科室三级安全教育课件

三级岗位安全作业培训教材目录安全生产方针我国安全生产方针：

安全第一预防为主综合治理组织结构与职责：①负责对科室员工进行岗位安全教育。②负责日常科室安全检查，发现不安全因素报告上级。③发生事故立即报告，并组织抢救，保护好现场，做好详细记录。负责人刘家安部门安全员曹斌①Cell分厂安全第一责任人，Cell分厂安全生产工作全面负责。②审定安全生产规划和计划，确定安全生产目标，签发安全

生产规章制度、安全技术规程，批准重大安全技术措施。③主持召开解决安全生产的重大问题。①组织制订、修订部门的安全生产规章制度、安全技术规程

和编制安全技术措施计划，并认真组织实施。②组织安全生产大检查，落实重大事故隐患的整改。③负责部门的安全生产教育与考核工作。④组织事故的调查处理，并及时向f负责人报告。①在部门内组织实施安全生产管理规定，安全技术操作规程和

安全技术措施计划。②负责对部门员工进行岗位安全教育。③负责日常部门安全检查，发现不安全因素及时组织力量消除，

并报告上级。④发生事故立即报告，并组织抢救，保护好现场，做好详细记录。Test部安全担当马明辉Repair科安全担当朱金伟安全担当组织结构与职责危险因素：Indexer内机械手运动区域的机械伤害设备高度较高，在工作区域登高维护设备时有坠落摔伤的危险设备采用208V交流电，所以在日常设备维护及操作设备时会有

触电危险设备是靠马达或者气缸带动运动，所以在进入设备内部维护时有

机械伤害的危险，如夹伤或撞伤目视激光对眼睛造成伤害的危险禁止对电气箱进行带电作业,有短路和触电危险Oven设备在运行状态时，在TurnLDC/V与TurnULDC/V区域禁

止人员进入，有撞伤危险岗位安全操作规程安全标示：禁止踩踏岗位安全操作规程高强磁场小心夹手碰头小心激光小心触电设备运行禁止开门高压危险小心烫手岗位安全操作规程设备Interlock防护措施：

—有安全事故隐患的设备都具备

Interlock功能

—在

UI变更设备

Mode及

Servo

Off后

Stage或

Gantry停止再进入设备

—Indexer内部

RobotArea进入时携带IndexerDoorInterlockKey，把Robot的

Mode变更为

TeachMode&ManualMode后开始作业ItemCellTestInlineTrimmerRepairIndexer&SorterInterlockDoorInterlockDoorInterlockDoorInterlockDoorInterlockDoorInterlockStatusDoorOpen紧急停止(Alarm发生)DoorOpen紧急停止(Alarm发生)DoorInterlock无法变更状态.(只有Engineer可操作)DoorInterlock无法变更状态(只有Engineer可操作)DoorOpen时立即停止(Alarm发生)AddItemUI에서Mode变更后开始作业DoorInterlockKey携带后进入UI에서Mode变更后开始作业在UI

变更

Mode及状态后进行作业DoorInterlockKey携带后进入AppendixApp-1App-2App-3Appx-4App-5设备安全防护措施：电路接口较多，将设备电源线整理在设备Cover注意远离这些接口，避

免人员直接接触登高作业时需注意系上安全带，如IndexPort口第二层作业、Transfer第

二层作业及APC/V上作业进行设备维护时，在进入设备前一定要先使设备暂停工作，还要保证有

一人在设备外部进行安全协助，以免他人误操作使设备运作当设备发生故障或出现误操作时，会报警，出现Interlock，设备在警报被消除之前，设备不会操作，进入内部操作时，拔下安全钥匙机械手四周围有RobotFence，避免人员直接接触Index的上装有Interlock锁，需要进入设备内部时可取下钥匙，其他人员

无法将门锁上，此时设备无法运行Robot轨道两侧底端有AreaSensor，但有人或物体进入Sensor检测范围

时，Robot会立即停止运动设备上设有EMO紧急停止按钮，当遇到紧急情况时可

按此按钮，设备会立即停止运行岗位安全操作规程安全操作注意事项：设备必须由专业人士进行操作设备运行之前，必须确认设备内部没有人和其它障碍物，确认完

毕后方可进行操作设备正常工作过程中，注意设备是否发生报警，或异响，发生时

及时停止设备设备正常工作过程中，只允许本科室人员对控制电脑与PLC操作

界面进行操作，并遵守设备作业指导书设备PM过程中，需要遵守设备PM作业指导书的各项操作，做到

标识明确，无交叉作业，安全意识到位禁止对电气箱进行带电作业,有短路和触电危险Oven设备MaintDoorOpen时确认Chamber内部温度在设备运行时，工作人员不能进入设备内部安全操作规程安全操作禁忌事项：设备正常工作过程中，禁止通过各个窗口或门进入设

