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文档简介

二硫化钨薄膜的化学气相沉积法制备及其光学性能研究

摘要：

本文采用化学气相沉积法制备了二硫化钨（WS2）薄膜，并对其光学性能进行了研究。实验结果表明，通过合适的沉积条件，可以制备出具有良好结晶性和光学性能的WS2薄膜。在紫外可见吸收光谱方面，沉积的WS2薄膜呈现出明显的吸收峰。此外，对WS2薄膜的随机激光拉曼光谱研究发现，其呈现出典型的WS2特征峰，表明成功制备出了WS2薄膜。这些结果证明了化学气相沉积法在制备WS2薄膜方面的有效性，并为进一步研究与应用提供了基础。

1.引言

2.实验方法

3.结果与讨论

3.1WS2薄膜的制备

3.2光学性能研究

4.结论

1.引言

WS2作为一种二维材料具有广泛的应用潜力，在光电子学、纳米电子学以及能源领域等方面展现出了出色的性能。其中薄膜形式的WS2由于其特殊的能带结构和光学特性被广泛关注。化学气相沉积法作为一种简便高效的薄膜制备方法，在WS2薄膜的制备中得到了广泛应用。本文旨在研究化学气相沉积法制备WS2薄膜的方法，并对其光学性能进行探究。

2.实验方法

本次实验采用了热蒸发法制备WS2薄膜。首先，在石英衬底上制备了一层钨的薄膜，然后将样品放入含硫的环境中进行600°C~900°C的退火处理。通过调节硫的量和退火温度，实现了WS2薄膜的制备。制备完毕后，通过扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射（XRD）对WS2薄膜进行了表征。

3.结果与讨论

3.1WS2薄膜的制备

经过化学气相沉积法制备的WS2薄膜在SEM图像中呈现出均匀的形貌，并且具有较好的结晶性。XRD分析结果显示制备的WS2薄膜具有与标准WS2样品相同的晶体结构，证明成功制备出了WS2薄膜。

3.2光学性能研究

在紫外可见吸收光谱方面，WS2薄膜呈现出明显的吸收峰。实验结果显示，在可见光区域表现为百分之几的透射率，而在紫外光区域则表现出高吸收率的特性。这表明化学气相沉积法制备的WS2薄膜具有较好的光学性能。

此外，采用随机激光拉曼光谱对WS2薄膜进行表征。实验结果显示WS2薄膜呈现出典型的WS2特征峰，如E1g峰、A1g峰等，与已有文献报道的结果相符。说明制备的WS2薄膜是具有典型结构和化学特性的。

4.结论

本文成功采用化学气相沉积法制备了WS2薄膜，并对其光学性能进行了研究。通过SEM和XRD表征，证明了制备的WS2薄膜具有良好的结晶性。在紫外可见吸收光谱方面，WS2薄膜呈现出明显的吸收峰，证明其具备优良的光学性能。随机激光拉曼光谱结果表明制备的WS2薄膜具有典型的WS2特征峰。这些实验结果证明了化学气相沉积法在制备WS2薄膜方面的有效性，并为进一步研究与应用提供了基础综合实验结果，本研究成功地使用化学气相沉积法制备了具有良好结晶性和光学性能的WS2薄膜。SEM图像显示薄膜具有均匀的形貌，XRD分析结果表明薄膜与标准WS2样品具有相同的晶体结构。紫外可见吸收光谱结果显示薄膜在可见光区域具有较低的透射率，而在紫外光区域具有高吸收率。随机激

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