2023年0701-阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告V

20230701-阻焊直接成像曝光机(ScreenV1.0快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第0页共13阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告一、验收目的：检验设备的各项指标是否到达规格书要求，并评估设备工艺力量及产品品质是否到达我司要求。二、验收信息：序序号工程信息说明备注1型号23ScreenLI-5F-M曝光机与威志传送设备阻焊曝光45供给商用途量区/部门/工序设备负责人1ICS/工艺部/阻焊6甘斌、曾祥敏验收人间

王锋锋、刘成勇2023.6.22—2023.7.3三、验收工程及结果：Item痕，损伤，各部件可OK钢外表未抛光痕，损伤，各部件可OK钢外表未抛光正常运行处理1.Passline:960±30mm2.设备尺寸：符合规根本规格书设计要求OK格3.运行方向〔以操作面看〕：从右到左4.传送尺寸：415×510mm传送系1.各马达符合类型、待翻板机为皮带；统数量和规格符合规格改传送滚轮间距

验收标准 结备注AceeptanceStandard果机体完整，外表无划 传送设备不锈快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第1页共13机体构造快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第2页共13书要求马达运行平稳马达皮带(链条)转善书要求马达运行平稳马达皮带(链条)转善板后吸嘴会粘动正常符合要求各搬送部运行稳特别噪声板〔7/25〕马达电流正确标示正确接线柱稳定无松动线槽稳固良好掌握箱清洁良好OK入板电眼调试正常要求电控柜需要有调温装置统至少包括中文电脑设有断电缓冲〔UPS〕装置掌握系3.各掌握工程符合要统 求

转换文件软件CU-9000待文;曝光机无分改级修改权限设参数有分级修改权限设定参数有分级修改权限设定预留收放板机自动定；NGNG功能〔7/25〕掌握端口温调机等各部运行正常，无特别噪声或者待故障确2.开机试运行，抽真认High空后观看真空度数值是否达标下真空值约-5kpa〔7/25〕行快捷公司质量体系文件文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第3页共13温、湿1℃ 度掌握2.

25℃

5%干净度≤100级

干净度按1000级掌握快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第4页共131.故障报警正常2.报警指示灯正确3.各种保护、报警、急停等关心装置可以1.故障报警正常2.报警指示灯正确3.各种保护、报警、急停等关心装置可以正常使用4.做各种违规等操作示效5.按急停键验证能否待改善实现急停功能6.设备，掌握箱，线路等标牌粘贴正确7.特别状况、生产记录等自动存储功能，保存期限≥6个月其他项此表中未涉及的工程待目依设备规格书逐项检确查查＜0.3%迹印、无翘曲能水平放置前后翘曲≤6mm状况的板能顺当力防翘曲运行，未消灭掉板、与品质力量折板、卡板等，产品不良现象待确有吸嘴印迹认待板边翘曲状况改下无法正常对善位〔7/25〕快捷公司质量体系文件文快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第5页共13窗

5000m2/monthSRO50±5um铜上及基材上阻焊 undercutorfoot：≤5um性

开窗形态良好1.开窗大小：250±5um(245~255um) OK2.均匀性≥95%1.≥50um快捷公司质量体系文件文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第6页共13台面印无台面印记、凹坑、记 吸盘印等无明显曝光过度线曝光条〔Taiyo纹datasheet可满足要求〕要求3σ≤10um，cpk位置精≥1.33度1.玻璃底片检查测试，1年/次--供给测

OK待产品图形内有改吸盘印善有稍微曝光条OK纹待尚未供给校准确报告认快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第7页共13度

试报告给FP,OK季度/次--供给校准FP满足验收标准〔铜面阻焊厚度25±10um，SRO200um，300um量位置：45Points/Panel〕3σ≤5um，cpk≥1.331.玻璃底片检查测试，1/次--供给测待FP确2.定期校准检查，每认季度/次--供给校准FP实际图形测试方法

报告Offset区域

及结果满足验收标准〔铜面阻焊厚度25±10um，SRO200um，300um量位置：45Points/Panel〕要求重合局部≤2um,待肉眼观看无明显曝光确过度线条 认至少可以对应taiyo

