半导体设备行业市场前景及投资研究报告：短期扰动国产化大趋势

短期扰动不改国产化大趋势——半导体设备行业系列跟踪报告之二2023年02月15日证券研究报告核心观点1目

录估值处于底部区间，22年业绩预告表现优异景气度回升静待时日，国产化确定性增强美国出口

影响较大，有待进一步消化23H2半导体行业景气度有望回升投资建议风险分析21.1、半导体设备行业估值处于底部区间

行业近期受到美国出口

估值修复需静待美国出口、晶圆厂招标延迟、景气度下滑等影响，估值PE≈60x处于历史底部区间；利空消化以及行业景气度回升。资料：、光大证券研究所整理；股价截止时间；31.2、半导体设备2022年度业绩预告表现优异

尽管受到疫情、美国出口2023年有望维持快速增长。以及景气度下行等影响，2022年半导体设备行业除光力科技外业绩预告整体表现优异，营业收入22Q2

22Q32022/3/31

2022/6/30

2022/9/30

2022/12/31

2022/3/31

2022/6/30归母净利润22Q2

22Q3营业收入

归母净利润

扣非归母净利润PSPE营业收入2022归母净利润2022扣非归母净利润排序

证券代码半导体设备证券简称22Q122Q422Q122Q42022202220222022

202220222022/9/30

2022/12/31上限下限上限下限上限下限123456789002371.SZ北方华创YoY（%）QoQ（%）21.3650.0%-39.2%9.4957.3%-8.3%1.0886.2%-72.0%

286.6%3.5428.5%33.0851.4%54.9%10.2339.1%7.7%45.6878.1%38.1%10.7145.9%4.8%45.3829.3%-0.7%16.9763.9%58.4%6.9380.6%48.1%8.2254.1%-6.9%4.6364.6%18.1%4.792.06183.2%-50.7%1.17-14.9%-75.0%-0.125.48130.9%165.5%3.5135.4%199.2%1.209.31167.7%69.9%3.25123.9%-7.3%1.2965.9%7.8%2.04245.9%-12.1%0.74308.6%99.0%1.57102.5%66.4%1.14218.5%14658.9%0.806.6458.4%-28.7%3.47-26.1%6.7%145.5023.5021.5091419141416-565986599555635781156.00

135.00

26.00

21.00

24.00

19.00688012.SH

中微公司YoY（%）47.4016.8528.0013.6016.13-11.403.656.601.934.772.754.850.809.001.756.801.353.711.154.200.5947.4017.2029.0014.2016.95-47.40

12.00

10.80

9.408.601.606.201.203.421.053.850.54QoQ（%）688072.SH

拓荆科技-UYoY（%）4.16658.4%4.681.2816.504.007.202.105.172.855.200.943.306.001.754.372.654.500.651.907.401.504.001.254.550.6479.2%12.7%8.8390.9%19.0%3.9299.9%22.4%4.1666.3%12.8%7.1550.1%42.6%5.6542.9%-13.2%1.6515.0%-212.9%

-1110.3%-1336.5%1111.7%-1.4%2.1986.5%7.3%QoQ（%）688082.SH

盛美上海YoY（%）7.42111.9%0.04-88.6%-96.3%0.32398.3%33.6%0.91121.6%82.1%0.28-56.1%187.8%0.712.32346.9%5287.9%0.3729.5%14.1%0.94221.6%3.5%0.01-99.1%-97.3%1.74285.5%144.8%0.2427.00QoQ（%）-33.7%

109.7%688037.SH芯源微YoY（%）QoQ（%）1.8462.0%-34.7%3.48192.9%

111.2%33.5%6.041.5%-5.8%5.3882.4%21.5%1.203.2135.0%74.5%3.690.4913.00103.9%-32.8%1.34167.7%-14.7%1.311230.8%14.8%1.6079.8%98.5%0.15688120.SH

华海清科YoY（%）15.3083.5%15.1%-QoQ（%）5.9%5.01-28.0%-17.0%6.5172.0%21.1%1.49300567.SZ300604.SZ300480.SZ精测电子YoY（%）QoQ（%）长川科技YoY（%）QoQ（%）光力科技--------60.1%-19.9%0.20101.1%-53.8%0.20---YoY（%）QoQ（%）165.7%-32.4%-4.8%23.7%9.3%11.4%155.3%-46.9%-52.4%19.8%-7.1%-17.8%-59.2%-21.9%资料：、光大证券研究所整理；股价时间为；营收和净利润值由

