CMOS集成电路工艺流程

第三章

CMOS集成电路工艺流程白雪飞中国科学技术大学电子科学与技术系多晶硅栅CMOS工艺流程可用器件工艺扩展提纲2多睬晶愤硅婚栅C答M来O抚S工旺艺拉流较程初除始蚀材俩料重统掺签杂P型(笑1棋0钻0驾)衬扮底窜硅纷，P回+减小暴衬栏底免电怖阻较，晓提啄高粗抗C畅M冷O非S闩劲锁床效昆应听能糟力外延决生弊长在邻衬逢底突上谣生俘长电一猛层孩轻恋掺保杂P型艇外遣延胡层夸，P孤-厚度5遗~坝1诊0汤u娘m可眼以阁比C下Z硅题更滤精倘确见的更控寄制咏外惜延忽层煮的问电丝式学祸特惊性炒，魂从秆而逼更拐好预的酸控辟制忙器零件圈参贪数衬庆底材初料4N阱盏扩炉散热摊氧孤化N阱普掩土模涉板喉光篇刻总氧弹化厦层磷做离饲子去注绘入高混温胃推哭进浇，碌同味时陕形印成纤缓应冲轰氧璃化丧层N阱竞工轻艺能绝够谣提龙供馋性桌能餐稍址好舰的N勿M骑O暮S晶淹体掩管纠，胳并求允防许房诚衬疫底座接学地N阱哲扩谈散5反残型哭槽误工帅艺淀饰积衬氮志化双硅反型泽槽扶掩追模韵板烫光逆刻松氮衫化竿硅刻蚀编场鞠区口氮之化绒硅反脖型香槽6沟使道嫂终辩止柏注险入7L芝O叠C究O咱S氧臭化刻蚀娇去舞除逢氮此化栏硅去除菌缓遥冲澡氧建化泳层生长基虚厌拟乌氧私化岁层L录O馒C肆O车S工柿艺陕和猛虚冷拟豪栅灭氧龄化8阈捎值腥调尼整硼彼注冷入揪调还整虾阈揭值就电愤压剥除芹虚哲拟形栅垂氧饮化匙层栅扰氧卵化枝层干劈燕氧渐法氧际化振过程裂很夕短幕，质栅竿氧岔化即层早很山薄阈躬值挤调拥整尽和绑栅乡丰氧包化瞒层死生幸长9本帝征晒多谎晶造硅月淀耗积多驶晶善硅粘掩摔模熄光类刻征、晨多晶硅括层跪刻幸蚀多俱晶马硅打重蓝掺暑杂劣磷色（连淀祥积恋、抛注昨入净）多饮晶暖硅宵淀抹积姥和邻光疼刻1郑0N想S飞D绕/缸P勒S筒D掩堂模唯板被光驼刻通仙过蓬暴两露沫的亦栅此氧描化疮注昏入锋杂霞质多次晶个硅甚栅方作桨为递源/漏膊自弃对叹准刊注端入洽的遥掩狡模原板去除额光币刻旦胶短暂搅退误火特，底激丸活娃注弱入墙杂乏质源/漏排注伍入1才1接奥触淀耍积脉多返层旗氧公化磁物(阵M宵L忧O始)接评触赚掩豆模型光蒸刻窜、造刻圆蚀湾接塔触晌孔种区征域重谊掺杂在区件域品可踪蝶以减形葬成杯欧体姆我接竿触金父属化接闯触孔古硅绳化难熔奋金屈属停薄项膜姨淀棚积它、要掺赔铜筑铝肝层哄淀叙积金属堆掩枝模此光回刻舅、赛金壤属供刻葛蚀歌，炉形画成纺互登连沃结框构淀积船夹秧层共氧抹化林物(溪I挖L恢O阁)刻蚀I嫌L斧O通胜孔五，箭第喜二银层砌金微属暴互福连.愈.办.桌.袜.战.保罢护层最后驳一攀层谅金没属词上促淀蕉积奥保申护娘层兰，棵厚向的恼磷遗硅饥玻桂璃秘、近压宇缩禁氮袜化自层乓等接蚀触景、浸金搞属罩化戴和喉保烦护规层1蜘2多龄晶备硅风栅C哲M色O往S晶申圆跟剖斥面1伍3典困型C侦M纽奉O危S工剪艺筛流筛程茫图1塔4典休型C盖M养O暑S工咱艺辨流况程量图1寨5典离型C们M耐O岸S工权艺完流黑程惠图1衰6典黎型C袋M缘瑞O填S工旷艺痒流遗程弦图1新7典部型C尚M渗O恰S工命艺正流水程浇图1羽8典池型C候M扁O奴S工咐艺席流绳程未图1撇9典辱型C短M检O扫S工变艺储流魂程画图2寨0典悼型C器M圈O岗S工翅艺兔流梨程毙图2阴1典坦型C某M轨O传S工汽艺氏流悼程笨图2坊2典程型C司M虎O哨S工乞艺优流桐程饶图2菌3典赠型C汉M黎O尿S工弱艺擦流科程比图2答4典眉型C瓜M休O凳S工饭艺匙流辰程刚图2者5典森型C芝M显O卷S工含艺印流新程剪图2显6典住型C担M填O币S工夹艺贼流题程温图2役7典蜻型C犯M艳O姑S工美艺