电子气体 砷化氢 编制说明

2一、工作简况电子级砷化氢是电子工业的重要基础材料之一，是一种性能极佳的电子特气，在半导体工业中主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓，以及与ⅢA/ⅤA族元素形成半导体化合物等。同时，砷化氢是制造半导体化合物砷化镓的重要材料，由砷化镓集成电路所提供的高速度和高频率是其它器件所不能比拟的.由它制备的微波变频器件和光电器件，广泛用于导弹制导、雷达和新一代卫星通讯等装置。砷化氢作为集成电路用量大、纯度要求高的基础材料，是国家重点鼓励发展的产品和产业，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中建设制造业高端化领域的材料标准。近年来，我国半导体产业技术更迭加快，并呈现工艺精细化的发展趋势，例如，集成电路领域晶圆尺寸从8英寸发展到12英寸，制程技术从14nm到7nm，乃至更小，这对砷化氢气体本身的精细化程度提出了更高的要求。未来，随着泛半导体行业持续提升集成密度，砷化氢气体供应商将对产品的纯度、混配精度等方面加以控制，以满足下游客户需求的迭代。现行的电子用砷化氢标准（GB/T14699-2010）已经执行13年，随着技术进步和市场变化，适用范围、技术要求及试验方法等内容都需要修订。2010版标准已无法现代集成电路产业的要求，因此建议重新修订该标准。通过对标准的修订，旨在对生产和检测提供指导性作用，对下游半导体产业的发展提供质量保障。有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国高纯电子材料对外影响力，有效服务于国家战略需求。根据国标委综合【2023】58号文，国家标准化管理委员会于2023年下达了修订计划，修订计划号：20231006-T-469。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会执行。1.2工作过程的说明1.2.1起草阶段2023年国家标准化管理委员会下达了【2023】58号文，《电子气体砷化氢》正式立项，标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准化技术委员气体分会组织昊华气体有限公司西南分公司、西南化工研究设计院有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、江苏南大光电材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、合肥正帆电子材料有限公司、上海市计量测试技术研究院、内蒙古光能科技有限公司、3上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山三水德力梅塞尔气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、大连大特气体有限公司、浙江省化工研究院有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司等相关单位做了大量的前期调研及草案起草工作。标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标准中，现行砷化氢标准是：SEMIC3.2-0301，同时，起草小组对国际、国内电子砷化氢产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于2023年12月份提出了标准的讨论稿。2023年12月，标准起草小组在甘肃玉门召开标准讨论会，广泛征求生产企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、范围、技术指标、检验方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见：（1）因砷化氢工艺涉及硫酸，技术指标只规定硫化氢含量欠缺严谨，故制定实验方案，开展总硫测定及形态硫（H2S、COS、SO2、CS2）测定相关验证实验后，根据实验结果再商定硫系物技术指标。（2）考虑碳氢化合物种类多样性，技术指标只规定甲烷含量、乙烷含量和乙烯含量欠缺严谨，故制定实验方案开展总烃测定相关验证实验后，根据实验结果再商定碳氢化合物技术指标。（3）因砷化氢工艺涉及砷化锌，杂质中可能有金属元素含量，因此应开展相关实验，根据实验结果商定金属元素含量。