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文档简介
1半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交核级阴离子交换树脂中氯型、碳酸型、硫酸型离子交换树脂粒度分布测定方法离子交换树脂粒度、有效粒径和均离子交换树脂强度测定方法渗磨法离子交换树脂渗磨圆球率、半导体行业超纯水ultrapurewaterforsemiconductorin欧姆厘米(Ω·cm纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm（25℃)。2总有机碳totalorganic4.1强酸性阳离子交换树脂4.1.1外观黄色至褐色球状颗粒。棕黄色至棕褐色(钠型)，青褐色(氢型)球状颗4.1.3理化性能%%%0.4mm0.50.4mm0.5%(>0.85mm9.5(>0.85mm4.5%4.2弱酸性阳离子交换树脂4.2.1外观4.2.3理化性能3%%%%＜0.315mm1%>1.25mm4%4.3强碱性阴离子交换树脂4.3.1外观4.3.3理化性能%%%%%≥80%4.4弱碱性阴离子交换树脂4.4.1外观44.4.3理化性能%%%%%4.5运行参数在规定的进水条件和装置条件下，运行产水应符合表5中规定的各项技术5.2游离水分测定测试除去外层包装(编织袋或桶)后，将用透明塑料袋包装的树脂竖起直立，约10mi于容器中计量。应从到货树脂中至少测定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值计算整批到货树脂游离水5.3试样预处理5.4含水量的测定5.5体积交换容量的测定5氢型树脂交换容量用经过预处理的试样25mL，按GB/T8144-2008标钠型树脂交换容量按照GB/T8144氢氧型阴树脂采用GB/T5760-2000氢氧型阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进行测氯型阴树脂采用GB/T11992-2008氯型强碱性阴离子交换树脂交换容量测定方法中规定的方法进Qv=Qwp(1−X)#(1)X——含水量，%。5.6湿视密度的测定湿视密度按GB/T8331-2008中规5.7湿真密度的测定湿真密度测定按GB/T8330-2008中规5.8粒度、有效粒径和均一系数的测定粒度、有效粒径和均一系数按GB/T5758-2001中规定5.9渗磨圆球率的测定渗磨圆球率测定用不经筛分的原样按GB/5.10运行参数的测定5.10.1试验条件5.10.2试验仪器——二氧化硅测定仪：量程0.03μg/L~0.2mg/L，精——总有机碳测定仪：量程0.03μg/L~50m
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