ESO设备安全查核训练

2010.12.29AUOProprietary&ConfidentialESO设备安全查核训练课程工程师安全教育训练系列之苏州环安部Agenda

引言

Sign-Off制度简介Level1查核Level2查核Level3查核

常见查核缺失与重点

引言——落实sign-off可避免下列意外事件因设备厂商在机台端排气未标示排气种类导致hookup厂商配错排气管路(酸排→碱排)，使制程废气未处理排放至大气中。24hr氮气保压、测漏以避免因管路焊道不佳，化学品/气体从焊道上的砂孔外泄，化学品管路仍需保压测试。valvebox相关阀件在氮气flush时应先行测试，以避免送气后发生阀件无法调压或关闭之状况。多次发生机台设备工程师、厂务hookup工程师在送酸前未确认管路衔接工程是否完成，进行toolrelease时确认所有管路是否完成衔接作业化学及气体管路因赶工而忽略相关管路标示导致配错管路。焊道过深，管路强度减弱。焊道砂孔为泄漏点。标准管路焊道表面光滑平整，无任何砂孔。

Sign-off制度简介

toolsafetyreviewmeetingvendor简介机台并说明安全设计相关证明文件完整性讨论toolrelease前验机-确认是否符合安全规范-safetyinterlock功能测试洽谈规格AUO机台设备安全规范GuaranteeLetter相关证明文件list设备工程师厂验确认是否符合AUO机台设备安全规范装机sign-off查核EQ3stagesign-offchecklistPRGuaranteeLetter设备工程师设备工程师corp.&siteESHPO设备工程师siteESH设备工程师设备工程师corp.&siteESH设备工程师siteESH项目式查核(ex.smalltoolsafetyreview)MOC设备请购流程确保装机完成，符合法规要求；避免装机时或后续发生事故/隐患。ESOEquipmentInstallationSign-off执行ESO目的一、使用110V以上电源之机台设备;（除工作桌、个人电脑、临时电器设备、检测设备、施工设备等）适用范围110V二、使用制程危害物质（HazardousProcessMaterial－HPM）(国内称之为危险化学品之设备。)【除CDA&水之外的所有液/气体】三、移机之设备，厂务Hook-up；四、自动化/仓储系统。五、具有其它特殊危害之设备。设备装机负责工程师完成设备安全查核表单查核。追踪厂务查核缺失改善。完成设备查核缺失改善。完成各项签核流程。厂务部门完成厂务安全查核表单查核。提供各项签核所需资料。完成厂务查核缺失改善。ESH稽核各阶段之检查执行状况。确认、核可各阶段之查核已完成。协助供应特殊气体、化学品前安全确认。权