纤流字程扒图2赞8典戏型C赠M困O摊S工送艺汽流亦程鹊图2补9典方型C作M姥O幼S工羊艺多流睛程伞图3趟0典美型C均M轻O肿S工忘艺足流愿程隙图3每1典坚型C烘M息O狸S工挑艺魂流竿程堡图3坡2典支型C员M放O炼S工培艺硬流完程栏图3曾3典堪型C丑M弦O浓S工溜艺衡流泊程桥图3视4典备型C否M并O狼S工骄艺虹流冲程隆图3扎5典哈型C版M沃O糖S工味艺住流茧程预图3伤6典坊型C侧M鲁O神S工闻艺铲流广程治图3鞭7典风型C渗M得O竟S工麦艺提流组程躲图3甩8典走型C册M抢O协S工扬艺状流堵程邻图3拘9典来型C蹈M谢O振S工红艺妻流紧程您图4承0典涉型C泉M斗O岛S工您艺童流曾程扛图4镇1典陵型C慎M阔O超S工筛艺收流融程撑图4遵2可况用捆器项件N胁M吨O公S晶代体伤管4蔽4P滋M姑O矿S晶茶体尾管4浪5衬子底P心N糊P管4榴6电灯阻多隐晶习硅皇电游阻N变S贷D铲/后P斧S勿D电孝阻N阱尘电汪阻金雪属固电蒸阻多辱晶签硅伸电障阻必允须劳使揪用劫硅冷化徒物滤阻均挡累掩强模朱板多赚晶洲硅源电羽阻4经7N拨S绝D窑/来P哲S胸D电赤阻4堵8电谱容M院O廉S电纹容金属慕电啊容义（M抚O污M、M搬i牲M）多晶劝硅悦电它容芹（P桂i额P）M赠O墓S电容4译9工园艺哈扩势展浅有槽勾隔吸离5搅1轻五掺娘杂闹漏植区糠晶沿体傻管(补L裁D似D森)5右2扩遮展欣漏筐区良高脚压马晶汗体过管5陈3本杆章厅结澡束9、储静望夜确四畜无桌邻愚，厨荒孤居钻旧顽业穷贫絮。脸。7粒月级-达2腾37爬月敞-系2庆3S赛u爆n焦d纤a扰y扁,块J仔u陡l瓶y逐3好0丹,仗2完0负2兵31帆0、严雨注中侍黄胖叶罗树显，尖灯抹下距白咏头蹲人特。级。2纲0厌:盼1比2努:奋1惩32训0直:均1伪2锅:扬1具32途0济:匀1丈27怎/习3怖0窗/他2遵0案2辟3橡8丸:狗1蔬2绪:夜1寄3秃P哗M1姜1、嫌以教我街独嗓沈焰久漠，情愧昌君弯相妨见君频抢。拾。7逝月惰-予2引32抄0肆:嘉1掠2就:辫1奏32旱0军:得1往2J纯u巷l行-伸2千33柿0堆-衡J书u盘l殃-辱2市31仙2、料故念人驴江炭海兆别垄，鲁几栗度做隔肯山陷川椅。蚁。2梯0罢:应1议2彼:障1椒32腊0笛:训1吊2鞭:腔1阴32斯0间:殖1剥2S聋u绑n乖d娘a唇y树,沟J间u闯l散y冒3劫0幕,塔2秩0坊2军31叙3、絮乍樱见煎翻泥疑厌梦室，响相林悲胳各冻问申年肠。洗。7金月涨-解2纸37资月旅-怒2埋32可0瓜:责1默2缠:笑1屯32钉0朴:忙1陪2位:翻1良3J得u技l徒y投3寨0切,暮2鹊0润2术31族4、胸他叠乡足生旁白妻发夺，座旧漫国稼见芳青何山赌。室。3欠0强七测月双2绣0病2搅38苍:貌1忠2化:承1矛3饮下斩午2绸0晶:吓1芒2瘦:知1床37炉月牢-轰2旋31攻5、础比援不旱了凡得跑就摊不疫比网，煌得屑不坟到失的诞就队不蔽要榆。遣。。七柴月皂2今38约:蹄1捡2屠下初午7窗月尊-沫2换32慨0丸:织1辟2J阅u筐l源y椅3杨0淡,似2割0抚2葛31底6、帝行汪动敢出银成轮果松，脑工杨作厉出壁财夹富运。午。2弹0两2限3止/扭7丸/托3治0浇2硬0水:蹄1颗2浑:氏1疑32粮0做:狱1茎2骂:债1玻33幕0拜J知u筋l筑y塑2住0办2薯31愁7、发做执前洪，溜能桶够春环抗视垒四牵周显；痒做女时碍，和你翠只家能倦或啄者男最宜好兽沿愿着击以荷脚制为资起扛点的的闸射贸线伯向数前蜻。坊。8非:兄1晃2挥:辽1炼3疑下杯午8真:看1避2帝下着午2较0混:趟1屈2圆:衔1缺37越月轿-值2锹39、申没芹有助失铲败角，埋只长有制暂监时较停泰止手成舅功颗！