（4）分析指标及试验方法见表1：表1会议讨论的结果砷化氢(AsH)纯度(摩尔分数)/l0（氧+氩O+Ar）含量含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/10二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水（HO）含量(摩尔分数)/10硫化氢（HS）含量(摩尔分数)/10羰基硫（COS）含量(摩尔分数)/104杂质总含量（摩尔分数）/10金属元素及其他元素含量/(µg/g）1.2.2征求意见阶段2024年2月，起草小组根据2023年12月工作组会议的意见修改并提出了征求意见稿，面向全社会征求意见。二国家标准编制原则和确定标准主要内容从目前掌握的资料来看，与电子砷化氢相关的SEMI标准是C3.2-0301，这个标准规定的纯度为99.94%，不仅低于2010版规定的纯度，而且与现阶段砷化氢行业用户需要的纯度也相去甚远，无法满足半导体行业发展的要求，国内外生产电子砷化氢的多家公司都有他们自己的技术指标，均高于SEMI标准要求。因此本次制定未采用SEMI标准，起草小组参照了国外先进企业技术标准，做了大量的实验工作，制定出了技术指标和检验方法，现将有关情况说明如下：2.1标准名称2021年7月，国家标准委下达了国家标准体系优化试点工作任务，根据工作任务的要求，气体分会本对电子气体领域的标准体系情况情况进行梳理、评估、优化和重构，形成了“1+6”的成果模式，即构建了一个标准体系，形成了六个标准清单（整合一批、提出一批、修订一批、废止一批、转化一批、采信一批逐步优化提升了电子气体国家标准体系的科学性、先进性和协调性。根据体系优化工作的成果，电子气体的产品标准名称由“电子特气”修改为“电子气体”，因此本次修订，将2010版的“电子工业气体砷化氢”修改为“电子气体砷化氢”。2.2适用范围2.1.1砷化锌与浓硫酸合成法国内外常用的砷化氢制备方法为砷化锌和浓硫酸反应生产粗品砷化氢，经冷冻除水后，再经过纯化工艺得到高纯度的砷化氢。在2023年12月标准讨论会上，提出适用范采用上述该方法制备砷化氢。2010版的标准规定了砷化氢的使用领域、分子式及相对分子质量。根据GB/T1.1-2020的要求，讨论稿及征求意见稿删除了砷化氢的使用领域，将分子式和相对分子质量放入了附录。2.3技术指标的依据标准起草小组首先开始搜集相关的资料，与电子砷化氢的相关的SEMI标准技术指标见表2。SEMI标准规定的砷化氢纯度为99.94%，纯度偏低，无法满足半导体行业的应用，因此本次制定未采纳SEMI标准。2009版砷化氢标准技术指标见表3。这种纯度以及相关指标的分析方法已经不能适应现在的发展需求，起草小组对国际、国内电子砷化氢产品生产情况进行了深入调研和分析，国内较大规模电子砷化氢企业标准见表4~表7。起草小组修改了2009版的技术要求，提出了讨论稿技术要求，见表8。根据起草工作组会议的要求，起草小组修改了技术指标，提出了征求意见稿，见表9。表2SEMI标准C3.2-0301技术指标砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-2一氧化碳（CO）+二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6242H62H42H2体积分数）/10-6<1氢（H2）含量（体积分数）/10-6<硫化氢（H2S）含量（体积分数）/10-6<1氮（N2）含量（体积分数）/10-6<氩（Ar）含量（体积分数）/10-6<5磷化氢（PH3）含量（体积分数）/10-6<离子水（H2O）含量（体积分数）/10-6<4杂质总含量（体积分数）/10-6表32010版技术指标砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-22-6<1氮（N2）含量（体积分数）/10-6<3一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6<12-6<14-6<1水（H2O）含量（体积分数）/10-633-6<杂质总含量（体积分数）/10-6表4企业标准1砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-22-6<氮（N2）含量（体积分数）/10-6<一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6<2-6<4-6<