年营收及净利润预告中值减去前三季度历史值得来；4目

录估值处于底部区间，22年业绩预告表现优异景气度回升静待时日，国产化确定性增强美国出口

影响较大，有待进一步消化23H2半导体行业景气度有望回升投资建议风险分析52.1、2023年全球半导体设备销售额同比预计有所下滑

根据SEMI最新预测数据（2022年12月），原设备制造商的半导体制造设备全球总销售额预计将在2022年创下1085亿美元的新高，连续三年创纪录，较2021创下的1025亿美元行业纪录增长5.9%。预计2023年全球半导体制造设备市场总额将收缩至912亿美元，2024年将在前端和后端市场的推动下反弹。62.2、半导体设备景气度回升尚需时日

2022年12月：中国半导体月度销售额为126.3亿美元，同比下滑26.4%；中国半导体器件用机器及装置进口月度累计值为1241.8亿元，同比下滑9.3%，行业景气度回升尚需时日。72.3、中国半导体设备国产化确定性不断增强

2021年中国半导体设备销售额全球占比仅2%，是国产化的核心领域；

目前大力提高中国大陆半导体设备供应商的竞争力，对保障中国半导体产业链安全具有显著的溢出效益，预计国产化核心逻辑将不断强化，维持中长期重点推荐。8目

录估值处于底部区间，22年业绩预告表现优异景气度回升静待时日，国产化确定性增强美国出口

影响较大，有待进一步消化23H2半导体行业景气度有望回升投资建议风险分析93.1、美国出口

新规梳理

2022年10月7日，美国商务部产业安全局（简称“BIS”）宣布了一系列在《出口管理条例》下针对中国的出口新规，其中包含了多个出口分类编码（简称“ECCN编码”）的新增和调整、新增3个外国直接产品规则、新增2个最终用户和最终用途限制，以及更新了31个未经核实清单（简称“UVL清单”）并新增了UVL清单转实体清单的机制。

主要针对以下三类对象：1.

先进计算芯片：添加了包括3A090、4A090两个编码，分别涵盖了先进计算芯片和超级计算机产品。对于3A090“先进计算芯片”的定义或范围是同时满足：基础计算单元算力之和超过4800TOPS，I/O传输接口的传输速率大于600GB/s；对于4A090“超级计算机”的定义则是满足：一个计算“系统”，在41,600立方英尺或更小的范围内，具有100或以上双精度（64位）每秒千万亿次浮点运算或200或以上单精度（32位）每秒千万亿次浮点运算的集体最大理论计算能力。2.

先进制程设备：禁止满足以下条件的先进制程设备、零部件、元器件、软件技术的出口：用于生产16/14nm以下制程的非平面晶体管结构（即FinFET和GAAFET）逻辑芯片、生产128层或以上NAND以及生产18nm以下制程的DRAM。3.

从事先进芯片和先进制程的美国实体：“美国实体”的定义相对比较模糊和宽泛，既包括美国公民、美国绿卡持有者，也包括美国法人（及其分支机构）、甚至任何地理位置在美国的主体，既包括直接的销售、转运行为，也包括协助促成销售、转运，还包括为中国境内相关公司提供服务。103.2、影响梳理-逻辑芯片

28nm以下先进制程扩产受限，未来扩产基本集中在28nm及以上的成熟制程，目前暂时影响不大。中芯京城中芯深圳中芯临港中芯天津北京深圳上海天津2024年达10万片/月（一期），二期将根据实际需求适时启动2022年扩产至4万片/月，预计2022年开始生产12英寸

28nm及以上12英寸

28nm及以上12英寸

28nm及以上12英寸

28-180nm及以上2022-20252022-20232023-20252024-2026计划扩产10万片/月，2022年1月4日正式启计划扩产10万片/月，2022年8月26日正式启设设113.3、长江存储影响梳理-3D

NAND芯片

目前3D

NAND主流集中在128L左右；

限制128L及以上和实体清单将影响未来二期的扩产计划；123.4、长鑫存储影响梳理-DRAM芯片

目前长鑫技术节点集中在19-17nm，技术节点与头部相差两代以上；

限制18nm将影响后续二期18nm以下的扩产计划；133.5、美国出口

新规升级梳理

据《环球时报》援引媒体消息称，美国、荷兰和日本三国的国家安全事务官员2023年1月27日在白宫结束高级别谈判，就限制向中国出口一些先进的芯片制造设备达成协议，将把美国于2022年10月采取的一些出口措施扩大到荷兰阿斯麦、日本东京电子和尼康等公司，限制向中国出口一些先进的芯片制造设备，其中将包括但不限于先进制程的光刻系统。目前并没有对外公布达成协议的计划，由于荷兰和日本仍需敲定各自的最终法律安排，实际落实计划可能需要数月时间。

