GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准

UDC

中华人民共和国国家标准

GB506462020

特种气体系统工程技术标准

Technicalstandardforspecialtygassystemengineering

人人文库专用

20202702发布20200110实施

统一书号：155182·0650

中华人民共和国住房和城乡建设部

定价：29.00元联合发布

国家市场监督管理总局

中华人民共和国国家标准

特种气体系统工程技术标准

Technicalstandardforspecialtygassystemengineering

GB50646-2020

主编部门中华人民共和国工业和信息化部

：

批准部门中华人民共和国住房和城乡建设部

：

施行日期年月日

：2020101

人人文库专用

中国计划出版社

2020北京

中华人民共和国国家标准

特种气体系统工程技术标准

GB50646-2020

☆

中国计划出版社出版发行

网址

：

地址北京市西城区木樨地北里甲号国宏大厦座层

：11C3

邮政编码电话发行部

：100038：（010）63906433（）

三河富华印刷包装有限公司印刷

印张千字

850mm×1168mm1/324.75121

年月第版年月第次印刷

202061202061

☆

人人文库专用统一书号

：155182·0650

定价元

：29.00

版权所有侵权必究

侵权举报电话

：（010）63906404

如有印装质量问题请寄本社出版部调换

，

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

2020年第59号

住房和城乡建设部关于发布国家标准

特种气体系统工程技术标准的公告

《》

现批准特种气体系统工程技术标准为国家标准编号为

《》，

自年月日起实施其中第

GB50646-2020，2020101。，3.1.5（1、

2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、

4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、

5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6

条款为强制性

（1）、9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2（）

条文必须严格执行原国家标准特种气体系统工程技术规范

，。《》

同时废止

GB50646-2011。

本标准在住房和城乡建设部门户网站

（）

公开并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版

，

社出版发行

。人人文库专用

中华人民共和国住房和城乡建设部

2020年2月27日

前言

根据住房和城乡建设部关于印发年工程建设标准制

《〈2017

订修订及相关工作计划的通知建标号的要求由

、〉》（〔2016〕248），

信息产业电子第十一研究院科技工程股份有限公司和中国电子系

统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制完成

。

本标准在编制过程中编制组根据我国特种气体系统各类站

，

房的设计建造和运行的实际情况进行了广泛的调查研究同时

、，，

考虑我国特种气体的技术来源情况对国外的有关标准进行了研

，

读并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见的基础上修

，，

改完善标准最后经审查定稿

、，。

本标准的主要技术内容是总则术语特种气体站房特种气

：、、、

体工艺系统生命安全系统特种气体管道输送系统建筑结构电

、、、、

气与防雷公用工程特种气体系统工程施工特种气体系统工程

、、、

验收等

。

本标准修订的主要技术内容是

：

取消规范中的第章硅烷站的设置根据其专业内容分

1.5“”，

别并入第章至第章的相关章节

39。

合并规范中的第章给水排水及消防和第章采暖

2.10“”11“

通风与空气调人人文库专用节合并后为新标准的第章公用工程

”，9“”。

根据我国工程建设的实际情况及国外相关规范的内容修

3.，

改了第章特种气体站房的部分内容

3“”。

将第章特种气体系统验收的部分内容纳入该章节的

4.11“”