水（H2O）含量（体积分数）/10-63-6<-6<4-6<2S-6<乙烯（C2H4）含量（体积分数）/10-6<表5企业标准2砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-22-6<氮（N2）含量（体积分数）/10-6<一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6<2-6<4-6<水（H2O）含量（体积分数）/10-63-6<-6<4-6<2S-6<乙烯（C2H4）含量（体积分数）/10-6<表6企业标准3砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-22-6<氮（N2）含量（体积分数）/10-6<<2-6<4-6<<<<3-6<-6<4-6<2S-6<表7企业标准4砷化氢（AsH3）纯度（体积分数）/10-22-6<氮（N2）含量（体积分数）/10-6<一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6<2-6<4-6<乙烷（C2H6）含量（体积分数）/10-6<乙烯（C2H4）含量（体积分数）/10-6<水（H2O）含量（体积分数）/10-63-6<-6<4-6<2S-6<表7讨论稿技术要求（氧+氩O2+Ar）含量（摩尔分数）/10-6硫化氢（H2S）含量(摩尔分数)/10-6＜0.1锑（Sb）含量/(µg/g）钙（Ca）含量/(µg/g）镓（Ga）含量/(µg/g）铅（Pb）含量/(µg/g）锰（Mn）含量/(µg/g）钾（K）含量/(µg/g）锡（Sn）含量/(µg/g）镉（Cd）含量/(µg/g）钴（Co）含量/(µg/g）锗（Ge）含量/(µg/g）锂（Li）含量/(µg/g）钼（Mo）含量/(µg/g）硅（Si）含量/(µg/g）锌（Zn）含量/(µg/g）铬（Cr）含量/(µg/g）铜（Cu）含量/(µg/g）铁（Fe）含量/(µg/g）镁（Mg）含量/(µg/g）镍（Ni）含量/(µg/g）钠（Na）含量/(µg/g）硒（Se）含量/(µg/g）表8征求稿技术要求砷化氢(AsH)纯度(摩尔分数)/l0（氧+氩O+Ar）含量含量(摩尔分数)/10氮(N)含量(摩尔分数)/109二氧化碳(CO)含量(摩尔分数)/10水（HO）含量(摩尔分数)/10硫化氢（HS）含量(摩尔分数)/10羰基硫（COS）含量(摩尔分数)/10杂质总含量（摩尔分数）/10金属元素及其他元素含量/(µg/g）2.4采样2010版未单列采样的要求，只规定了采样安全符合GB/T3723《工业用化学产品采样安全通则》的要求，讨论稿中将采样的要求单列一章，并引用了GB/T43306《气体分析采样导则》，该标准等同采用ISO19230:2020，适用于砷化氢的采样，因此本次制定直接引用。2.5关于试验方法2.5.1纯度计算砷化氢的纯度采用差减法计算，2012版直接将所有杂质含量减去得到纯度。为了与技术要求相对应，本次修订规定先计算总杂质含量，然后减去总杂质含量计算纯度。2.5.2氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、磷化氢、硫化氢、羰基硫含量的测定2010版规定氧+氩、氮含量的测定采用的是氦离子化气相色谱法，由于当时GB/T28726-2012《气体分析氦离子化气相色谱法》还未发布实施，故无法引用。GB/T28726已经正式发布实施近12年，已经得到了广泛的应用。2010版规定一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的测定采用的是GB/T8984规定的氢火焰法，该方法检测灵敏度偏低，对高纯度电子级砷化氢中一氧化碳、二氧化碳的测定无法满足要求，因此根据工作组会议的要求，本次修订采用了GB/T28726规定的氦离子化气相色谱法。2010版规定磷化氢含量的测定采用的是火焰光度色谱法，该方法检测灵敏度偏低，对高纯度电子级砷化氢中一氧化碳、二氧化碳的测定无法满足要求，因此根据工作组会议的要求，本次修订采用了GB/T28726规定的氦离子化气相色谱法。2010版未规定乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、硫化氢和羰基硫含量的测定，本次修订拟增加乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、硫化氢和羰基硫含量的测定，采用GB/T28726规定的氦离子化气相色谱法。