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文档简介

集成电路工艺技术

系列讲座集成电路工艺技术讲座

第一讲集成电路工艺技术引言和

硅衬底材料引霸言集梯成谨电高路牢工却艺株技笔术撞发织展肆趋纷势器闷件握等源比手例酒缩理小宜原闸理平盐面世工琴艺单膨项嘱工茎艺工俊艺凭整论合集便成圈电啄路死制接造掩环忽境讲气座能安背排集榨成识电堵路应技面术俯发鸦展庙趋协势特弱征木线友宽精不光断混变首细失、揪集规成桂度敞不搞断拿提吓高摩秃尔玻定推律拌:烛芯恩片微上燥晶冠体碗管宋每复一赴年航半败翻拒一摘番芯驼片兽和沃硅迎片岁面单积售不键断替增甩大数散字挽电须路艇速章度厅不器断换提族高结榜构川复寒杂摔化喊、寨功屿能熟多响元恭化芯较片论价勒格匆不彩断雪降鸣低I个C秒技习术燥发虹展厕趋轻势常(咐1北)特吵征而线蝴宽亚随耀年欠代信缩挪小I鸡C肌技弹术餐发键展页趋洽势筝(流1拴)特陡征呀线刑宽便随置年珠代拆缩叹小19881992199519971999200120022005CD(um)1.00.50.350.250.180.150.130.10I愉C避技客术寇发建展疲趋黎势赶(辰1款)集御成克度影不废断所提唯高你-逝摩清尔威定锻律I械C词技挖术攀发忽展缓趋侵势宝(津2殊)硅临片叫大疤直贸径菜化直径mm(inch)75(3)100(4)125(5)150(6)200(8)300(12)引入年代197219751977198419901997I弓C穷技症术街发烟展渡趋伐势闸(啦3猛)C睁P套U茅运双算泰能闲力年代CPU型号运算能力(MIPS)19822861198838681991486201995Pentium1001996Pentium-22501998Pentium-38002001Pentium-42000I筐C朝技省术松发骗展汁趋真势螺(筒4织)结炸构绕复沟杂汇化草功竭能栗多乘元田化B日i教p笋o鞠l觉a钞rC叙M下O容SB变i晒C倚M笋O应SD辛M朵O洁SB集C款DI麻C蚂技际术今发读展币趋点势洒(袄5相)芯孔片皂价银格流不坊断引降喝低M页O全S范F磨E赏T下等肚比怎例加缩骨小基级本典长传沟绍道埋M解O屯S钱F她E子T岭器脚件弟特酿性短枯沟夏道瓶效圣应*缝开围启倡电孙压搏V阅t傻h熊下粥降*乞漏游极狮导刚致雅势锋垒绢下勉降*基源毯漏撑穿起通*积亚咐开欧启段电冬流死增肌加基壳本申长抽沟犬道绝M莫O柜S朽F膨E钥T凡器币件VDPn缓+n烧+Q纱n价(沉y侮)拔=战-椅[缴V林g岂-宿V琴(禁y录)签-渠2

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