备工作区域设备正常工作过程中，禁止在设备外部将身体的一部

分或其他物体探入设备运动区域设备维护过程中，禁止没有变更状态的情况下进行设备维护过程中，禁止单人作业和闭门作业设备维护过程中，设备内部有作业者时，禁止外部的

控制操作设备维护过程中，禁止口罩、手套佩戴不完善的情况

下进行作业岗位安全操作规程岗位安全操作技能设备调整时注意事项：作业开始前，先确认紧急停止装置的功能（按下紧急停止装置，设备动

作是否立刻停止）尽可能在设备外面实施作业;高空作业应佩戴安全带在设备内有部件移动的范围内作业时，原则上要切断部件动作电源在上流设备和下流设备之间进行作业时，要确保上下流设备可动部的动

力电源处于切断状态。同时还要向各设备担当者传达自己的意图，在得

到许可的情况下才可以进行作业。在有可能进行设备操作的部位，放置“作业中”告知板。必要的话在上

下流设备相关处也同样放置警告板在动力部电源处于PowerOn、作业人员不得已在设备内部件可移动的范

围内进行作业时，一定遵守以下几项原则：

◆在紧急停止Button处配置一名监视人，并且监视人的手随时处于按下Button的状态。◆在作业时，为防备万一误动作或误操作发生，一定在作业位置和立足

处留出空余空间岗位安全操作技能设备调整时注意事项：在对设备电源进行ON・OFF时，一定确认设备内是否有作业人员，并且

向周围大声打招呼，同时周围人员一定要给于明确的回答当移动设备内某个部件时，确认设备内部件移动的范围内是否有人员，

并且向周围大声打招呼，同时周围人员一定要给于明确的回答当操作场所远离设备内部件移动场所（不能确认部件的动作），必须要

有二位以上员工通过打招呼合作作业绝对不要将身体伸进已经启动的设备中。特别是在进行SoftDebug作业

中，设备看上去是像是停止的状态，但并不能判断设备何时突然启动。

必须在得到软件担当许可的情况下才可以进行作业在进行设备速度调整时，设备速度设置原则为：当运动部件有可能与人

员发生碰撞时，可以使设备安全的停止当没有自信或者不清楚的情况下，请坚守“不做”、“不操作”的原则在作业中当离开设备时，必须切断设备动力电源

岗位安全操作技能设备调整时注意事项：在操作中当感觉到异常（音、动作等）时，一定停止作业进行检查。必

要联系发生异常设备的厂商进行确认空压可动仪器（Cylinder、RotaryActuator等）相关的操作，即使按下

紧急停止Button,运动中的设备部件也不会立刻停止，请非常注意

“设备门窗的Interlock”及“设备动作Interlock”的解除仅限设备厂商。BOE员工不要探听Interlock密码，更要杜绝在Interlock解除状态的任何

作业岗位安全操作技能设备维护时注意事项：在进行机械及电气改造工事时，原则是在设备电源OFF的状态下进行进行高处作业时，请使用专业作业用梯子及站台。不要站在不安定的物

体上作业。例如：椅子・箱等在不得已需要踩着设备进行作业时，一定避开波及影响设备精度的场所

或者不稳定的场所;不稳定的状态下不要放置重物，不要重叠放置物品作业习惯养成：①作业中螺丝等要放在托盘或者袋子里，不要随意散放

在设备内，以避免遗忘。②作业完成后,清理确认工具数量,以防止工具

遗忘在设备中对于空圧可动仪器（Cylinder、RotaryActuator等）,当需要拆除气路配

管时,一定要将可动部位用螺丝或者胶带固定,以防止部件因失去气压而

产生自由运动在电源ＯＦＦ状态下，尽可能将断路器（Breaker）锁住。如果不能上锁，

也要放置“电源On不可”的警告板在进行电气器件(Motor,Driver等)更换时，在切断设备电源的同时，还

要必须同时切断要更换元件的回路上的断路器设备Teaching时注意事项：自动Mode变更手动Mode安全管理者EMOS/W待机作业员Interlock解除确认DoorOpen后,确认状态(红色)Laser及驱动部状态确认Teaching作业实施作业完成后,DoorInterlock设置运转mode变更危险作业审批后方可作业作业Panel危险标示及作业禁止Panel实施安全管理者常驻作业2人1组以上作业确认Interlock任意解除确认内部Teaching作业时注意狭窄岗位安全操作技能可以DoorOpen

DoorClose岗位安全操作技能进入Indexer注意事项：按StopButton按钮按HomePosition，把Robot移动到Home位置设备STOP后，进入设备内部前Door状态开启Door携带Interlockkey之后用手推开Door，确认Door装置是否会被关闭,再次确认Robot是否