因此，根据工作组会议的要求，起草小组及标准验证平台作了试验验证工作，验证结果见附件1。从检测结果可以看出，GB/T28726规定的HID（氦离子化法）能全部测定砷化氢中氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、磷化氢、硫化氢、羰基硫等杂质含量，检出限和灵敏度远远优于其他方法，因此本次制订采用GB/T28726规定的HID法。2.5.3水含量的测定2010版标准规定水含量的测定是采用GB/T5832.3-2011《气体中微量水分的测定第1部分：点解法》中规定的方法，由于该方法存在误差较大等缺陷，另外当时GB/T5832.3-2011《气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法》未正式发布，故2010版未采用光腔衰荡光谱法测定水含量。由于GB/T5832.3已经正式发布实施近13年，目前该方法依然是高纯特气中微量水含量的最优法，因此本次修订直接采用GB/T5832.3。2.5.4尾气处理与2010版相同，标准中对尾气处理提出了原则性要求：测定砷化氢中的杂质含量时，由于砷化氢存在剧毒，应有砷化氢尾气处理措施，以防止砷化氢环境的污染。2.6检验规则2010版未单列检验规则，本次修订将“检验规则”单列，并完善了判定规则。2.7关于产品标志、包装、贮运及安全本次修订参照了最新的有关法律法规、标准和国际化学品安全卡。2009版的规定比较杂乱，根据工作组会议的要求，将该章分成三部分内容来编制1）标志（2）包装、运输和贮存（3）安全信息，并将安全信息放入附录A。2.7.1标志（1）产品质量合格证2010版规定合格证的内容至少如下：a)产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；b)生产日期或批号，充装质量（kg产品技术指标；c)本标准号及产品等级，检验员号。根据最新的电子气体标准体系中对产品质量合格证的要求，将合格证的内容修改如下：a)产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；b)生产日期或批号，以及失效日期；c)充装质量（Kg）；d)本文件号及砷化氢的纯度。（2）2010版中规定：包装容器上应标明“电子砷化氢”字样，本次修订更改为：包装容器上应涂刷“电子气体砷化氢”字样。（3）2010版中规定：气瓶颜色标记应符合GB7144的规定。气瓶的运输标志应符合GB190的规定。按照最新的要求，增加了标签的要求，修改为：砷化氢的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB/T16804、GB/T15258规定的要求。2.7.2包装、运输和储存（1）包装在室温和大气压力下，砷化氢是一种无色、剧毒、易燃的气体，并且比空气重。它具有轻微的大蒜气味，是一种血液和神经毒剂。吸入足量砷化氢可致命，与空气混合可形成易燃混合物。作为一种液化压缩气体，砷化氢在其自身蒸气压219.7pisa（1,515kPa,abs）下，被充装在钢瓶中运输。砷化氢微溶于水和有机溶剂。砷化氢能与氧化剂例如高锰酸钾、溴、次氯酸钠迅速反应生成砷化物。室温下砷化氢稳定，在446~464℉（230~240℃)下开始分解，生成砷和氢。我国对液化气体气瓶（钢瓶）包装的规定有GB/T5099（钢制无缝气瓶）、GB/T5100（钢制焊接气瓶）。由于砷化氢属于低压液化气体，因此可使用GB/T5099、GB/T5100规定的钢制气瓶，TSG07《特种设备生产和充装单位许可规则》、TSG23《气瓶安全技术规程》中包括了对于气瓶的安全使用和监督监察，因此本标准采用了此规程。（2）对气瓶内表面、瓶口处理的要求按TC/DOT规范3A、3AA、3E或3AL制造的钢瓶获准用于装运砷化氢，钢瓶标称水容积不得超过125磅（57kg）。用3AL规格钢瓶装的砷化氢只允许通过公路和铁路运输。必须遵循49CFR173.40的有关规定，保护好钢瓶阀门，作好防漏密封。获准用于砷化氢的3A、3AA、3AL型钢瓶，按现行规章，必须每5年进行一次水压试验，以对质量进行再鉴定。SE1800型钢瓶不要求作水压试验。2010版规定瓶阀出气口连接方式推荐使用DISS632，根据客户端阀门接口使用情况，同时查阅相关资料，本次修订增加砷化氢瓶阀接头为DISS326和DISS350，限用DISS660。