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文档简介
FAB质量要求试卷[复制]基本信息:[矩阵文本题]*姓名:________________________部门:________________________工号:________________________以下哪个rootcause描述属于trueOOS,需issueDRB()?[单选题]*A.MeasurementissueforOCAPB.ControlwaferissueC.SPECsettingerrorD.Processabnormalissue(正确答案)以下RADcomment格式正确的是()?[单选题]*A.R:MAmeasureerrorposition;A:trainingMAandre-measuredataokD:Lotrelease(正确答案)B.R:TrendruleA:checkmeasuredataokD:lotrlsC.R:SinglepointtrigerOOSA:keeptraceD:lotrlsD.R.A.D.以下哪个RunCardpurpose描述不是“Rework”Type()?[单选题]*A:ADFOX03waferbrokenneedTABBandscandefectB:机台alarm导致未RUN完needRe-ETCHC:AM5097transfer掉片issuelot,scandefectworseneeddoTABBD:ScandefectatAPDFI01,BARE_GF30,needreview(正确答案)以下哪个选项不属于触发OCAP的原因类型()?[单选题]*A.MeasureerrorB.WE1/Trendrule(正确答案)C.ChartissueD.ProcessissueProcess异常导致的lotOOS可通过()改善,无需issueDRB.[单选题]*A.Re-measureB.Rework(正确答案)C.更换controlwaferD.Updateparameter确认同一案例导致的良率loss是否满足EAR标准的计算公式是().[单选题]*A.由该case导致的每片良率loss*所有受到影响的wafer数量≥3片(正确答案)B.单片损失的良率超50%*totalwafer数量≥3片C.单片损失的良率超30%*totalwafer数量≥3片D.单片损失的良率超20%*totalwafer数量≥3片8D报告中D4的主要内容为()[单选题]*A.制定和执行临时对策B.制定永久性纠正措施C.定义&澄清根本原因(正确答案)D.执行/验证永久性纠正措施8D报告中D5的主要内容为().[单选题]*A.制定和执行临时对策B.制定永久性纠正措施(正确答案)C.定义&澄清根本原因D.执行/验证永久性纠正措施同一case在EARmeetingreport()次还未close的需要Dep.manager亲自report.[单选题]*A.2次B.3次(正确答案)C.4次D.5次以下哪些为量产lotoverQtime后不可采取的措施()[单选题]*A.合规reworkB.IssueDRBC.确认是否为flow设置不合理/SRCQtime配置不合理造成的falsealarmD.直接rls(正确答案)某天module发现某张chartCPK从2022年到2023年1年多时间内在持续慢慢变低,则最有可能的原因是()[单选题]*A.操作MA人员变动B.原材料供应商变了C.Recipe变动D.设备老化(正确答案)以下哪项SRCPurpose是不规范的()[单选题]*A.followSRCforAA-ETMSTR(正确答案)B.addmeasureinlinedefectforFDFOX02CDWpahighC.LEI02STRQUALLOT,FECPNo:F3FECP202308010001D.2280CTCDOCAPissueaddmeasureCDOCAPHLratio为()[单选题]*A.5%B.7%C.10%(正确答案)D.15%EAR的判定标准是()*A.同一案例总共导致晶圆报废≥3片(正确答案)B.退片报废≥3片(正确答案)C.Yieldloss折合≥3片(正确答案)D.NTO阶段LFlot报废≥3片EAR会议要求哪些人员可以对case做汇报()*A.普通工程师B.Leader工程师(正确答案)C.Section(正确答案)D.Dep.(正确答案)以下哪些选项不符合DCC规范()*A.已装机机台,无对应的PMOI文件(正确答案)B.OI文件下缺少附件:BCMOI文件下缺失shutdownandrecoverchecklist(正确答案)C.OI与PMChecklist一致D.