评估测试AUS308、AUS320、、EG23、快捷公司质量体系文件文件编号：快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第8页共13应性〔包括湿膜和干膜阻应性〔包括湿膜和干膜阻更容焊〕易消灭台面印局部吸气孔改善〕文件格至少可以支持GerberOK支持gerber、

AQ4086，与ORC式兼容和ODB++格式的文件性机台外观无损坏；拆箱设备无明显划伤；部品点及物品与清单内容相

ODB++格式文设计需作变更OKOK收设备常规漏

符；与电检查与电检查服易耗品供给说明书待务清单以〔12确及寿命本无尘纸、英文1本〕认软件要求PC必需正版OK快捷公司质量体系文件文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第9页共13设MTBF备

供给设备安装打算书 OKMTBF(MeanTime BetweenFailures)≥确快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第10页共13可靠1000hrs；(一个月后稳定生产〕认性MTTR〔MeanTimeTo待MTTRRepair〕≤2hrs；(一个月后稳定生产〕确认四、验收结论：目前〔7/27〕确认主要存在问题：传送装置的导轨、丝杠位于曝光台面正上方，导轨上油与灰尘易掉落污染产品；吸嘴排气在曝光机内部，易导致异物增多；对于薄板，吸板板面不平。传送设备运转过程中停顿时，需重启动时操作步骤繁琐，需翻开安全门手取板出来。气源停顿时，手臂会自动下降，存在损坏产品与设备的可能。滚轮传送速度很多值显示。暂存机感应器不稳定。放板时，吸嘴会有粘板，导致板有移动，最终无法正常对位；板边翘曲时，对位图像模糊，无法正常对位；暂存机在“NGNG暂存功能；曝光主机敏报去除需消耗很长时间；NN块板在台面上不会被自动移走。自动运行模式下，无法手动对曝光数据进展强制完毕，必需需要等到消灭“是否等待”提示框后，才能将快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第11页共13数据停顿。定位查询模式时，顺时针调整角度过大，会在曝光过程中消灭警报。需要调整板尺寸才能让对位点进入CCD镜头区域。在问题改善前，无法用于生产。五、附件：、机体温、湿度掌握、验收标准：(1)温度掌握精度：±1℃(2)湿度掌握精度：±5%5.1.2、验收方法：利用空气温度计测量机体内部温度数值，在一天内，间30次利用湿度计测量机体内部湿度数值，在一天内，间隔测30次5.1.3、测试条件22±2℃；湿度：50±5%5.1.4、测试结果：、机体灰尘掌握干净度≤100级快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第12页共13、验收方法启动机器，利用干净度测试仪测量机体内部尘埃粒子数量、测试条件、测试结果、传送力量测试、验收标准卡板，掉板，板折等导致的过板失败率＜0.3%出板产品无损伤、无杂物、无褶皱、无迹印、无翘曲5.3.2、验收方法(1)CCL〔0.040mm基材+2μm*2铜〕连续过板；〔2〕图形板〔0.040mm基材+10μm*2铜〕连续过板。板尺寸：415mm*510mm、测试条件、测试结果图形板测试OK，CCL尚未确认。、防翘曲力量测试、验收标准水平放置前后翘曲≤6mm板、折板、卡板等，产品生产时不会消灭曝光不良现象、验收方法尺寸415×510mm，板厚0.044mm-2.0mm，用不同翘曲程度的板，进展过板测试。、测试条件、测试结果、设备产能、验收标准产能满足：≥5000m2/month5.5.2、验收方法计算方法：产能〔m2/月〕=3600〔sec/小时〕×22〔小时/天〕×26〔天/月〕×0.21〔m2/pnl〕÷tacttime(sec/pnl)5.5.3、测试条件在设定的曝光能量条件下正常进展4点对位曝光。5.5.4、测试结果快捷公司质量体系文件文件编号：快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第13页共13AUS308AUS320