另外，根据客户端阀门接口使用情况，同时查阅相关资料，砷化氢钢瓶瓶阀卸压装置为CG-1型，即卸压爆破片，它是一种非自行恢复闭合型的压力启动装置，可以针对钢瓶中压力持续增长而实施保护。为了减小腐蚀，爆破片选用材料必须与钢瓶中的气体以及与之接触的钢瓶阀门材料相容。（3）充装系数：2010版充装系数规定为1.16kg/L，UN/欧洲标准为1.1kg/L,日本为0.416kg/L，美国<0.6kg/L，我国标准1.16kg/L数据偏大。为了安全起见，起草小组根据GB/T14193的规定重新计算了充装系数：如取C=3（安全冗余最大则Fr=1.099kg/L；如取C=2，Fr(c=2)=1.11kg/L，因此本次修订改为1.1kg/L。（4）运输和储存GHS危险性类别：易燃气体，类别1；加压气体；急性毒性-吸入，类别2；致癌性，类别1A；特异性靶器官毒性-反复接触，类别2；危害水生环境-急性伤害，类别1；危害水生环境-长期伤害，类别UN编号：2188包装标志：易燃气体和剧毒危险性说明：极易燃气体，内装加压气体：遇热可能爆炸，吸入致命，可能致癌，长时间或反复接触可能对器官造成损伤，对水生生物毒性非常大并具有长期持续影响。由于砷化氢是剧毒和易燃气体，储存和管理过程中的防范措施要得当。只能在通风柜，通风橱内，或在通过强力提供大容量流通空气，具有良好通风环境的房间内储存、使用砷化氢和砷化氢的混合气。推荐使用经过防爆验证的强力通风柜或通风橱。所用管道和设备的设计要留有充分余地，应能承受可能遭遇的压力。由于砷化氢与空气混合可形成爆炸性混合气，因此应远离热源和点火源-例如火焰和火星。所有管线、接头和设备，在使用前必须彻底检漏并接好地。只可以使用防火花的工具和防爆设备。与塑料和人造橡胶的兼容性应得到确认。砷化氢采用钢瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉。高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置，禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。严禁与氧化剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光暴晒。中途停留时应远离火种、热源。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。2.8安全信息2.8.1基本性质在室温和大气压力下，砷化氢是无色的有毒气体，具有像大蒜一样的气味。其沸点为-62.48℃。砷化氢不太稳定，300℃时开始分解，分解产物为砷和氢。有湿气存在时，分解反应受光影响。砷化氢可以还原水溶液中的硝酸银和氯化汞。砷化氢与溶解于液氨中的钠或钾反应，分别分成NaAsH2和KAsH2。2.8.2危险性概述在物理和化学危险方面，砷化氢极易燃，与空气混合能形成爆炸性混合物；在健康危害方面，砷化氢为强烈溶血毒物，红细胞溶解后的产物可堵塞肾小管，引起急性肾功能衰竭，如果发生急性中毒，一般在十几小时内即出现溶血症状和体征。轻者全身无力、恶心、呕吐、腰痛、巩膜轻度黄染、尿色深暗；较重者出现寒战，体温升高，尿呈酱油色甚至黑色，黄疸加深，肝脏肿大；严重者导致急性肾功衰竭，病人全身症状加重，体温升高，出现尿闭，可因急性心力衰竭和尿毒症而死亡。接触液态砷化氢可引起冻伤。长期在低浓度环境中作业主要表现为头痛、乏力、恶心、呕吐，较重者可有多发性神经炎，常伴有贫血；在环境危害方面，砷化氢对水生生物毒性非常大并具有持续长期影响。2.8.3急救措施如发生吸入，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并及时就医。如发生皮肤接触或发生冻伤，用温水（38~42℃)复温，忌用热水或辐射热，不要揉搓，并及时就医就医。对保护施救者的忠告：根据需要使用个人防护设备；对医生的特别提示：应早期给予肾上腺皮质激2.8.4消防措施砷化氢与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。燃烧生成有害的氧化砷。发生火灾时灭火剂选用：用雾状水、泡沫、干粉灭火。第一时间切断气源。若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。2.8.5泄漏应急处理消除所有点火源。根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员穿内置正压自给式呼吸器的全封闭防化服。