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3内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC）工艺规范本文件规定了内燃机摇臂滚轮销、活塞销类金刚石涂层（DLC）的术语和定义、涂GB/T3163-2007真空技术GB/T25898-2010仪器化纳米压入试验方法薄膜的压入硬度和弹性GB/T31563-2015金属覆盖JB/T7707-1995离子镀硬膜厚度试验方JB/T8945-2010真空溅射ISO22462:2020金属和其他无机涂层类金刚石涂层diamond-like类金刚石涂层是含有大量sp3键亚稳态的含氢非晶碳hydrogenatedamorphou离子清洗是利用等离子体对基片表面进行轰击44真空镀膜设备4.2真空镀膜机4.3炉架4.4水冷设备4.5供气系统5.1涂层结构为打底层金属和MeC或者打底层金属与a-C:H:Me的复合过渡层；过渡层2为a-C:H:Me，其中C含量由内向5.2涂层厚度55.3结合强度5.4涂层硬度5.5基片硬度变化5.6残余磁性5.7粗糙度5.8摩擦系数5.9外观产品工作面应无色差、脱膜、凹陷、锈蚀、水印、脏污、烧伤、凸起、缺口、毛刺、涂层过程中放电异常产生的烧蚀痕迹，或磕碰、锈蚀等其他原因导致的损伤应符66.1.2检查来料数量、外观是否存喷淋冲洗→超声浸泡清洗→漂洗→超声精细清洗→漂洗→漂洗涂层前炉内真空度低于5mPa，DLC涂层过程中反应压为0.37涂层过程分为金属打底层沉积、过渡层1沉积、过渡层2沉积和a-C:H层沉积，其中打底层和过渡层128345），硬度按照GB/T25898-2010规定测量97.9.4

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