二次配工程规范

中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范

CONTENTS PAGESTOC\o"1-1"1. 目的 32. 范畴 33. 文献送审 44. 施工阐明 45. 其它阐明 96. 验收原则 107. 保固期限 12

目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护HookUp二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。范畴制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范畴，GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶柜出口接至机台(含VMB)，其它特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP)，其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参考”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211)；各VMB/VMP位置，请参考”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212)；气体站至FAB间气体管线，请参考”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参考”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)；而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等有关资料，请参考附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。承包商需根据该表资料，设计至机台管线之途径。前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料寄存及废料清洁等杂项工程。其中施工图及ISO图面，需根据机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制，并配合材料明细表供业主确认。本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。配合”二次配工程阐明”(规范标号NS-SP001)规定所需各项杂项费用。全部管路标示，管路标示根据”二次配工程阐明”办理。全部管路防震固定支撑架之安装定位。高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主批示规划气体管线途径，并负责安装所需管夹等固定装置。文献送审文献名称投标阶段(3份)设计阶段(5份)竣工阶段(5份)报价表(Quotationform)X专案组织表(Projectorganization)XX专案执行时程表(Projectschedule)XX工程界面清单及位置图(List&locationoftie-inpoint)XXX系统管仪图(P&IDs)XXX焊接设备清单(Equipmentlist)XXX设备及材料型录及资料(Vendor’scatalogsandinformationtosupporthisquotation，includingelectricalsystem&I/Csystem)XXX仪表安装详图(Instrumentinstallationdrawing)XX送审文献清单及时程(Transmittallistandschedule)X品质管制程序书(Qualitycontrolprocedure)X工地办公室及物料暂存区需求(Siteofficeandwarehouserequirements)X验收及测试计划/报告(Inspection&testplan/reports)XX制造商测试报告(Manufacture’sinspection&testreports/records)XX计算书(Contractor’scalculations)XX管线配备图(Piperoutingplan)XXX管线支撑详图(Pipesupportdrawing)XX管材规格(Pipingmaterialspecification)XX管线施工程序书(Pipingconstructionspecification)XX注： 1. 承包商需於得标後一周内提出文献送审清单，并於施工前2周提送设计文献及有关管件及标示实体供审核；送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送审。2. 全部送审文献必须以中文或英文书写；英文送审文献需附中文阐明。3. 全部竣工阶段需提送之文献均需检附电子档施工阐明普通阐明承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书，经审核通过後，方可据以施工。承揽商需於工作场合设立工程负责人，需有有关工程经历三年以上，其工作职责为：施工进度控制。施工人员管理及安排。材料数量管制。现场会勘放样。参加承揽商沟通协调会议承揽商需於工作场合设立品管负责人，需有有关工作经历三年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：施工品质控制。施工竣工品质验收。施工验收报告汇总。原料进厂自主检查。承揽商需於工作场合设立物管负责人，需有有关工作经历一年以上，其工作职责为：材料数量管理。进厂料件验收。承揽商需於工作场合设立工安卫负责人，需有有关工作经历一年以上，其阶层与工程负责人同等，其工作职责为：现场安全卫生工作监督。参加承揽商安全卫生协调会议。