曝光能量260mj/cm²300mj/cm²

Tact产能time(sec/pnl)81sec82secAUS410EG23AQ4086

220mj/cm²30mj/cm²

74sec74sec41sec快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQuality快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第14页共13调整时间与成像头校正时间。、最小开窗、验收标准SRO力量：50±5um铜上及基材上阻焊undercutorfoot：≤5um3.开窗形态良好、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2±10uSMD显影、后固化后，分析开窗形貌。、测试条件油墨SRO(设计值50μm) SRO〔设计值80μm〕型号快捷公司质量体系文件文快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第15页共13AUS308注：SMD补偿值按-18μm计算、能量均匀性、验收标准1.开窗大小：250±5um(245~255um)2.均匀性≥95%、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，0.044mm,25±10um，SRO250um为考察对象，测量位置：45Points/Panel，能量均匀性计算公式：Min/Max*100%、测试条件阻焊厚度 文件设计油墨型号〔μm〕 SRO〔μm〕阻焊厚度 文件设计油墨型号〔μm〕 SRO〔μm〕SROAVE〔μm〕SROSROSROMIN/MAX快捷公司质量体系文件文快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第16页共13AUS30825.87568547.73552.56534.8717.7096.80%AUS410AUS30825.87568547.73552.56534.8717.7096.80%AUS41023.56568554.84556.42549.217.2098.71%EG2326.02568551.82553.43548.015.4299.02%、阻焊桥、验收标准1.≥50um2.无发白、桥弯、掉桥等、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度25±10um，设计不同尺寸SRdam，曝光、SRdam力量、测试条件、测试结果快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第17页共13、台面印迹、验收标准无台面印记、凹坑、吸盘印等、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，25±10um，正常条件下生产、测试条件、测试结果AUS320仍有印迹，堵住局部吸气孔进展改善。、曝光条纹、验收标准无明显曝光过度线条、曝光不良条纹等〔依据Taiyodatasheet要求〕、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，25±10um，正常条件下生产快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第18页共13、测试条件、测试结果、位置精度、验收标准要求3σ≤10um，cpk≥1.33玻璃底片检查测试，1年/次--供给测试报告给FP,OK定期校准检查，每季度/次--供给校准报告给FP实际图形测试结果满足验收标准200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel〕、验收方法此测试需在设备供给商处进展，承受预先预备的玻璃底CCD〔不涨缩将测试图形曝光到底片上，然后测量测试图形中心与玻璃底片上图形中心的距离，即为对位偏差值。取点数量至少20个。计算如下：偏移量D=[(Xi-xi)2+(Yi-yi)2]0.5,偏移量标准偏差为σ、测试条件、测试结果快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第19页共13、重复精度、验收标准要求3σ≤5um，cpk≥1.33玻璃底片检查测试，1年/次--供给测试报告给FP定期校准检查，每季度/次--供给校准报告给FP实际图形测试方法及结果满足验收标准200um，300um为考察对象，测量位置：45Points/Panel〕、验收方法此测试需在设备供给商处进展，承受预先预备的玻璃底CCD〔不涨缩在板的四角和中心各设计4个同心圆环图形，并将测试图形曝光到底片上，每次只曝光一个圆环，屡次曝光，测量圆环中心之间的偏差值，检验其稳定性。、测试条件、测试结果、Offset区域、验收标准快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第20页共13要求重合局部≤2um,肉眼观看无明显曝光过度线条、验收方法415*510mmPSR-4000AUS308油墨，铜面阻焊厚度2510um，在光铜板上设计阻焊线宽50um，正常参数曝光后，在DMD扫描重合区域内，用显微镜观看阻焊线宽变异宽度。2um2um、测试条件、测试结果、油墨适应性、验收标准至少可以对应taiyo全部IC〔包括湿膜和干膜阻焊〕、验收方法IC载板用油墨进展曝光，测量并记录各种油墨的曝光能量和实际曝光时间，显影后用百倍镜观看解析快捷公司质量体系文件快捷公司质量体系文件文件编号：Fast-printCorpQualitySystemDoc.阻焊直接成像曝光机(Screen)验收报告ICS-QRE-D01〔A〕第