条文说明

。

本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文必须严格执行

，。

本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解

·1·

释由工业和信息化部负责日常管理由信息产业电子第十一设计

，，

研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释在执行

。

本标准的过程中请各单位结合工程实践认真总结经验如发现需

，，，

要修改或补充之处请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一

，

设计研究院科技工程股份有限公司地址四川成都市双林路

（：251

号邮编传真以供

；：610021；E-mail：edri11@），

今后修订时参考

。

本标准主编单位信息产业电子第十一设计研究院科技

：

工程股份有限公司

中国电子系统工程第二建设有限公司

本标准参编单位上海正帆科技股份有限公司

：

中国电子工程设计院有限公司

工业和信息化部电子工业标准化研究院

液化空气中国投资有限公司

（）

咸阳彩虹光电科技有限公司

成都爱德工程有限公司

中国电子科技集团公司第五十八研究所

本标准主要起草人员李骥吴军闫诗源薛长立

：

黄勇李东升江元升欧华星

夏双兵陆崎张家红王凌旭

宋燕钱春健朱梅君薛首文

毛冬凯胡天碧王鹏亮顾爱军

本标准主要审查人员郑秉孝侯文川崔永祥刘小娇

人人文库专用：

薛东升姜剑锋周礼誉张志辉

孙效义

·2·

目次

总则…………………

1（1）

术语…………………

2（2）

特种气体站房……………

3（7）

一般规定………………

3.1（7）

特种气体站房布置………

3.2（8）

特种气体设备布置………

3.3（9）

特种气体工艺系统………

4（11）

一般规定………………

4.1（11）

特种气体输送系统………

4.2（11）

吹扫和排气系统…………

4.3（14）

硅烷工艺系统……………

4.4（14）

生命安全系统……………

5（16）

特种气体管理系统………

5.1（16）

特种气体探测系统………

5.2（16）

其他安全设施……………

5.3（18）

特种气体报警的联动控制………………

5.4（19）

特种气体管道输送系统…………………

6（20）

一般规人人文库专用定………………

6.1（20）

材料选型………………

6.2（20）

管道设计………………

6.3（21）

管道标识………………

6.4（22）

建筑结构…………………

7（24）

一般规定………………

7.1（24）

建筑防火………………

7.2（24）

·1·

建筑构造措施……………

7.3（27）

电气与防雷………………

8（28）

配电与照明……………

8.1（28）

防雷与接地……………

8.2（28）

公用工程…………………

9（30）

给水排水………………

9.1（30）

消防……………………

9.2（30）

采暖通风与空气调节……

9.3（31）

特种气体系统工程施工…………………

10（34）

一般规定………………

10.1（34）

主要设备材料进场验收………………

10.2、（34）

气瓶柜与气瓶架的安装…………………

10.3（36）

阀门箱与阀门盘的安装…………………

10.4（36）

尾气处理装置及纯化器的安装…………

10.5（37）

特种气体管道安装……

10.6（37）

特种气体管道改扩建工程施工…………

10.7（41）

特种气体系统工程验收…………………

11（42）

一般规定………………

11.1（42）

设备验收………………

11.2（42）

管路与系统验收………

11.3（42）

气体探测监控系统验收………………

11.4（）（43）

附录特种气体管道氦检漏方法…………

A（44）

附录电子工业用特种气体的主要物化性质

B人人文库专用

单一气体…………

（）（45）

本标准用词说明………………

（50）

引用标准名录…………………

（51）

附条文说明…………………

：（53）

·2·

Contents

………

1Generalprovisions（1）

……………………

2Terms（2）

……………

3Specialtygasesstationroom（7）

……

3.1Generalrequirements（7）

……………

3.2Specialtygasesstationroom（8）

…………

3.3Specialtygasesequipmentlayout（9）

………

4Processsystemofspecialtygases（11）

……

4.1Generalrequirements（11）

………

4.2Pipelinesystemofspecialtygases（11）

…………………

4.3Purgeandventsystem（14）

……

4.4Silaneprocesssystem（14）

………

5Lifesafetysystem（16）

……

5.1Managementsystemofspecialtygases（16）

………

5.2Detectionsystemofspecialtygases（16）

………

5.3Safetyprovisions（18）

……

5.4Intercontrolofspecialtygasesalarm（19）

………………

6Pipelineofspecialtygases（20）

人人文库专用……

6.1Generalrequirements（20）

………

6.2Materialsselection（20）

…………

6.3Pipelinedesign（21）

…………

6.4Pipelinelabeling（22）

………………

7Architectureandstructure（24）