责送电/测试/供应非制程危害物质前需完成一阶段。Level-1Level-2Level-3设备移交制程或制造前需完成第三阶段。CDASOPTraining供应制程危害物质前完成第二阶段。查核时机水电缺失分类说明一、A类：风险特别高，若不符合及易造成严重危害，未改善前不可送电/送气/使用学品；二、B类：风险较高，若不符合佷可能造成危害，未提出改善对策前不可送电/送气/使用化学品；三、C类：风险一般，若不符合不会影响第一、二阶段的装机安全查核之进行；（B类及C类项目缺失及不符合项目，须于机台交机前修改完成；）NO查核项目改善NO查核项目改善NO查核项目改善EQ提供机台操作手册设备工程师向厂务提出装机之电、气等需求，从环安领取表单；于机台张贴查核证明；EQLevel-2CheckEQ机台测试SOP建立1、装机安全查核证明；2、施工状态表(表单贴至现场）装机前Level-2EQLevel-3Check流程Level-31、ESOLevel-3Check1.资料包含各保养规范及测试资料；2.Level-3查核完毕后，各项数据、窗体送交环安部存查；步骤查核项目备注FE进行Hookup工程EQ装机测试EQLevel-1Check1、ESOLevel-1Check－FE；2、ESOLevel-1Check－EQ；FE完成厂务端供电、气、水；各系统管理二次配检查表；Turnon有害能量、辐射、镭射前需完成所有Level-1查核；Level-11、ESOLevel-2Check－FE；1、ESOLevel-2Check－EQ；EQ提出申请并完成签核；Move-in前由EQ提出至ESH&FE移交制造/制程步骤设备MoveIn/装机前：EQ须提出装机需求至FE&ESH，并于机台定位后张贴【查核证明】&【施工状态表】；三.维修空间二.逃生方向四.电气接线、标示一.消防设施重点1第一阶段查核/Level-1：八.其它相关安全设施六.管路标示五.Interlock、EMO设置七.危害警告标示(中/英)续重点2【厂务部分】：A各厂务系统供应非HPM前完成二次配管路查核；B完成电盘至设备端的接电，并符合Level-1之要求；C完成消防设施的各项安全要求；D厂务在领取表单后，于Hook-Up时开始自行填此表单。步骤A、厂房及建筑物的消防设备1、建筑消防设施是否上线？2、自动撒水系统经过测试功能是否正常？3、是否在机台前后的走道上的天花板均装置撒水头以涵盖整个机台?4、厂务火警警报探测器(侦烟/侦温探测器)是否经过测试且功能正常?【厂务部分】B.电气系统1.厂务相关电源线路由分电盘至机台端之联机及连接点正确?2.供应电盘端己标示使用机台、附属设备编号与机台主开关位置.3.机台端电源标示包含位置、供应盘位置、供应回路编号,以及电盘开关编号和电压.插座都标示有breaker编号及电盘编号。4.接地？紧急电力?设备标示正确否?5.各管路的空间、标识（走向）是否完善？6.管路保压是否完成？【设备部分】：A设备连接端各标示须和电盘保持一致；BEMO&Interlock的设置是否涵盖整个操作区域；CTurnon有害能量/辐射/激光等之前，须完成所有Level-1检查；D设备应在自行安表单要求装机的同时，关心厂务部分进展及安全要求。

步骤A.一般事项B.净空1. 所有相关管路源头与衔接点，且于转弯点及穿墙前加管路标示清楚。2. 非HPM之管路于使用前是否经过饱压或测漏测试确认管路无泄漏之疑虑?主机台正面操作区及主信道宽度须有一公尺。机台及相关附属设备之维修信道宽度至少须有80公分。机台维修空间须足够电盘或控制盘门完全开启。C.电气系统（EQ）漏电断路保护若有接UPS之设备，UPS是否正确标示出其所支持的机台?机台及厂务电盘上方若有可能的泄漏源，电盘是否做好必要的保护措施?电线管理是否适当?如避免绊倒、拉扯电线,及维持良好的整洁。有湿式制程或电气组件相当有可能接触到液体之机台，是否有漏电断路器装置，且此装置是否有合格认证?易燃物品及设施:相关设备装于危险区或电气相关组件暴露于易燃物之雾气中，其电气用品应为防爆型。D.紧急停机装置1、EMO是否有适当中英文标示?2、EMO的设置是否覆盖整个操作区域?3、EMO切断此系统电力供应时是否含设备附属UPS?4、若己安装EMO防护盖，此设置于紧急情况时仍可以掌握跟压按?5、确认EMO复归后不会重新激活此设备?E.有害能量与防护1.所有机械危害之防护及标示适当否(中、英文标示)?(挤压收缩、切断、移动、往复运动)2.所有机械臂移动范围适当围篱且有防护?3.高低温危害防护及标示适当否(温度大于60℃之热表面、冷冻剂)。4.电气危害之防护及标示适当否?(直流电>50伏特、交流电>30伏特)己确认之危害位置Identifyhazardlocations:(之前相同机台己查核此项者可免填，资料见机台名称)机械危害Mechanicalhazards:热危害Thermalhazards:其它危害Otherhazards:F.雷射 1、雷射分类等级:

Alllaserclasses:Class______注1:Class1指正常操作下有雷射发生但不造成伤害性。注2:3b之雷射若眼睛直视会造成伤害。包括反射光之光束，正常状况下，3b雷射之扩散光不会造成伤害。注3:分类4之电射不但直视及反射光会造成伤害。而且扩散光亦会造成伤害.此类电射可能会造成皮肤如冋火灼伤之危害。2、电射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准，且在此机台外侧有明颢的合格标示3、雷射光源附近己加防护外罩，张贴危险警示标帜。5、所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常?6、己降低窗口孔之雷射危害等级至Class1以下?F.雷射 7、有使用分类3b或4之雷射否?若有完成下列问题:a.密闭性b.安全联锁.包括电力供应.c.防护区己告示d.提供锁匙控制之开关e.可拆缷之维修控制仪表板亦有安全联锁。f.人员接触分类3b或4之电射作业时，机台本身是否有防护屏障或人员有配戴防护器具或有雷射剂量监控。g.警示系统己运作否?h.有开放性光束暴露之可能性时，雷射区己公告成管制区域?i.己指定且使用适当光学密度之眼部防护具?j.员工操作开放性光束己接受安全使用训练?G.辐射1.是否有放射源?(如果有的话，请与ESH单位联络)2.所有与辐射相关之安全联锁皆功能正常?3.辐射相关警告标示己张贴完成?4.辐射必要之阻绝挡板皆设置正常?紫外光源5.如果有害的存在的话，此光源是否被隔绝或以安全连销防护?6.RF/微波源是否己被鉴定并标示?7.RF是否接地?5R1.5R60°R60°Level-2：

厂务：A提供气体/化学品需求确认单所需资料；B完成气体/化学品供应所需要求。

（未使用化學危險物品，不需進行Level-2的查核）

步骤设备：A提出气体/化学品需求单；B完成气体/化学品需求确认单签核流程；

Level-2：

【厂务部分】A、开孔等均已做好防火填塞；B、洗眼器的设置，并加以标示；C、有无侦测及ERC监控；D、机台之消防设备是否完善；E、通风、排气系统是否完善；F、化学废液、废弃物质处置是否得当；G、气体化学品传送系统是否完善；管路侦测防火填塞消防设施废弃处理传送系统【设备部分】A、机台操作或维修?若是，这些局限空间之入口是否有标示?B、机台之消防设备，并联至ERC；C、安全相关之连锁装置是否完善；D、个人防护装备有无配备齐全；E、通风、排气有无完善；F、MSDS及应急设施；消防设备连锁装置个人防护应急措施Level-3：

设备：完成设备各项SOP的建立，其SOP及附带表单中须包含Level-3中所规范的内容要求。步骤Level-3查核重点设备安全保养（PM）程序设备安全操作（Operation）程序相关人员已受教育训练各阶段查核缺失及不符合项目已改善完成已建立操作保养规范？与机台操作保养相关的特殊危害讯息已纳入操作保养规范之中？PM规范文件已明确定义所有必要之上锁或标示事项？操作保养规范有明确定义穿戴之个人防护具（PPE）？操作保养规范有适当说明紧急停机开关（EMO）和安全联锁之功能?Level-3查核项所有LEVEL1、2待改善项目均经工安工程师签名确认完成？员工已接受个人防护用具的训练，包含使用方式与挑选合适的个人防护用具?员工已接受危害通识训练？包含各化学品之危害及标示方式？物质安全资料表备置于现场？5、保养规范有明订以下要求：紧急停机开关（EMO）和安全联锁至少一年测试一次，或当维修过程使紧急停机开关（EMO）和安全连锁失效时需重新测试？6、操作保养规范有明订机台紧急关机程序、第一时问点应变程序及其它紧急应变措施（如泄漏处理，停电处理等）？7、辐射机台之PM规范包括辐