承揽商施工人员安全卫生训练。施工人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保存三组，每组人员最少三人，每组最少有一人有焊接执照，并由一资深组长带领，全部进厂施工之人员必须通过承认且通过工安检定之人员。品管人员数组，依工程数量适时增加人员，但在工程期限内最低需保存一组，每组人员最少二人，由一资深组长带领，但不可由品管负责人担任。承揽商有任何人员调动需通过承认，且业主有关之人员有权提出异议规定更换，承揽商不得有异议。材料阐明气体管线之分类及其材质规定以下表规定办理。气体种类材质普通大宗气体GN2CDACDA(forburnbox)SUS316LBA/5SSUS316LAP/5SSUS304/5S自燃性气体SiH4,SiH4/N2,PH3/N2内管SUS316LEP/外管SUS304其它气体PN2,PO2,SiH2Cl2,NH3,PH2,B2H6/N2,Cl2,HBr,NF3,BCl3,HF,CHF3,CF4,C2F6,SF6,PAr,PHe,N2O,He/O2SS316LEP/5S；另BCl3、SiH2Cl2之管线需提供加热带以确保供气量。各类管线、管件及仪表厂牌，请依下表规定办理，承包商应以一次配选用厂牌为优先考量，如欲选用非下表规定之厂牌，需通过业主审核同意後使得选用。项目规格厂牌SUS316LBApipeRmax<3.0μmSumikin/KuzeSUS316LBAtubeRmax<3.0μmSumikin/KuzeSUS316LBAfitting(forpipe)Rmax<4.5μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LBAfitting(fortube)Rmax<4.5μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LEPpipeRmax<0.7μmSumikin/KuzeSUS316LEPtube(注1)Rmax<0.7μmSumikin/KuzeSUS316LEPfitting(注1)Rmax<0.7μmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSUS316LBAvalve(≧15A)Bellowvalve,Rmax<4.5μmKitz/Ohno/MotoyamaSUS316LBAvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<3.0μmKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaSUS316LEPvalve(≧15A)Bellowvalve,Rmax<1.0μmKitz/Ohno/MotoyamaSUS316LEPvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<0.7μmKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaRegulatorSUS316LEP,VCRtype,Rmax<1.0μmAP-tech/Veriflo/Tescom/CrownFilterinVMB/VMPSUS316LEP,VCRtype,poresize：0.003μmPall/MilliporeGasketfilterSUS316LEP,poresize：0.01μmPall/Millipore注： 1. Cl2、NF3等气体需选用VIM+VAR钢材。VMB/VMP设备承包商需负责设计及提供特殊气体供应所需VMB及VMP，其安装数量及位置请参考”附件二SpecialtyGasVMBlist”及有关图面批示办理；通过VMB/VMP後管线则直接接至使用点。VMB及VMP所需安装各项阀件及仪表请参考”VMB/VMP示意图”(图号SP-230)批示办理。承包商於每种气体之VMB/VMP，均需於进气主管路预留3/8”隔阂阀(氢气为1/2”)以供将来扩充用。VMB需含有差压计以检视排气之正常与否。VMB须含有紧急关断功效，且紧急关断需能於现场及远端控制。全部仪电设备之组装与测试需根据NFPA70，NationalElectricalCode。得标商应於现场进行VMB/VMP之功效测试，现场测试其氦测漏率应≦1×10-9atm-cc/sec。各VMB所需气体侦测器由业主提供，承包商需负责安装及连结各项控制线路。VMB内全部阀件与管件均需以VCR形式衔接。承包商於每批材料进厂时，需检附原厂检查及测试报告，若为国外进口品则需附进出口文献；全部材料须经业主对於外观、干净度进行检查，合格後方能进厂；如有需要也要将全部材料样品交由公证单位检查，费用由承包商负担，如检查未达原则造成延误之後果，由承包商负责。全部二次配工程所需材料，备料时间需於机台Move-in前一种月完毕，且须有足够的安全库存量。无共用管架处之独立配管管路support由承包商负责，support/clamps/screws/nuts材质应为SUS304之材质，承包商需通过计算後，提送原则图送审。施工规范预制作业於机台movein前三十天进行现场会勘，承包商依会勘成果绘制电脑施工图。movein前二十五天进行套图会议，确认各管线之高程及途径。高纯度管件需在Class1,000或更佳的环境内进行焊接，承包商需在现场提供临时之无尘作业环境，全部管线或管件之预制作业应在该无尘环境中进行。承包商需提供QC仪器厂商近来三个月内之校正报告，测试报告及校正资料需负责工程师核可方可使用。安装作业GN2、PN2、PO2、CDA等管线接至机台前，需装设隔阂阀、调压器、压力表及过滤器，具体安装数量及位置请参考”SP-2二次配管详图”(图号SP-231)批示办理。全部焊接机具须能提供应十组以上人员同时使用；QC机具须能提供应三组以上人员同时使用，QC机具应最少涉及氦测漏机、Particlecounter及露点侦测机。