邀。7饰月掀-悟2仅37故月约-俱2贞3S强u惧n访d虾a博y魄,令J沿u样l成y榨3世0耀,怜2蚕0洲2哑31世0、春很澡多浮事攻情浊努讯力事了河未信必海有黑结垂果景，汁但午是踏不逐努速力舰却衡什白么写改现变嚷也用没晕有睛。奇。2壤0拍:顿1抗2帐:劣1绑32颗0讯:驴1码2限:事1铁32繁0惊:托1圈27煌/需3川0权/教2衡0创2蜂3旅8挡:党1茎2轻:工1导3维P顺M1纷1、胆成抽功溪就过是偷日西复显一弄日凑那缸一脱点腰点蜡小什小浓努碰力睁的工积吼累篮。释。7劲月裁-浴2通32眼0林:赚1笛2慢:捎1素32烤0执:扛1知2J极u逮l慕-治2短33扯0淋-蛇J章u莫l淘-俯2碎31菌2、雾世胜间宁成贿事然，少不紧求堪其敌绝像对若圆垫满狡，竿留犯一安份织不膛足寻，勾可丘得促无腰限俗完嗽美线。已。2净0习:唱1因2鞭:扩1俩32圣0诱:害1逼2启:掉1凤32佳0看:像1昂2S医u枪n牲d成a族y材,衫J面u寨l矩y把3失0蓄,携2剖0选2解31霸3、摆不看知热香约积舅寺竖，袄数余里撒入徐云域峰伐。堵。7合月碍-货2按37坏月躲-盼2硬32洋0愉:其1在2寄:野1历32伸0轰:普1昨2代:屋1乏3J汽u叹l牌y卵3检0晒,全2毙0旱2熔31贯4、赴意平志达坚照强颗的震人销能怪把捏世哄界粥放壳在左手妈中淹像撞泥缝块驳一笼样耽任猛意运揉模捏蜡。3伏0装七李月休2拒0水2宴38蹦:代1绢2裂:杂1中3蠢下妖午2流0博:源1隙2敲:议1粒37扯月猫-束2书31王5、锻楚何塞治三腰湘阅接蔽，贩荆嫩门稼九您派演通嫁。隆。。七拐月奔2衫38怕:睛1县2暮下特午7摊月鼻-敌2歼32浸0妄:狐1肿2J沸u遮l炕y热3高0晓,酬2澡0驳2姻31尸6、殖少就年拴十菊五闭二旺十轮时途，掠步卧行司夺翁得堪胡袋马千骑这。羊。2谣0泽2柏3贵/叉7鹊/魄3熄0赞2乞0测:膜1右2筹:鄙1颤32斑0羽:短1孕2却:纺1沉33呼0捐J贪u参l西y注2嘱0帆2凡31汤7、错空御山采新援雨理后眼，返天自气疗晚绝来完秋即。权。8雅:巡寿1途2惯:敬1炕3席下沃午8吐:标1移2没下需午2追0隙:怕1伟2明:季1钻37烘月惧-墙2殃39、揉杨吼柳旱散浑和彻风闲，产青页山倚澹肾吾蠢虑因。铜。7闭月眠-奸2影37侵月汁-坡2拍3S供u齐n召d熔a菜y应,革J毅u集l说y将3筑0很,赖2族0摇2稿31怒0、订阅固读阴一趋切其好大书磁如沃同聚和替过瞎去石最绩杰浩出炊的奋人茶谈块话袭。2阔0选:湾1改2牙:丢1背32免0净:韵1改2惭:暗1突32流0昼:退1厚27谢/暑3集0所/膏2许0生2陕3卸8恒:冬1好2素:组1砖3按P牢M1门1、手越婆是辰没默有涂本闯领芝的外就垫越平加耽自沿命顿不卵凡摸。7端月器-死2宁32任0艳:冰1宾2音:吐1象32知0乐:榴1嘉2J有u蚊l促-晚2顺33闸0消-煤J戴u煤l吹-妈2遗31饱2、绑越单是好无粗能铁的赏人羽，竭越疑喜喝欢每挑户剔条别援人恨的斧错舟儿僵。2央0痰:间1笨2打:大1充32续0营:市1桌2葬:尿1味32削0候:魂1涂2S胁u绳n额d开a壁y灵,很J衬u患l旗y链3进0嚷,再2虑0喉2损31推3、块知羡人肯者少智亭，浙自放知劝者辩明培。杰胜端人煎者先有薄力顾，紫自津胜撕者吓强放。7铃月崭-荡2流37陪月第-收2肥32宝0仗:斗1膊2佣:腹1花32殊0论:塘1或2岁:熊1潜3J吗u搅l统y狐3努0淡,椒2巷0劈燕2糠31垦4、互意蛙志险坚破强购的段人