洁净室的性能测试培训教材

洁净室的性能测试培训教材

（一）洁净室性能测试的目的

（二）洁净室性能测试的内容

（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表

（四）洁净室性能测试的方法

（一）洁净室性能测试的目的

洁净室性能测试的目的主要有两项：其一是为了洁净

室的竣工验收，其二是为了检查洁净室的运行是否正常。

1、净室竣工验收的性能测试

根据（洁净室施工及验收规范）和（洁净厂房设计规

范）的要求，洁净室竣工验收分两步进行，第一步是竣工

调试和性能测试，第二步是洁净室性能的综合评价。洁净

室性能的综合评价是洁净室工程竣工验收的重要环节，而

洁净室性能测试又是洁净室性能综合评价的基础。洁净室

性能测试所需要测试的项目以下：

①通风机的风量和转数;

②风量及其平衡；

③室内静压及其调整；

④自控系统的联动；

⑤高效过滤器的检漏；

⑥室内的洁净度；等六项。其中主要三项是，洁净度,

风量和室内静压。

2、洁净室运行状态下的定期性能测试

根据（洁净厂房设计规范）的要求，因生产的复杂性

和维护管理工作的主，客观原因造成洁净室性能的下

降，必须对洁净室进行定期的性能测试，检测的频数

见下表。

表十四洁净室性能测试的内容和频数

循环监

温度每班二次

测

循环监

湿度每班二次

测

循环监

压差值每周一次每月一次

测

循环监每3个每6个

洁净度每周一次

测月一次月一次

循环监

风量不得超过12个月

测

(-)洁净室性能测试的内容

表十五洁净室检测内容

JGJ71-90规定

序GB50073-

测试项目低于1001000级及

号100级2001规定

级以下

室内送风

量，系统

1总风量，检测检测

室内排风

量，

2静压差检测检测

风速和风

3检测不测检测

量

断面风速

4检测必要时测不测未规定

不均匀度

洁净度级

5检测检测

别

浮游菌和

6必要时测选测

沉降菌

室内温度

7和室内相检测选测

对湿度

温湿度波

8动范围和必要时测未规定

区域温差

室内噪声

9检测选测

级

室内倍频

10必要时测选测

程声压级

室内照度

11及其均匀检测选测

度

12室内微振必要时测必要时测

表面导静

13必要时测必要时测

电性

室内气流

14不测必要时测选测

流型

流线平行

15检测必要时测不测必要时测

度

16自净时间不测必要时测必要时测选测

过滤器安

17未规定选测

装检漏

18污染泄漏未规定选测

（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表

（三）洁净室性能测试的主要仪器和仪表

1、风压测试仪器：主要用于测定洁净室之间和洁净与

非洁净区之间微压差，也可利用压差法测量风速，计算风量。

①液体压力计：液体压力计具有使用方便、价格低廉、

精确度较高、制造安装方便等优点，但有测量范围受限制、

玻璃管易碎等缺点。

常用的工作液体有：酒精、水、水银等，在洁净室测量

中主要是酒精和水。

液体压力计主要有：U型管压力计、斜管压力计、补偿

式压力计。

②弹簧压力计：弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力

作用下发生变形，其变形量与所测压力成函数关系这一原理

制成的，其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低

廉。

常用的弹簧压力计主要有：弹簧管压力计、膜片管压力

计和膜核压力计。

③电学压力计：电学压力计是利用压电原理或高压下电

阻变化等电学方法来测定压力的压力计，适用于测量变化极

快、数值很高或近乎绝对真空时的压力。

2、风速和风量测试仪器：

①风速测量仪的作用原理有：机械式、散热率式和动力

测压式等。

a.机械式风速仪：如翼形风速仪，它是利用流动气体

的原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。

b.散热率式风速仪：是根据流体中受热物体的散热率

与流体流速成正比关系制成，测定传感器的散热率，即能测

到流体的流速。

常用的散热率式风速仪有：热线风速仪和热球风速仪

等。

②风量测量仪：在洁净室中总风量的测试常用风管法，

各房间送回风量多用风口法进行测量，其原理为平均风速乘

以断面面积。

③洁净度测试仪：

a.尘埃粒子的检测仪表：目前洁净室洁净度的检测主

要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白只光尘埃粒子计数

器和激光尘埃粒子计数器。

它的原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象,将

采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号