影响：DUV

ArFi主要用于45-28nm的制程，但工艺改良后可以做到14-7nm，而按照美国的要求，一旦进一步限制荷兰和日本两国的先进光刻系统，ArFi光刻机将会受到限制，进而影响到45-28nm的扩产进程。目前预期除EUV光刻机之外，部分先进ArFi光刻机会被限制出口，而剩余的光刻机类型将会符合美国对28nm以下先进制程的限制，进而不会影响到目前28nm及以上的扩产计划，后续还需要持续关注协议的实施情况。(nm)436(nm)800-250800-250180-130130-6545-22g-linei-lineKrF365248ArF193EUV13.522-714目

录估值处于底部区间，22年业绩预告表现优异景气度回升静待时日，国产化确定性增强美国出口

影响较大，有待进一步消化23H2半导体行业景气度有望回升投资建议风险分析154.1、台积电22Q4财报及业绩指引

台积电22Q4营收处于指引下限，毛利率超指引上限，高性能计算和汽车电子环比均增长10%。台积电22Q4营业收入为199.3亿美元，指引在199-207亿美元之间，主要由于终端市场需求疲软和客户库存调整，处于指引下限；毛利率为62.2%，指引在59.5-61.5%之间，超过指引上限，主要是由于更有利的汇率和成本改善；收入环比增速排序：其他（+28%）、高性能计算（+10%）、汽车电子（+10%）、智能手机（-4%）、物联网（-11%）和DCE（-23%）。

23Q1台积电营收指引环比减少12.2-16.2%，预计23年资本支出320-360亿美元。台积电23Q1营收指引预计在167-175亿美元之间，环比减少12.2-16.2%，中值171亿美元，环比减少14.2%，同比减少2.7%；毛利率指引在53.5-55.5%之间，中值54.5%，环比减少7.7pct；整体业务将受到产能利用率下降、海外N3晶圆厂扩张和通胀的影响。22年的资本支出为362.9亿美元，预计23年在320-360亿美元之间。

预计半导体周期将在23H1达到底部，23H2开始复苏。台积电观察到消费电子、PC、数据中心等需求不足，预计半导体周期将在23H1达到底部，23H2开始复苏，23年台积电收入同比将小幅增长。164.2、22Q4财报及业绩指引

22Q4营收符合预期，产能利用率下滑到79.5%，中芯京城量产时间推迟1-2季度。22Q4营收16.21亿美元，环比-15.0%，原指引-(13~15)%，毛利率32.0%，原指引30~32%

，环比下降6.9pct，符合预期；22Q4产能利用率下滑至79.5%，22年全年产能利用率约92%。中芯深圳进入投产阶段，中芯京城进入试产阶段，中芯临港完成主体结构封顶，中芯西青开始土建，中芯京城因瓶颈设备交付延迟

，量产时间预计推迟一到两个季度。

23年预计营收同比下降低十位数，资本开支与22年持平约63.5亿美元。23Q1营收预计环比下降10~12%，毛利率区间为19~21%，中值环比下降12.0pct。23年全年营收预计同比下滑10%以上，毛利率预计在20%左右；23年折旧同比增长超两成，资本开支与22年相比大致持平（22年资本开支63.5亿美元），到年底月产能增量与22年相近（22年新增产能9.3万片）。

23H1行业周期尚在底部，下半年客户信心将回升。展望23年，智能手机和消费电子行业回暖需要时间，工业领域相对稳健，汽车行业电子增量需求均可以抵消部分手机和消费电子疲弱的负面影响；23H1行业周期尚在底部，下半年虽可见度依然不高，但已感受到客户信心些许回升，新产品流片的储备相对饱满。174.3、ASML

22Q4财报及业绩指引

ASML

22Q4营收符合预期，毛利率超指引，设备订单仍供不应求。ASML

22Q4实现营收64.3亿欧元，原指引61-66亿欧元，同比+29.0%，环比+11.3%；毛利率51.5%，原指引约49%，同比-0.3pct，环比-2.7pct；22Q4新签订单63亿欧元，其中EUV新签订单34亿欧元；目前在手订单404亿欧元，需求远超公司的供应能力。

ASML预计23Q1营收环比持平，23年全年营收同比增长超25%。ASML预计23Q1营收在61-65亿欧元之间，与22Q4基本持平，其中光刻机及安装服务收入约15亿欧元；毛利率在49-50%之间。预计2023年全年营业收入将同比增长超过25%，毛利率同比略有提升。

预计23H1半导体产业链的库存将回到平衡状态，23H2将回暖。ASML观察到消费电子（个人电脑、手机等）需求依旧疲软，数据中心需求有所松动，汽车电子和工业电子需求持续强劲；客户预期23H1半导体产业链的库存将回到供需平衡状态，23H2半导体行业将会回暖。184.4、LAM