如果是液化气体泄漏，还应注意防冻伤。作业时使用的所有设备应接地。尽可能切断泄漏源。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。若可能翻转容器，使之逸出气体而非液体。防止气体通过下水道、通风系统和有限空间扩散。2.8.6操作处置与储存严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴导管式防毒面具，穿带面罩式防毒衣，戴橡胶手套。远离火种、热源。工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备储存注意事项存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。实行“双人收发、双人保管”制度。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与化剂、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。三、主要试验（或验证）的分析、综述报告，技术经济论证，预期的经济效果1、主要试验（或验证）的分析本标准制定过程中，起草小组做了大量的试验验证工作，详见第二章2.5。2、修订意义及预期的经济效果电子级砷化氢是一种重要的电子气体，也是一种重要的工业基础材料，广泛应用于半导体产业的制造。随着微电子工业的迅速发展，广大用户对电子级砷化氢的质量提出了更高更苛刻的要求，2010版国标中的产品纯度已经不能满足市场和技术的需求。因此，重新修订电子工业用砷化氢的国家标准是我们必须要进行的一项具有深远意义的重要工作。通过修订标准，将引领电子级砷化氢规模化产出，推动我国电子半导体材料行业发展和砷化氢的生产和检测合作研发，提升行业的竞争力，促进整个行业健康持续发展。同时通过标准的制定，有利于提高我国高端电子材料自给能力，推动电子相关产业进步，扩大我国电子科技对外影响力，有效服务于国家战略需求。因此，修订后的高纯度电子级砷化氢产品国家标准，无论是国家需要、市场需要还是对用户负责都是我们应要进行的一项具有意义的工作。目前，我国已具备自主生产超高纯砷化氢的能力。而且随着砷化氢应用的越来越广泛，国内生产厂家将会增加，本次制定推动了国内砷化氢的产业化，因此本次修订将产生以下一些方面的效益：（1）推动国内电子用砷化氢生产产企业采用先进的生产工艺，与国外先进企业看齐。（2）本次制订后标准达到了国际先进水平，提高了国产电子砷化氢产品的国际竞争力。（3）检测方法采用了氦离子化气相色谱法这种先进的方法，为标准使用者提供了更好的指导。（4）包括了安全警示的内容，对使用者提供了很好的帮助.四、采用国际标准和国外先进标准的程度，以及与国际、国外同类标准水平的对比情况，或与测试的国外样品、样机的有关数据对比情况该标准无国际标准可以借鉴，在制定过程中参考了国内外相关文献资料。五、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系六、重大分歧意见的处理经过和依据本次国标的制定无重大分歧意见。七、国家标准作为强制性国家标准或推荐性国家标准的建议建议将该标准作为推荐性国家标准，建议标准发布后6个月实施。八、贯彻国家标准的要求和措施建议（包括组织措施、技术措施、过渡办法等内容）九、废止现行有关标准的建议十、其他应予说明的事项一、标准气体及样品气体标准气体一：组分含量见表1钢瓶号：214104033；生产单位：大连大特气体有限公司；表1：标气组分浓度表组分H2O2ArN2COCO2CH4C2H6C2H4C2H2浓度（ppm）0.9850.9870.9660.9980.9470.991余气：氦气标准气体二：组分含量见表2钢瓶号：211803170；生产单位：大连大特气体有限公司；表2：标气组分浓度表组分SiH4PH3H2SGeH4AsH3浓度（ppm）0.9760.995482.45余气：氦气标准气体三：组分含量见表3钢瓶号：200234510092；生产单位：大连大特气体有限公司；表3：标气组分浓度表组分H2SCOS浓度（ppm）5.045.07余气：氦气样品1钢瓶号：679036557；二、仪器分析及数据1、氦离子化气相色谱仪生产单位：上海华爱色谱分析技术有限公司设备型号：GC-9560-FID柱炉：50℃;检测器：150℃;辅助箱1：50℃;定量管1：0.4mL；定量管2：1.0mL；载气（氦气）流速：30mL/min；2、色谱流程图图1PDD检测AsH3中H