……

7.1Generalrequirements（24）

………………

7.2Architecturefireprotection（24）

·3·

………

7.3Architectureconstructionmeasure（27）

……

8Electricalandlightningprotection（28）

…………

8.1Powerdistributionandlighting（28）

………

8.2Lightningprotectionandgrounding（28）

………

9Utilityengineering（30）

………………

9.1Watersupplyanddrainage（30）

…………

9.2Fireprotection（30）

…

9.3Heatingventilationandairconditioning（31）

……

10Engineeringconstructionofspecialtygasessystem（34）

…………………

10.1Generalrequirements（34）

…………

10.2Siteacceptanceofmainequipmentandmaterials（34）

………………

10.3InstallationofGCandGR（36）

…………

10.4InstallationofVMBandVMP（36）

……

10.5Installationofexhaustgaseslocalscrubberandpurifier（37）

…

10.6Installationofspecialtygasespipeline（37）

10.7Engineeringconstructionofrevampandexpansionprojectof

…………………

specialtygasespipeline（41）

11Engineeringinspectionandacceptanceofspecialty

……………

gasessystem（42）

…………………

11.1Generalrequirements（42）

…

11.2Inspectionandacceptanceofequipment（42）

……………

11.3Inspectionandacceptanceofpipelinesystem（42）

11.4Inspe人人文库专用ctionandacceptanceofgasesdetection/monitoring

…………………

system（43）

………

AppendixAHeliumtestleakageofspecialtygas（44）

……

AppendixBThecharacteristicsofspecialtygas（mono-gas）（45）

…

Explanationofwordinginthisstandard（50）

……

Listofquotedstandards（51）

………

Addition：Explanationofprovisions（53）

·4·

1总则

1.0.1为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设

计施工及验收中贯彻国家现行法律法规满足产品生产要求确

、、，，

保人身和财产安全做到安全适用技术先进保护环境节约能

、、、、

源经济合理制定本标准

、，。

1.0.2本标准适用于新建改建扩建的电子工业的特种气体系

、、

统工程中的设计施工和验收

、。

1.0.3本标准不适用于特种气体的制取提纯灌装等生产及配

、、

套装置的工程设计施工和验收

、。

1.0.4特种气体系统工程的设计施工及验收除应符合本标准的

、

规定外尚应符合国家现行有关标准的规定

，。

人人文库专用

·1·

2术语

2.0.1特种气体

specialtygas

电子产品生产外延化学气相沉积刻蚀掺杂等工艺中使用

、、、

的自燃性易燃性剧毒性毒性腐蚀性氧化性惰性等特殊

、、、、、、

气体

。

2.0.2自燃性气体

pyrophoricgas

也称作发火气体是指在空气中等于或低于时可能自燃

，54℃

的易燃气体

。

2.0.3易燃性气体

flammablegas

一种在和标准压力状态时空气混合有一定易

20℃101.3kPa

燃范围的气体

。

2.0.4剧毒性气体

highlytoxicgas

半致死浓度空气中吸入小于或等于3的气体

（4h）100mL/m。

2.0.5毒性气体

toxicgas

半致死浓度空气中吸入大于3但不超过

（4h）100mL/m

3的气体

2500mL/m。

2.0.6腐蚀性气体

corrosivegas

对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不

可逆变化的气人人文库专用体

。

2.0.7氧化性气体

oxidizinggas

一般通过提供氧气比空气更能导致和促使其他物质燃烧的

，

任何气体

。

2.0.8惰性气体

inertgas

在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体

。

2.0.9低蒸汽压力气体

lowvaporpressuregas

·2·

在室温下的饱和蒸气压小于的气体

0.2MPa。

2.0.10特种气体系统

specialtygassystem

特种气体的储存输送与分配过程的设备管道和附件的

、、

总称

。

2.0.11大宗硅烷系统

bulksilanesystem

是指包括标准集装瓶组长管拖车钢瓶集装格型卧

ISO、、、Y

式钢瓶或总的水容积超过的硅烷系统

，250L。

2.0.12大宗特种气体系统

bulkspecialtygassystem

一般指单个气体设备容积大于的特种气体储存和送气

400L

系统

。

2.0.13液态特种气体系统

liquidspecialtygassystem

是指以液态输送分配在用户终端进行汽化的特种气体

、，

