包装过程中又有新的污染源而导致玻璃基板污染。在二次污染中间隔纸是重点。一定程度讲，管好了间隔纸就管好了一半的产品洁净。为此应合理用好间隔纸。显示面板作为新一代信息技术的重要组成部分，近年来技术进步加速，显示面板行业也迎来了大发展的机遇，特别是高世代面板发展迅速。由于玻璃基板具有的物理化学性质，其在面板上的应用仍具有不可替代性，这一行业将会长期存

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