承包商进行管线支撑设计，应最少每1.2m即设计一组支撑，并於施作前，提送有关设计资料、图面，供业主审视核准；如遇现场需求，承包商得视实际状况增加支撑数量。切管作业：管径15A下列，能够用手动切断器；管径15A以上，需使用电动管车刀切断，不能使用普通锯弓。切管完後，管壁内外皆有毛边，须用刮刀铲除毛边。管件预作解决前(切管或组管)，须持续以GN2吹净。弯管作业：1/2”下列配管采弯管配管，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工；弯管需使用适宜之弯管器，不可使用手弯。焊接作业：承包商需於每日工程开始前於现场制作二份多种不同管径之原则焊道样品，以供将来现场TestPiece目视检察比对之原则。承包商需於下列时机，当场施作TestPiece，不可先行施作，并须纪录焊接参数，经QA/QC人员检查确认合格後，施工承商才干开始施工。每日焊接开始前及结束後。变化管径大小、钨棒更换、焊接程式变更後。焊接工作中断超出一小时或变更电源後。任何有缺点之焊接状况发生後。本次气体管线二次配工程均采用自动轨道氩焊(auto-orbitalTIG)技术施工。其它阐明依业主之厂务单位提出之需求作为施工根据。配合业主系统运转之需求施工，若发生赶工情形，须配合加班或增派人力，以如期竣工。管线冲净所需任何装备及各项安全必须之设施装备，均由承包商自行负责提供。Hookup时，机台已有定位位置但尚未定位时，气体配管承商需先配备高架地板下方，待Movein机台定位後即立即配管连上机台。需购置一台2瓶式的气瓶架供应He。该气瓶柜须含有auto-switch和auto-purge功效，根据气体压力、钢瓶重量及气体性质自动切换钢瓶，其采用两段式，第一段警告，第二段自动切换。控制盘面显示讯号包含气体供应状况、气瓶重量、压力显示、allalarm及runningstatus等功效；控制系统采用可程式化逻辑控制(PLC)，能自动及手动控制并能与气体侦测系统(GasDetectionSystem)相容；全部管线衔接应为自动焊接及VCRgasketCompressionSeals；气瓶架歧管阀件上应有GasketFilter及AfterFilter；得标商应於现场进行气瓶架之功效测试，现场测试其氦测漏率应≦1X10-9atm-cc/sec。承包商需提供气体站内SiH4房之防爆照明灯具、室内空调设施(房间尺寸10x3x4.5m，温度控制范畴15~25℃，气瓶柜排气量需与系统承包商确认)，及该房间之排气系统。厂商须於收到PO後一周内派人至SinoMOS(或陪伴ToolsRefurbish人员)清查Tools实际数量及Tiein点数量及尺寸，以利实际备料。验收原则外观检查：全部管路与否根据图面施工，并根据规范清晰贴上管路标示。目视检查焊道宽度及高度，焊道宽度应不得超出5倍管壁厚度。目视检查应不得有任何气孔、夹渣或龟裂。管线试压：承包商应协调厂务工程师，运用最靠近之PN2接点，配接临时性管线作为试压所需气源。实验压力应以设计压力之1.1倍或业主指定之压力实验之，实验时间需最少4小时。压力实验应使用圆盘式或电子式压力纪录器作成具体统计，同时现场应安装4”表面之压力批示计作为参考。纪录项目并应涉及管线之识及压力下降的情形，试压使用的流压，实验之日期，时间及双方实验人员，并送业主存查。实验前後之压力差，在通过温度校正後，误差应不得大於1%。试压後排放管内压力，并应保持吹净状态，或使管内保持0.5kg/cm2以上压力，同时须注意安全，避免缺氧。氦测漏检查：承包商需针对全部VMB、VMP、PH2及specialtygas管线进行氦测漏实验。氦测漏率应≦1x10-9atm-cc/sec。水分含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，并持续纪录水分含量变化，以观察其下降趋势及作为与否合格之根据。各类气体测试点及含量规定应依下表办理：气体种类应测试位置水分含量规定GN2每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦100ppbCDA每段支管末端。全部机台Tie-in点前。DP≦-70℃PN2、PO2每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦10ppb其它制程气体有机台Tie-in点前≦10ppbParticle含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，测试前应先以PN2执行cyclepurge最少30次。测试时间需最少10分钟，测试压力为60~90psig，测试流速为7m/s。各类气体测试点及含量规定应依下表办理：气体种类应测试位置Particle含量规定GN2、CDA每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦10pcs/scf(>0.1μm)PN2、PO2每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦1pcs/scf(>0.1μm)其它制程气体机台Tie-in点前≦1pcs/scf(>0.1μm)氧气含量测试：承包商应使用PN2作为purgegas，并持续纪录氧气含量变化，以观察其下降趋势及作为与否合格之根据。各类气体测试点及含量规定应依下表办理：气体种类应测试位置氧气含量规定GN2每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦100ppbPN2每段支管末端。全部机台Tie-in点前。≦10ppb其它制程气体机台Tie-in点前≦10ppb验收时需检附各项测试报告及竣工ISO图面。保固期限自验收合格後保固期限一年。

