bruker初级培训探针选择

（Probe）。当今商用的扫描探针显微镜一般配备反馈系统（FeedbackSystem），Probe）。当今商用的扫描探针显微镜一般配备反馈系统（FeedbackSystem），选取形貌成像：原子力显微镜（AFM）：非接触模式（Non-contactMode），接触模式（ContactMode）,轻敲模式（TappingMode），峰值力轻敲模式（PFTmode）形貌成像：原子力显微镜（AFM）：非接触模式（Non-contactMode），接触模式（ContactMode）,轻敲模式（TappingMode），峰值力轻敲模式（PFTmode）相位成像模式（PhaseImaging），定量力学测量（PFQNM），高次谐波成像CP/Innova•••Bruker是唯一一家同时专注于探针和AFM•Bruker是唯一一家同时专注于探针和AFM探针由三部分组成,基片、悬臂梁、针尖。一般的来说针尖会泛指AFM探针由三部分组成,基片、悬臂梁、针尖。一般的来说针尖会泛指AFMAFM悬臂长度L，悬臂宽度w，悬臂厚度t，针尖高度H，共振频率

悬臂梁的几个尺寸影响悬臂梁的弹性系数kAFM探针的重

𝑓0弹性系数k是表征探针的重要指标,k越大，一般 (Front(FrontAngle),后角(BackAngle),TipSetBack,针尖高度(TipHeight),侧角(SideAngle)弹性系数k是表征探针的重要指标,k越大，一般 𝑓0 (FrontAngle),后角(BackAngle),TipSetBack,针尖高度(TipHeight),侧角(SideAngle)探针材料一般是单晶硅(Silicon)或氮化硅探针材料一般是单晶硅(Silicon)或氮化硅 BrukerBrukerAFM BrukerBrukerAFM121

BrukerBruker（MPP探针MPP−𝐴𝐵𝐶𝐷𝐸−MPP−𝐴𝐵𝐶𝐷𝐸−A:(Tappinglineof–中等(Multilineof(ContactlineofB:(Tap300,Multi75,(Tap150,Multi40,(Tap525,Multi190,Contact40)C:针尖对称性Rotated对称NotRotated非对称

D02E:03已安装到CP/InnovaZ10–10-packW–Wafer BrukerBrukerAFM BrukerBrukerAFM 接触模式？轻敲模式？MPPMetrologyPointProbeA:悬臂长度(Tappinglineof–中等(Multilineof(Contactlineofprobes)B:悬臂厚度C:针尖对称性Rotated对称NotRotated非对称

0203已安装到CP/InnovaZ10–10-packW–WaferBioscopeCatalyst上AFM与光学联用。该类别探针的曲率半径一般为7nm。BioscopeCatalyst上AFM与光学联用。该类别探针的曲率半径一般为7nm。这类探针用于ScanAsyst智能扫描模式。ScanAsyst-Air这类探针用于ScanAsyst智能扫描模式。ScanAsyst-AirBioscopeCatalyst上AFM与光学联用。该类别探针的曲率半径一般为7nm。一般为LC35nm，HM80nm，LM一般为LC35nm，HM80nm，LM10nm这种探针用于超高分辨轻敲模式成像。曲率半径DLCS1nm，IMPSC这种探针用于超高分辨轻敲模式成像。曲率半径DLCS1nm，IMPSC这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nm这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nm这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nm这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nm这种探针用于基于峰值力轻敲模式的电学测量模式。PFTUNA用于TUNA模式，PFQNE用于PeakForceKPFM模式。曲率半径PFTUNA25nm，PFQNE这种探针用于基于峰值力轻敲模式的电学测量模式。PFTUNA用于硬样品表面的电学测量。曲率半径DDESP35nm，SSRM电学分辨率可达1nm曲率半径OSCM15nm，SCM，RMN曲率半径OSCM15nm，SCM，RMN这种探针用于轻敲模式下测量超高或超深的表面形貌。长径比超过5:1半径10nm这种探针用于轻敲模式下测量超高或超深的表面形貌。长径比超过5:110:1。曲率半径1010:1。曲率半径10nm。这种探针用于轻敲模式下测量超高或超深的表面形貌。曲率半径10这种探针用于轻敲模式下测量超高或超深的表面形貌。曲率半径10nm这种探针前段有电阻，可以加热到350°C，这种探针前段有电阻，可以加热到350°C，一般为LC35nm，HM80nm，LM这种探针用于超高分辨轻敲模式成像。曲率半径DLCS1nm，IMPSC8nm，TESP-SS2nm。这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nm这种探针用于超高分辨接触模式成像。曲率半径2nmTUNA模式，PFQNE用于PeakForceKPFM模式。曲率半径PFTUNA25nm，PFQNE硬样品表