定义明确;如CDA压力检查、N2压力检查、泵驱动压力检查有spec值、PD记录(SPEC参照SPC系统)定义清楚E.PMS(X-site)系统中要有设定Major、InnerPM触发条件以下哪些选项符合SRC要求()*A.SRCforSTR/MSTRlots,Purpose必须填写FECPNo(正确答案)B.SRCforwindowchecklottype必须先转为E4(正确答案)C.ReworkforXXX(真实原因),无需备注RWKOI文件编号D.FECPneedtraceCPlot将流程里lottype转成E1/E2/E3后方可开SRC,否则记MO,不允许在转lottype系统中单独提申请;(正确答案)以下哪些选项符合DRB要求()*A.DRB流程close才能finish并出货(特殊情况在出货24h内close)(正确答案)B.issueDRBlot无需在MESsystemDRB站点设F/H(正确答案)C.满足DRB条件需24H内issueDRBD.量产lottypetrueoverQtimeneedissueDRB(正确答案)以下哪些选项符合ECSpurpose要求()*A.FECPMSTRRLS10LOTS(正确答案)B.RunDummyormonitorwafer(正确答案)C.FEPLL03notrlsG3productSJR60Srecipe(正确答案)D.ChamberApahighconstrainrun(正确答案)DRBclose后,才能处理异常lot。[判断题]*对(正确答案)错Lot已issueDRB,但未在MESsystem设futurehold,这是一个完整的DRB流程。[判断题]*对错(正确答案)PRS/STR/MSTRlot需要转为对应的lottype后才能开SRC。[判断题]*对(正确答案)错产生报废的MOcase会报HR送纪律委员会。[判断题]*对(正确答案)错MRBCase结案要在EARMeeting以8Dreport形式报过后才能Close。[判断题]*对(正确答案)错EAR&MO&MRBcase只要临时措施有效,就会避免case再发生,无需分析根本原因[判断题]*对错(正确答案)QERequirementFormSystem提交流程时,未Finishlot在“RequestCategory”中可以选择undofinish。[判断题]*对错(正确答案)处理holdlot时,comment不需要写清楚,可直接comment:“rls”。[判断题]*对错(正确答案)提交转lottype单,需要备注清楚原因,必要时需附上offline沟通或客户邮件。[判断题]*对(正确答案)错内部需求的undo单,需要当天OP汇报通过后提交;客户需求的undo单,需要附上客户需求的证据。[判断题]*对(正确答案)错Lottype为E1/E2holdlot需FECP会议report且得到客户同意后出货。[判断题]*对(正确答案)错需要在FECP流程里将lottype转成E1/E2/E3;不允许在转lottype系统中单独提申请,如有特殊情况,需要明确原因并在MES中设F/Hcheckdata/确认客户是否同意出货。[判断题]*对(正确答案)错当module发现某道制程长期Kshiftrun货,可以不做分析,要求PIE直接retarget。[判断题]*对错(正确答案)SPC改善报告需要分析出根本原因,并给出有效action,且写明owner/DueDate。[判断题]*对(正确答案)错OCAPaction选择re-measureoradd-measure后可不执行相应动作。[判断题]*对错(正确答案)OPCase报告中表明要做的action可以不做,逾期无人trace。[判断题]*对错(正确答案)FECP相关ECS需要签核到E1通过后才可开ECS。[判断题]*对(正确答案)错需要同时上正负两向ECS顺序是先设好正向ECS生效后再上负向;[判断题]*对错(正确答案)FECPreportDefect分类top3对比,且需YEcomment;YEcomment需要确切指出是否与此qual相关等,不可直接说matchBSL/defectok等[判断题]*对(正确答案)错FECPreportYield/WAT数据,参数HC不match的,需要PE/PIE/TDby参数分别给出comment;[判断题]*对(正确答案)错ScrapComment的标准格式为:Scrapcommentrule:Case发生时间/_____/totalscrap数量/ImpactwaferID[填空题]*空1答案:报废原因NTO相关正向ECS,可开L,LF,_____type,其它量产type禁开;禁止lottype打[填空题]*空1答案:PFECP决议相关ECS,请再ID处备注好_____,type请选择FECP[填空题]*空1答案:FECPNoFECPBL数据要求,BL数据拉取时间:提供最新_____个月内数据,需要有H.Ctable比较[填空题]*空1答案:1做文件变更时要注意FDCO.
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