来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的

平方成正比的关系来测量微粒粒径的大小。

b.生物粒子的检测仪表：目前生物粒子的检测方法主

要有采用培养基法和滤膜法，所用的仪器分浮游菌采样器和

沉降菌采样器。

浮游菌采样器主要有：固体撞击式采样器、离心式空

气微生物采样器、气旋式微生物采样器、液体冲击式微生物

采样器、过滤式微生物采样器和大容量静电沉降采样器等。

沉降菌采样器主要有：高压消毒锅、恒温培养箱和培

养皿等。

④温度测试仪：通称温度计，按其作用原理可分为膨胀

式温度计、压力式温度计、热电偶温度计和电阻温度计。

a.膨胀式温度计：分固体膨胀式温度计和液体膨胀式

温度计。

b.压力式温度计：可分为充气压力计式温度计和充蒸

汽压力计式温度计。

c.热电偶温度计：是根据热电效应原理制成的，当两

种不同金属节点温度不同时就会有电动势，如已知一点温

度，测出电动势就可推算另一点的温度。

d.电阻温度计：基于某种金属及其合金或半导体的电

阻会随温度变化而变化，精确地测定电阻就会测出温度。

电阻温度计的优点有：精确度灵敏度高、反应快；测

温范围宽；不需冷节点补偿；可用于远距离温度测量。

⑤湿度测试仪：湿度测试仪按其原理可分为干湿球温度

计、毛发温度计、电温度计等。

⑥噪声测试仪：噪声测试仪它的原理是用电容式传声器

将声能变为电能，再经放大器、检波器等一系列处理，最后

给出声压值。

⑦照度测试仪：常用的便携式照度计它的原理是用一种

光敏元件做探头，当有光照时就会产生光电流，光线越强光

电流越大，测量电流时就可测出照度。

（四）洁净室性能测试的方法

1.风量和风速的测量

①.测试前的准备工作：

测试前首先检查风机运行是否正常，系统中各部件安装

是否正确，有无障碍，所有阀门的开启位置是否正确并且固

定可靠。

②单向流洁净室风量的测定:

垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室的风量是采用断

面平均风速和断面面积的乘积来计算的，断面的选取和断

面上的测点布置见下表。

表十六施工验收规范JGJ71和设计规范GB50073的比

较

施工验收规范JGJ71设计规范GB50073

内容

垂直单向流垂直单向流垂直单向流水平单向流

测定断面的距地面距送风面

距高效过滤器0.3m

选取0.8m0.5m

间距不大于0.6m均匀布

测点的布置间距不大于2m均匀布置

置

最少测点数10点，算数平均5点，算数平均

测定仪器热球风速仪未作具体规定

应大于设计风速,且不超

评定标准1~4级0.3~0.5

过20%

不均匀的均方根差不大5级（100

0.2~0.5

于0.25级）

③非单向流洁净室风量的测定：

非单向流洁净室风量的测定可采用风管法和风口法

a.风管法测风量：

风管法测风量中风管测定断面应选择气流比较均匀

稳定地方，且与局部阻力的距离，测定断面在局部阻力

前时不小于3倍风管管径长度，测定断面在局部阻力后

时不小于5倍风管长边长度。

对于矩形风管将测定断面分成若干个相等的小截

面，尽可能接近方形，边长应不大于200mmo测定点在

小截面的中心。整个测定断面的测点数不少于3个。

对于圆形风管将测定断面分成若干个面积相等的同

心圆环，每个圆环上设4个测点，4个测点应在相互垂直

的两条直径上。

图三十六矩形风管的测点布置

图三十七圆形风管的测点布置

b.风口法测风量：

在施工验收规范JGJ71中规定了两种方法：其一

是对于有过滤器的风口，可根据风口形式选用与风口断

面相同的辅助风管，其长度为两倍风口的边长，连接于

被测风口外部，在辅助风管的出口面上，最少布置6个

测点，用热球风速仪测个点风速，再用断面平均风速乘

以风口净面积来计算风量。其二是对于有同类扩散板的

风口，可根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力

来查出风口的风量。

④风量测定结果的判定:

a.实测风量应大于设计风量，但不应超出20%。

b.实测新风量与设计新风量之差不应超出10%。

c.实测个风口风量与设计风量之差不应超出15%。

2.洁净度的测定：

①.在施工验收规范JGJ71中规定如下：

a.最低采样点数见下表,每个测点最少采样机3次。

表十七最低采样

点数表

洁净度

面积

100级和高于

(m2)1000级10000级100000级

100级

小于

2~3222

10

104322

208622

40161342

1004032103

2008063206

4001601264013

100040031610032

200080063320063

b.测定洁净度的最小采样量按下表:

表十八最小采样

量表(L)

洁净度级别粒径(mm)