附件一 BulkGasTake-offListTAKE-OFFTAKE-OFFTool机台流量机台接机台接NOTENO.尺寸LPM头尺寸头型式GN55011/2"CV-etcher/QCLabCV-etcher553/8"DECAP(QC)-1/8"ETCHER(QC)-1/4"GN55021/2"9F19F1251/4"9F11203/8"9F11203/8"GN55031/2"9F29F21203/8"9F21203/8"GN55041/2"8F8F553/8"8F503/8"8F503/8"GN55051/2"WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)553/8"WJ-999(2)553/8"GN55061/2"SPAREGN55071/2"ND-6200ND-6200201/4"ND-6200201/4"GN55081/2"NOVELLUSNOVELLUS201/4"NOVELLUS201/4"GN55091/2"SPAREGN55101/2"SPAREGN55111/2"SPAREGN55121/2"SPAREGN55131/2"AMI8330CAMI8330C31/4"AMI8330C31/4"AMI8330C31/4"AMI8330C31/4"GN55141/2"SPAREGN55151/2"AMI8330DAMI8330D31/4"AMI8330D31/4"AMI8330D31/4"AMI8330D31/4"GN55161/2"AMI8330BAMI8330B31/4"AMI8330B31/4"AMI8330B31/4"AMI8330B31/4"GN55171/2"SPAREGN55181/2"LAM590A/PSC-4LAM590A101/2"LAM590A31/2"LAM590A31/4"LAM590A11/2"PSC-431/4"PSC-431/4"GN55191/2"LAM590C/BLAM590C101/2"LAM590C31/2"LAM590C31/4"LAM590C11/2"LAM590B101/2"LAM590B31/2"LAM590B31/4"LAM590B11/2"GN55201/2"LAM4420A/B/S6000LAM4420A103/8"LAM4420A103/8"LAM4420A31/4"LAM4420A31/4"LAM4420B103/8"LAM4420B103/8"LAM4420B31/4"LAM4420B31/4"S6000-1/4"GN55211/2"SPAREGN55221/2"LAM490C/BLAM490C101/2"LAM490C31/2"LAM490C31/4"LAM490C11/2"LAM490B101/2"LAM490B31/2"LAM490B31/4"LAM490B11/2"GN55231/2"LAM490ALAM490A101/2"LAM490A31/2"LAM490A31/4"LAM490A11/2"GN55241/2"Tegal900A/B(位置未定)Tegal900A31/4"Tegal900A31/4"Tegal900B31/4"Tegal900B31/4"GN55251/2"SPAREGN55261/2"SPAREGN55271/2"H2H2-3/8"H2-3/8"GN55281/2"HF1703/8"GN55291/2"SPAREGN55301/2"H1H1-3/8"H1-3/8"GN55311/2"H31703/8"GN55321/2"SPAREGN65011/2"7F7F553/8"7F1503/8"GN65021/2"7F7F1503/8"7F1503/8"GN65031/2"6F553/8"GN65041/2"SPAREGN65051/2"SPAREGN65061/2"SOG-273/8"GN65071/2"SPAREGN65081/2"SPAREGN65091/2"SPAREGN65101/2"AMI8310B/AAMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"GN65111/2"SPAREGN65121/2"MATRIX(1)/(2)MATRIX(1)31/2"MATRIX(2)31/2"GN65131/2"LAM4520LAM4520103/8"LAM4520103/8"LAM452031/4"LAM452031/4"GN65141/2"SPAREGN65151/2"SPAREGN65161/2"PSC-5PSC-531/4"PSC-531/4"GN65171/2"SPAREGN65181/2"PSC-3/1PSC-331/4"PSC-331/4"PSC-131/4"PSC-131/4"GN65191/2"SPAREGN65201/2"SPAREGN65211/2"SPAREGN65221/2"SPAREGN65231/2"SPAREGN65241/2"CDO1/2/3(位置未定)CDO1-1/4"CDO2-1/4"CDO3-1/4"GN65251/2"SPAREGN75011/2"SPAREGN75021/2"5F/4F5F553/8"4F553/8"GN75031/2"3F553/8"GN75041/2"SPAREGN75051/2"CR-19911/2"GN75061/2"CR-19911/2"GN75071/2"STEPPER14/COATER7/8STEPPER14201/4"COATER7/8-3/8"GN75081/2"CR-39911/2"GN75091/2"STEPPER13/8STEPPER13201/4"STEPPER8201/4"STEPPER7201/4"STEPPER3201/4"GN75101/2"SPAREGN75111/2"CR-39911/2"GN75121/2"STEPPER12/6/2STEPPER12201/4"STEPPER6201/4"STEPPER2201/4"GN75131/2"SPAREGN75141/2