cf-彩色滤光片的研究开发和生产-ln课件

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彩色滤光片的研究开发和生产1彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片显示器彩色手机笔记本电脑可视电话PDA监控面板电子字典游戏机2偏光片彩色滤光片定向层液晶ITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用基板玻璃基板玻璃3偏光片彩色滤光片定向层液晶TFTITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在TFT显示器中的应用基板玻璃基板玻璃4深圳莱宝CF生产线2002年5月设备到厂，开始安装调试2002年9月投入试生产月生产能力：3万片填补了国内彩色滤光片生产的空白5CF

的研究开发和生产前言一、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片生产线简介三、试验和研究开发工作

四、彩色滤光片的品质性能五、彩色滤光片设计要点6CF

的研究开发和生产一、CF

的构成透过型----TRANSMISSIVE

TYPE反射型----TRANSFLECTIVE

TYPE（REFLECTIVE

TYPE）7透过型CF的构造红色光绿色光

蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜

SiO2

膜白色光白色光白色光玻

璃

基

板8反射型CF的构造红色光绿色光

蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜反射膜

开口白色光白色光白色光玻

璃

基

板9CF

的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介1、CF

制做方法2、CF

生产流程10彩色滤光片制做方法电着法印刷法光刻型非光刻型喷墨法•颜料分散法彩胶法11颜料分散型光刻胶CF的制做光刻胶玻璃滴胶旋转涂胶紫外线铬掩膜板图形曝光图形显像12CF

生产流程1000级净化O/C

线B

线G

线R

线BK

线后烘烤现

像曝

光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现

像曝

光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现

像曝

光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现

像曝

光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤预烘烤旋转涂胶清洗13CF

的研究开发和生产三、试验和研究开发工作1、工艺试验与结果2、研发工作14BK

膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点：生产流程简单成本低

反射率低污染小膜厚0.8—1.5μm时，其OD值为1.8—3.5以上最小宽度：10μm15BM

膜厚----OD值16BK

膜的样式BM(Black

matrix)BS(Black

Stripe)BL(Black

Less)17R、G、B膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性：色度（透过型和反射型）透光率膜厚尺寸精度18膜厚----色度0.60.50.4y

0.30.20.1000.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7x19膜厚----后烘烤20膜厚----转速21膜厚均匀性膜厚偏差：±1.83%22曝光能量----线宽MASK

线宽：70um23现像时间、温度----线宽MASK线宽：70um24图形对位控制一、MASK

的制做精度和套合精度二、采用先进的图象处理和对位技术，提高对位精度三、研究设计了曝光机精密温控装置，稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度25O/C

膜层一、材料：丙烯系树脂二、膜厚：1—2um三、功能1、保护RGB色层2、表面平坦化微观波纹度：无O/C层，0.860—0.1225um有O/C层，0.677—0.963um26ITO

膜层•镀膜工艺：RF+DC•镀膜温度：小于230℃电阻率：1.8x10-4Ω.cm面电阻：7--15Ω透过率：大于80%27ITO膜电阻率----RF功率分量28CF

的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能彩色滤光片产品主要性能指标29彩色滤光片产品主要性能指标（一）项

目性能指标1.基片材料钠钙玻璃，抛光，镀SiO2膜长度300、400、420mm，14、16”宽度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al膜厚1000

反射率≥90%开口精度±3μm30彩色滤光片产品主要性能指标（二）项

目性能指标3.BM材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0μmOD值≥1.7（

3.0）图形精度±3μm4.RGB材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0μm图形精度±3μm31彩色滤光片产品主要性能指标（三）项

目性能指标5.O/C材料丙烯系树脂膜厚1.4μm透过率≥80%

(550nm)像素间高度差≤0.15μm6.ITO膜厚2000

电阻Rs≤10

Ω∕□透过率≥80%

(550nm)32彩色滤光片产品主要性能指标（四）项

目性能指标7.色度透射型透射型x,yR0.585,0.3450.406,0.303G0.305,0.5200.312,0.357B0.140,0.1700.224,0.263YR≥15≥15G≥45≥45B≥40≥4033彩色滤光片产品主要性能指标（五）项

目性能指标8.可靠性温度稳定性250℃,1小时无膨胀、无开裂、无损伤透过率变化率≤10%△E*ab≤5耐化学性能5%NaOH,50℃,20分钟NMP,25℃,30分钟丙酮，25℃,30分钟O/C

附着性3M,

No.610胶带无损伤ITO稳定性250℃,1小时电阻变化率≤±10%34CF

的研究开发和生产五、彩色滤光片设计要点1、客户提出的具体CF图形排列和尺寸2、BK膜OD值和厚度3、RGB膜色度和厚度4、