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文档简介

硅基微机械红外光源的设计和制备的中期报告概述本报告是关于设计和制备硅基微机械红外光源的中期报告。在本期间，我们完成了以下工作：1.设计硅基微机械红外光源的结构和电路。2.使用微纳加工技术制备了硅基微机械红外光源。3.测试了硅基微机械红外光源的性能。本报告将详细介绍上述工作的细节和结果。设计硅基微机械红外光源的设计涉及到结构设计和电路设计两个方面。结构设计硅基微机械红外光源的结构如图所示：[插入图片]该结构由下列四个部分组成：1.基底：由单晶硅制成。2.热致致动层：由金属或合金制成，其在光源中产生热应力而引起变形进而产生光学效应。3.透明层：由氧化硅制成，作为氧化层和热致致动层之间的隔离层，避免二者之间的电子互相影响。4.防反射层：由氧化硅制成，防止反射光进入热致致动层，确保光源的性能和稳定性。电路设计硅基微机械红外光源的电路如图所示：[插入图片]图显示了硅基微机械红外光源的两个主要部分：驱动电路和控制电路。驱动电路提供恒流以保证光源的稳定性，并控制在一定范围内的电源电压以限制光源的温度。控制电路对光源进行反馈控制，使光源的输出功率达到预定值。制备硅基微机械红外光源的制备涉及到以下几个步骤：1.制备硅基微机械红外光源的掩膜（mask）。2.制备单晶硅基板。3.进行微纳加工，通过光刻、蒸镀、刻蚀、热处理等步骤，制备硅基微机械红外光源的结构。4.完成电极的制备。5.对完整的硅基微机械红外光源进行电学测试和光学测试，包括电流测试、电压测试、功率测试、频率响应测试等。测试在测试过程中，我们使用自制的测试平台测量了硅基微机械红外光源的输出功率、光谱响应、光源的稳定性等。测试结果显示，硅基微机械红外光源工作正常，输出功率符合设计要求，而且具有高的光谱响应和良好的稳定性。结论在本期间，我们完成了硅基微机械红外光源的设计和制备，并进行了测试。测试结果表明，硅基微机械红外光源具有高的输出功率、光

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