薄膜淀积和外延技术课件

微电子工艺学MicroelectronicProcessing第五章薄膜淀积与外延技术张道礼教授Email:zhang-daoli163Voice:87542894微电子工艺学15.1概述采用一定方法,使处于某种状态的一种或几种物质(原材料)的基团以物理或化学方式附着于衬底材料表面,在衬底材料表面形成一层新的物质,这层新物质就是薄膜薄膜分类超薄膜:~10nm薄膜:5onm-10pm单晶薄膜典型薄膜:50m-1{m·多晶薄膜厚膜:-10m--100m·无序薄膜5.1概述25.1概述(1)物态固态(thin-solid-flm)(2)结晶态非晶态:原子排列短程有序、长程无序。晶态单品:外延生长,在单晶基底上同质和异质外延多晶:在一衬底上生长由许多取向相异单晶集合体组成(3)化学角度∫有机薄膜无机薄膜5.1概述35.1概述「金属薄膜(4)组成非金属薄膜硬质薄膜薄膜的一个重要参数声学薄膜(5)物性热学薄膜口厚度,决定薄膜性能、质量金属导电薄膜半导体薄膜口通常,膜厚<数十um超导薄膜一般在1um以下。介电薄膜磁阻薄膜光学薄膜5.1概述45.1概述两种常见的薄膜结构单层膜Substrate周期结构多层膜Substrate5.1概述5薄膜淀积和外延技术课件6薄膜淀积和外延技术课件7薄膜淀积和外延技术课件8薄膜淀积和外延技术课件9薄膜淀积和外延技术课件10薄膜淀积和外延技术课件11薄膜淀积和外延技术课件12薄膜淀积和外延技术课件13薄膜淀积和外延技术课件14薄膜淀积和外延技术课件15薄膜淀积和外延技术课件16薄膜淀积和外延技术课件17薄膜淀积和外延技术课件18薄膜淀积和外延技术课件19薄膜淀积和外延技术课件20薄膜淀积和外延技术课件21薄膜淀积和外延技术课件22薄膜淀积和外延技术课件23薄膜淀积和外延技术课件24薄膜淀积和外延技术课件25薄膜淀积和外延技术课件26薄膜淀积和外延技术课件27薄膜淀积和外延技术课件28薄膜淀积和外延技术课件29薄膜淀积和外延技术课件30薄膜淀积和外延技术课件31薄膜淀积和外延技术课件32薄膜淀积和外延技术课件33薄膜淀积和外延技术课件34薄膜淀积和外延技术课件35薄膜淀积和外延技术课件36薄膜淀积和外延技术课件37薄膜淀积和外延技术课件38薄膜淀积和外延技术课件39薄膜淀积和外延技术课件40薄膜淀积和外延技术课件41薄膜淀积和外延技术课件42薄膜淀积和外延技术课件43薄膜淀积和外延技术课件44薄膜淀积和外延技术课件45薄膜淀积和外延技术课件46薄膜淀积和外延技术课件47薄膜淀积和外延技术课件48薄膜淀积和外延技术课件49薄膜淀积和外延技术课件50薄膜淀积和外延技术课件51薄膜淀积和外延技术课件52薄膜淀积和外延技术课件53薄膜淀积和外延技术课件54薄膜淀积和外延技术课件55薄膜淀积和外延技术课件56薄膜淀积和外延技术课件57薄膜淀积和外延技术课件58薄膜淀积和外延技术课件59薄膜淀积和外延技术课件60薄膜淀积和外延技术课件61薄膜淀积和外延技术课件62薄膜淀积和外延技术课件63薄膜淀积和外延技术课件64薄膜淀积和外延技术课件65薄膜淀积和外延技术课件66薄膜淀积和外延技术课件67薄膜淀积和外延技术课件68薄膜淀积和外延技术课件69薄膜淀积和外延技术课件70薄膜淀积和外延技术课件71薄膜淀积和外延技术课件72薄膜淀积和外延技术课件73薄膜淀积和外延技术课件74薄膜淀积和外延技术课件75薄膜淀积和外延技术课件76薄膜淀积和外延技术课件77薄膜淀积和外延技术课件78薄膜淀积和外延技术课件79薄膜淀积和外延技术课件80薄膜淀积和外延技术课件81薄膜淀积和外延技术课件82薄膜淀积和外延技术课件83薄膜淀积和外延技术课件84薄膜淀积和外延技术课件85薄膜淀积和外延技术课件86薄膜淀积和外延技术课件87薄膜淀积和外延技术课件88薄膜淀积和外延技术课件89薄膜淀积和外延技术课件90薄膜淀积和外延技术课件91薄膜淀积和外延技术课件92薄膜淀积和外延技术课件93薄膜淀积和外延技术课件94薄膜淀积和外延技术课件95薄膜淀积和外延技术课件96薄膜淀积和外延技术课件97薄膜淀积和外延技术课件98薄膜淀积和外延技术课件99薄膜淀积和外延技术课件100薄膜淀积和外延技术课件101薄膜淀积和外延技术课件102薄膜淀积和外延技术课件103薄膜淀积和外延技术课件104薄膜淀积和外延技术课件105薄膜淀积和外延技术课件106薄膜淀积和外延技术课件107薄膜淀积和外延技术课件108薄膜淀积和外延技术课件109薄膜淀积和外延技术课件110薄膜淀积和外延技术课件111薄膜淀积和外延技术课件112薄膜淀积和外延技术课件113薄膜淀积和外延技术课件114薄膜淀积和外延技术课件115薄膜淀积和外延技术课件116薄膜淀积和外延技术课件117薄膜淀积和外延技术课件118薄膜淀积和外延技术课件119薄膜淀积和外延技术课件120薄膜淀积和外延技术课件121薄膜淀积和外延技术课件122薄膜淀积和外延技术课件123薄膜淀积和外延技术课件124薄膜淀积和外延技术课件125薄膜淀积和外延技术课件126薄膜淀积和外延技术课件127薄膜淀积和外延技术课件128薄膜淀积和外延技术课件129薄膜淀积和外延技术课件130薄膜淀积和外延技术课件131薄膜淀积和外延技术课件132薄膜淀积和外延技术课件133薄膜淀积和外延技术课件134薄膜淀积和外延技术课件135薄膜淀积和外延技术课件136薄膜淀积和外延技术课件137薄膜淀积和外延技术课件138薄膜淀积和外延技术课件139薄膜淀积和外延技术课件140薄膜淀积和外延技术课件141薄膜淀积和外延技术课件142薄膜淀积和外延技术课件143薄膜淀积和外延技术课件144薄膜