系统

。

2.0.14气体探测系统

gasdetectorsystem（GDS）

设置在特种气瓶柜气瓶架阀门箱阀门盘及其他特种气体

、、、

输送设备与管道所覆盖区域通过检测本质气体或关联气体在空

，

气中的浓度来判断本质气体的泄漏从而发出声光报警信号提供

，、

探测数据的系统

。

2.0.15气体管理系统

gasmanagementsystem（GMS）

包含特种气体探测系统应急处理系统工作管理系统监视

、、、

系统数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称

、。

2.0.16生产区

fabricationarea

电子生产人人文库专用厂房内布置生产设备及相关的研发测试的区域有

、，

些生产过程将使用危险性生产材料该区域为生产厂房的核心

，

区域

。

2.0.17特种气体间

specialtygasroom

电子生产厂房放置特种气瓶柜气瓶架卧式气瓶气瓶集装

、、、

格尾气处理装置等气体设备并通过管道向生产设备输送特种气

、，

体的房间

。

·3·

2.0.18特种气体站

specialtygasstation

电子工厂放置卧式气瓶气瓶集装格标准集装瓶组长

、、ISO、

管拖车尾气处理装置等气体设备并通过管道向用生产厂房气设

、，

备输送特种气体的独立建构筑物

（）。

2.0.19特种气体站房

specialtygasstationandroom

是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称

。

2.0.20硅烷站

silanestation

是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶钢瓶集装格卧式钢瓶

、、、

长管拖车或标准集装瓶组硅烷气化装置尾气处理装置电

ISO、、、

气装置等并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑

，（）

物或区域

。

2.0.21气瓶集装格

thebundleofgascylinders

用专用金属框架固定采用集气管将多只气体钢瓶接口并联

，

组合的气体钢瓶组单元

。

2.0.22标准集装瓶组

ISOISOmodule

采用集气管将气体钢瓶长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并

、

安装在专用金属框架上的组合集装模块

。

2.0.23气瓶柜

gascabinet（GC）

特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备

。

2.0.24气瓶架

gasrack（GR）

特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备

。

2.0.25阀门箱

valvemanifoldbox（VMB）

特种气体人人文库专用在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体用于向

，

一个或多个工艺设备提供特种气体

。

2.0.26阀门盘

valvemanifoldpanel（VMP）

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置用于向

，

一个或多个工艺设备提供特种气体

。

2.0.27尾气处理装置

localscrubber

自燃性易燃性剧毒性腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现

、、、

·4·

场处理装置处理后的尾气达到规定排放浓度并排入用气车间的

，，

排气管道

。

2.0.28卧式气瓶

horizontalcylinder

用于储存较多特种气体的气瓶一般水容积为

。450L、950L。

2.0.29限流孔板

restrictfloworifice（RFO）

限定流体系统最大流量的一种装置

。

2.0.30过流开关

excessflowswitch（EFS）

流体系统的流量超出设定值时给出开关信号

，。

2.0.31负压气源

sub-atmosphericgassource（SAGS）

型在标准温度和压力下钢瓶内和阀门出口均为负压的

1：，

气源

。

型在标准温度和压力下钢瓶内为正压阀门出口为负压

2：，，

的气源

。

2.0.32不相容性

incompatible

不同气体混合后即发生化学反应释放出能量并对环境产生

，

危害作用的特性

。

2.0.33吹扫

purge

用氮气或惰性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体

进行置换的过程

。

2.0.34排气

vent

特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体

。

2.0.35气体面板

gaspanel

集成切断人人文库专用阀门调压阀过滤器压力计等零部件的专用设施

、、、。

2.0.36半致死浓度

lethalconcentration50（LC50）

在空气中使健康的成年大白鼠连续吸入能引起受试白鼠

1h，

在内死亡一半的气体的浓度

14d。

2.0.37爆炸浓度下限值

lowexplosionlimit（LEL）

易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值

。

2.0.38最高允许浓度值

thresholdlimitvalue（TLV）

·5·

毒性气体在空气中的浓度小于该值时充分且持续暴露于该

，

环境中的作用人员的健康不会受到损害

。

2.0.39最高允许浓度值时间加权平均允许浓度

-threshold

limitvalue-timeweightedaverage（TLV-TWA）

作业人员按每天每周工作制工作健康不会受到损害

8h，5d，

的毒性气体