22Q4财报及业绩指引

LAM

22Q4营收和毛利率符合预期。LAM

22Q4实现营收52.78亿美元，同比+24.9%，环比+4%，原指引48-54亿美元；毛利率45.1%，同比-1.7pcts，环比-0.9pct，原指引43.5-45.5%，符合预期。

LAM

23Q1营收环比大幅下滑，预计23年晶圆制造设备销售收入同比下滑约22.2%。23Q1营收环比大幅下滑，LAM预计23Q1营收35-41亿美元，环比下滑22.3-33.7%，毛利率43-45%；预计23Q2裁员约1300人，占公司整体员工数的7%左右。22年全球晶圆制造设备销售收入约900亿美元，预计2023年将下降到700亿美元左右，同比下滑约22.2%，主要系NAND和DRAM客户减少资本支出以及降低产能利用率为了使库存快速达到供需平衡状态，外加美国对中国大陆出口的影响。194.5、KLA

22Q4财报及业绩指引

KLA

22Q4营收略超预期，毛利率略低预期，营收增速大大超过整个WFE市场的增速。KLA

22Q4实现营收29.8亿美元，同比+27%，环比+10%，原指引26.5-29.5亿美元，略超指引上限；毛利率为61%，原指引61.5-63.5%，略低于预期，主要由非现金库存储备增加的影响；22年总营收增速（+28%）大大超过了整个晶圆厂制造设备市场的个位数增速（+8%）。

KLA预计23年全球晶圆厂制造设备市场跌幅达20%。KLA

23Q1预计营收22-25亿美元，预计毛利率60.5-62.5%；公司预计23年晶圆厂制造设备市场销售额相比22年的940-950亿美元下降20%，预计存储芯片类的设备投资跌幅将超过整体市场跌幅，其中DRAM芯片的跌幅将超过NAND芯片，消费领域需求低迷使得存储客户通过减少投资以及降低产能利用率来达到库存的供需平衡状态；预计逻辑芯片跌幅小于整体市场的跌幅，主要系先进制程投资跌幅较小。20目

录估值处于底部区间，22年业绩预告表现优异景气度回升静待时日，国产化确定性增强美国出口

影响较大，有待进一步消化23H2半导体行业景气度有望回升投资建议风险分析215、投资建议225.1、重点半导体设备公司估值表总市值（亿元）营业收入（亿元）归母净利润（亿元）PEPS排序证券代码证券简称20A21A22E23E24E20A5.3721A22E23E24E20A

21A

22E

23E

24E

20A

21A

22E

23E

24E半导体设备12002371.SZYoY（%）688012.SHYoY（%）688072.SH

拓荆科技-UYoY（%）北方华创中微公司13136743161843871252641791752772731546560.5696.8359.9%31.0836.7%7.58145.8050.6%46.0648.2%15.62106.0%13.3260.7%27.6970.8%29.6642.3%16.86109.4%14.8168.3%28.8419.7%27.7983.9%11.1326.7%24.1919.7%7.32195.8834.3%61.6633.9%23.9253.2%19.4446.0%38.0537.4%40.2335.6%26.6358.0%20.2836.9%36.8427.7%40.0043.9%15.0034.8%32.4634.2%10.7046.2%10.3744.4%-250.7928.0%80.5830.7%33.0038.0%26.2835.2%50.1731.9%50.5425.6%35.0331.6%25.0923.7%46.7326.9%52.0230.1%19.9633.1%41.4427.7%14.7237.6%14.2036.9%-10.77100.7%10.11105.5%0.6821.0995.7%11.3812.6%3.0528.6735.9%14.5427.7%4.3138.6234.7%18.5227.4%6.2845.7%3.4843.1%9.7930.8%6.8028.3%8.9933.3%7.1718.7%4.9833.5%11.4034.7%9.5633.5%7.5634.2%3.1851.4%3.0640.2%--2.8142.2%245137122

62

46

34

22

14975822.734.363.2910.0713.973.869.3120.778.043.9716.773.113.103.538.544.92-0.110.491.972.610.983.152.430.851.992.650.590.710.930.4467

59

46

36

30

22

15

113-2748

461

104

73

50

72

42

20

13

1074.0%8.29-696.1%

345.2%41.4%2.4338.1%7.484688037.SHYoY（%）688082.SHYoY（%）603690.SHYoY（%）688120.SHYoY（%）600641.SHYoY（%）300567.SZYoY（%）300604.SZYoY（%）688200.SHYoY（%）688001.SHYoY（%）300480.SZYoY（%）688630.SHYoY（%）301312.SZYoY（%）688025.SHYoY（%）芯源微盛美上海至纯科技华海清科万业企业精测电子长川科技华峰测控华兴源创光力科技芯碁微装智立方0.7758.4%2.661.76127.6%5.9737619748238

104

76

53

56

22

14145

65

52

40

38

24

14

1044

34

24

18133

61