"STEPPER11/5/1STEPPER11201/4"STEPPER5201/4"STEPPER1201/4"GN75151/2"SPAREGN75161/2"OBM/M3OBM301/4"M31701/4"M31701/4"GN75171/2"UL-2/AN1UL-2-3/8"AN1453/8"GN75181/2"M2M21701/4"M21701/4"GN75191/2"AN2453/8"GN75201/2"M1M11701/4"M11701/4"GN85011/2"2F2F553/8"2F1503/8"2F1503/8"GN85021/2"1F1F553/8"1F1503/8"1F1503/8"GN85031/2"SPAREGN85041/2"SPAREGN85051/2"SPAREGN85061/2"SPAREGN85071/2"COATER4/5/10COATER4/5-3/8"COATER1011/4"GN85081/2"SPAREGN85091/2"COATER1/DEV12COATER1/2/3-3/8"DEVELOPER1211/4"STEPPER4201/4"GN85101/2"DEVLOPER7/1DEVELOPER7/8/9-3/8"DEVELOPER1/2/3-3/8"S8820-1/4"(位置未定)PN55011/2"CWCROOMCWC-OXIDE2831/4"CWC-POLY2831/4"CWC-METAL2831/4"PN55021/2"TUBECLEAN/SORTEROVEN203/8"OVEN203/8"CV-etcher553/8"SORTER8501/4"chemicalhood(QC)5661/4"SEM(S-4700,QC)-1/4"SEM(JSM-6700F,QC)-1/4"PN55031/2"9F-1/2/AG4100AG4100151/4"9F-1701/4"9F-2553/8"PN55041/2"8F/QS3008F553/8"QS3008501/4"PN55051/2"WJ-1/2WJ-1553/8"WJ-2553/8"PN55061/2"Localscrubber(位置未定)Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"PN55071/2"SPAREPN55081/2"ND-6200(2)/NOVELLUSND-6200(2)151/4"NOVELLUS151/4"PN55091/2"5F55F5553/8"5F5553/8"PN55101/2"SPAREPN55111/2"SPAREPN55121/2"SRD/EKC-N/OVENOVEN31/4"SRD1703/8"SRD1703/8"EKC-N2851/4"PN55131/2"SRD/EKC-C/OVENOVEN31/4"SRD1703/8"SRD1703/8"EKC-C2851/4"PN55141/2"AMI8330CAMI8330C101/4"AMI8330C2003/8"AMI8330C31/4"AMI8330C11/4"AMI8330C0.11/4"PN55151/2"AMI8330DAMI8330D101/4"AMI8330D2003/8"AMI8330D31/4"AMI8330D11/4"AMI8330D0.11/4"PN55161/2"AMI8330BAMI8330B101/4"AMI8330B2003/8"AMI8330B31/4"AMI8330B11/4"AMI8330B0.11/4"PN55171/2"SPAREPN55181/2"LAM590A/PSC-4LAM590A0.51/2"PSC-431/4"PSC-431/4"PN55191/2"LAM590C/BLAM590C0.51/2"LAM590B0.51/2"PN55201/2"LAM4420A/BLAM4420A101/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420B101/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/2"PN55211/2"SPAREPN55221/2"LAM490C/OVENLAM490C0.51/2"OVEN31/4"PN55231/2"LAM490A/BLAM490A0.51/2"LAM490B0.51/2"PN55241/2"SPAREPN55251/2"BOE50:1/H2O2/SRD/OVENBOE50:15671/4"H2O25671/4"SRD5671/4"OVEN31/4"PN55261/2"SPAREPN55271/2"SPAREPN55281/2"SPAREPN55291/2"SPAREPN65011/2"SPAREPN65021/2"6F/7F6F553/8"7F553/8"5F553/8"PN65031/2"SPAREPN65041/2"SPAREPN65053/4"FSI-63123/4"PN65063/4"FSI-53123/4"PN65071/2"SPAREPN65081/2"SRD-CR1SRD-CR11703/8"SRD-CR11703/8"PN65091/2"LAM8310BLAM8310B101/4"LAM8310B2003/8"LAM8310B31/4"LAM8310B11/4"PN65101/2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SpecialtyGasVMBListCATEGORYNO.GASVMBVMPSERVICETOOLNO./CONNECTORSIZE&TYPETypeNo.LocationTypeNo.Location12345678PYROPHORIC/

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