(级)0.10.20.30.55.0

11785198566

102.838.519.856.6

1002.832.835.66

10002.8385

100002.838.5

1000002.832.83

C.对于单向流洁净室采样口应朝着气流方向。对于非

单向流洁净室采样口宜朝上。采样速度尽可能接近

室内气流速度。即（等速采样）。

测点的布置原则：每层不少于5个测点，多于5点时可分

层布置。测点布置在距地0.8m高的对角线上。

②洁净度测定结果的判定：

a.如实测状态（空态，静态，动态）与事先约定的状

态相同，以其洁净度级别上限作为评定标准。

b.如实测状态为空态或静态，则动态时的粒子数肯定

会高，有时可用空态粒子数的5~10倍来估算动态时

的尘埃粒子数。

3.微生物粒子的测定：

①.采样点的布置和要求：

a.浮游菌测定时，其采样点位置可以与悬浮粒子测定点

的布置相同。测点距离地面0.8~L5m,送风口测点位

置距送风面30cm左右。根据需要可在关键部位增加

测点。测点布置要均匀。见下表：

表十九浮游菌测定最

少采样点数表

洁净度

面积

100级10000级100000级

(m2)

验证监测验证监测验证监测

小于102~31212—

10-2042212—

20-4083212—

40~100164412—

100~20040103—

200~40080206—

4001604013—

b.沉降菌测定时，其采样点位置可以与悬浮粒子测定点

的布置相同。测点距离地面0.8〜1.5m。根据需要可在

关键部位增加测点。测点布置要均匀。对于沉降菌法

不仅仅满足于最少采样总数，还需满足最少采样培养

皿总数。见下表：

表二十沉降菌测定最少

采样点数表

面积洁净度

(m2)100级10000级100000级

小于102〜322

10-20422

20-40822

40-1001642

100~20040103

200~40080206

400~100

1604013

0

1000-20

40010032

00

2000以

80020063

上

表二十一沉降菌测定最少

培养皿数表

90培养皿数（以沉降0.5h

洁净度等级（级）

计）

高于10044

10014

10005

100002

1000002

浮游菌测定法最小采样量应按不同洁净度等级来确定。

见下表

表二十二浮游菌测定

法最小采样量表

采样量/L•次

洁净度等级（级）

日常监测环境验证

1006001000

10000400500

10000050100

②微生物粒子测定方法：

a.浮游菌的测定法

首先，要对测定仪器，培养皿，采样器等进行消毒灭菌,

采样口和采样管在使用前必须用高温灭菌。

第二，采样者应穿与洁净室等级相应的洁净服，放入或

调换培养皿前，双手要用消毒剂消毒。

第三，仪器消毒后放入培养皿前，先开动真空泵抽气，

使仪器中的残存消毒剂蒸发，时间不小于5min。

第四，关闭真空泵，放入培养皿，盖好盖子后调节采样

器。

第五，置采样口于采样点，依次开启采样器，真空泵,

转动定时器并根据采样量选定采样时间。

第六，采样结束后，将培养皿置于30~5(fC恒温培养箱

中，时间不小于48小时。

第七，用肉眼计数，然后用5~10倍的放大镜检查，是

否有遗漏。

.b.沉降菌的测定法

首先，要对测定仪器，培养皿等进行严格的消毒灭菌，

在37%恒温培养箱中，进行不小于48小时的培养和观察，

确认无菌后方可使用。

第二，一般采用90mm的沉降平皿，注入20mL培养基,

放在测点处，开盖暴露30min,将培养皿盖盖上倒置，然后在

30~35。(；恒温培养箱中，进行不小于48小时的培养并用肉眼

计菌落数，并记录生成的菌落数，然后用5~10倍的放大镜

检查，是否有遗漏。

4.静压差的测定：

①.静压差的测定要求：

首先，静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进

行的。

第二，应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到

直通室外的房间。

第三，测管口设置在室内不受气流干扰的地方。

第四，所测数据应精确到l.OPa。

②静压差的测定步骤：

首先，是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。

第二，用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之间,

走廊与外界之间的压差。

第三，记录在案

③静压差测定用的仪器：

静压差测定一般采用的仪器为YJB-150型补偿式微压计,

倾斜式压力计，精密指针式压力计或灵敏度小于l.OPa的

其它压力计。

④合格标准：

首先，不同级别的洁净室（区）与非洁净室洁净室（区）

之间的静压差应不小于5Pa。

第二，洁净室（区）与室外的静压差应不小于lOPa。

第三，对于洁净度等级严于5级的单相流洁净室在开门

时，门内0.6m处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级

别的含尘浓度限值。

5.温度和相对湿度的测定：

①温湿度的测定要求

首先，温湿度测定前，净化空调系统应连续运行48h以

上。

第二，应根据温湿度的精度范围，选择有足够精度的测定

仪表，并经过校验标定合格。

②温湿度的测定方法：

第一，温湿度的测点应距离地面0.8m,距离外墙0.5m。

第二，应根据温湿度的精度范围的要求，测定宜连续运行

8~48h,每次读数间隔不大于30min。

第三，对于没有恒温要求的房间，其温度只测房间中心一

个点即可。

第四，对于有恒湿要求的房间或区域，测点应放在送，回

风口处或具有代表性的