扩散工艺作业流程(以虚拟仿真为例)_第1页
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文档简介

太阳电池发电原理、结构与分类复习扩散工艺作业流程介绍P型硅片应选择含()元素的源来进行扩散工艺磷硼碳ABC提交单选题1分扩散工艺无尘车间的洁净度为()100级1000级万级10万级ABCD提交单选题1分扩散工艺的目的是()清洗硅片制作p-n结均匀在硅片衬底中分布掺杂原子做金属电极ABCD提交单选题1分小氮的作用是携带磷源进入炉管。净化炉管,为扩散创造净化环境。参与化学反应,形成PSG(磷硅玻璃)层。ABC提交单选题1分大氮的作用是携带磷源进入炉管。净化炉管,为扩散创造净化环境。参与化学反应,形成PSG(磷硅玻璃)层。ABC提交单选题1分氧气的作用是携带磷源进入炉管。净化炉管,为扩散创造净化环境。参与化学反应,形成PSG(磷硅玻璃)层。ABC提交单选题1分用四探针对完成扩散的硅片进行()测试?电阻电导率方块电阻反射率ABCD提交单选题1分转移石英舟时,应()。徒手转移用抹布垫好转移用舟叉转移随便扔没关系ABCD提交单选题1分四探针测试硅片方块电阻时,一般采用()点测试法。1345ABCD提交单选题1分学习说明1.请各位学员对照微知库中虚拟仿真视频来进行PPT学习,以期达到最佳学习效果;2.观看虚拟仿真视频时,需要记录下关键的数据和操作方法;3.虚拟仿真平台网址(必须使用Firefox浏览器登录):/cell/典型扩散炉设备插件任务1.到传递窗拿取硅片;2.把石英舟和硅片放置到插件房进行插件。1.到传递窗拿取硅片2.把石英舟和硅片放置到插件房进行插件扩散任务1.插好片的石英舟进行扩散实验;2.随机抽取一片进行方阻测试;3.分拣扩散好的硅片,放置于传递窗。1.插好片的石英舟进行扩散实验2.随机抽取一片进行方阻测试;

3.分拣硅片,并放置于传递窗换源任务1.穿好防护服;2.为扩散机更换源瓶;3.鼓泡实验。1穿好防护服2.为扩散机更换源瓶3.鼓泡实验清洗石英管任务1.拆

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