不动，然后进入设备内部

1234512345岗位安全操作技能Robot安全作业注意事项：Auto-Mode->Level设置及Password输入

确认Teach-Pendant上Manualmode转换是否变更Mode后作业—按StopButton按钮

—按HomePosition，把Robot移动到Home位置

—设备STOP后，进入设备内部前Door状态

—开启Door携带Interlockkey之后

—用手推开Door，确认Door装置是否会被关闭,再次确认Robot是否

不动，然后进入设备内部

岗位安全操作技能设备维护UI画面注意事项：

OXO手动操作画面IOMonitoring画面PM画面—虽然‘2人

1组’作业,但有可能失误摁错按钮，所以不操作UI画面

时，变为‘

IOMonitoring画面’或者

‘PM画面’生产安全事故的防范意识和应急措施生产安全防范意识：不安全行动的发生原因主要有以下几项内容，希望能够避免下面内容留心作业。①侥幸・逞能②错觉③麻痹大意④轻视危险性⑤只注重作业进度⑥近道・省事行动等本能意识⑦意识（集中力）低下⑧疲劳通常作业时需要有一定紧张感。为维持这种紧张感要随时调整身体状态其他现场、其他人发生的事故，不要认为与自己无关，要认识到自己也

有随时发生的可能在现场作业时，不仅要求每位作业人员分工明确，更需要全员作为一个

整体为安全作业而努力

生产安全事故的防范意识和应急措施生产安全应急措施：

安全事故处理步骤现象及处理过程1-1.意外安全事故发生人员受伤/求救信号/警报信号/…2-1.紧急停止相关设备对伤员进行紧急救治处理，并现场组织一支救援力量3-1.通知中控室将伤员情况简洁的汇报给中控室，中控室再进一步紧急处理3-3.上报担当科长将伤员情况简洁的汇报给担当科长，科长再进一步上报4-1.尽快恢复生产其余人员尽快恢复生产意外安全事故紧急联系人BOEDTCell分厂TEST部Repair科中控室郑部长权科长安光旭朱金伟于洋王贺卫57675119158100425001861161130115011350188138115696451861189221015910317635生产安全事故中人员自救和互救知识：

生产安全事故的防范意识和应急措施意外安全事故自救和互救方法化学品泄漏当发生有毒气体泄漏时，应避开泄漏源向上风向疏散、撤离；若有毒气体密度大于空气时，不要滞留在低洼处或避开抵洼处；若有毒气体密度小于空气时，尽量采取低姿势爬行，头部愈贴近地面愈佳，但仍应注意爬行的速度发生火情/爆炸当发生火灾/爆炸时，应注意顺着安全出口方向指标，进行逃生；以毛巾或手帕掩口，毛巾或手帕沾湿以后，掩住口鼻，可避免浓烟的侵袭。浓烟中采取低姿势爬行：因此在烟中避难时尽量采取低姿势爬行，头部愈贴近地面愈佳，但仍应注意爬行的速度人员受伤创口出血，用绷带压迫包扎即可止血，断肢的现象急救包括止血、包扎、保存断肢及迅速运送等四方面。不完全性断肢要将断肢放在夹板上，确实固定；创伤急救应从现场开始，抢救危重患者的基本措施可概括为气道、呼吸、循环等几种：气道的初步处理：头部侧向，抬起下颌，口咽吸引，用口咽通气管；呼吸的初步处理：口对口呼吸，呼吸面罩给氧；循环的初步处理：制止外出血，抬高下肢，使用休克裤；对颈椎损伤者，要有专人托扶头部，沿纵轴向上略加牵引，使头、颈随躯干一同滚动生产安全事故应急逃生通道：

所在区域最佳逃生通道安全出口位置Cell4F1#安全通道4FC6口与C7口之间2#安全通道4FC5口东侧3#安全通道4FC2口东侧C1口4F西南角C2口4F西南侧C5口4F东南侧C6口4F南侧中部C7口4F南角Module4F1#安全通道4F西北角2#安全通道4F西南角3#安全通道4F西南侧中部4#安全通道4F东南角生产安全事故的防范意识和应急措施Module-4F产线内逃生通道1#安全通道2#安全通道3#安全通道4#安全通道劳动防护用品使用、维护和保管安全带使用方法：高空作业尤其是登高作业必须使用安全带。使用安全带首先要遵循“高

挂低用”的原则，即安全带的悬挂位置要高于人员作业的位置，这样才

能对人员起到保护作用。其次，悬挂安全带必须有可靠的锚固点，即安

全带要挂在牢固可靠的地方

安全带应高挂低用，注意防止摆动碰撞。使用3m以上长绳应加缓冲器，

自锁钩所用的吊绳则例外

缓冲器、速差式装置和自锁钩可以串联使用安全带上的各种部件不得任意拆除。更换新绳时要注意加绳套安全带材料及有关技术条件要求符合国家安全标准不准将绳打结使用。也不准将钩直接挂在安全绳上使用，应挂在连接环

上使用为了保证系好安全带，应注意作业下面是否有干扰物劳动防护用品使用、维护和保管安全带正确使用方法：系好的安全带的一端要扣好安全环旋转lever来完全固定安全环的另一端扣在可靠的锚固点用手拉一下确认是否固定好安全带正确穿戴图安全带正确使用图生产安全事故的防范意识和应急措施安全带维护和保管方法：安全带使用两年后，按批量购人情况，抽验一次。围杆带做静负荷试验，

以2206N拉力拉伸5mm，如无破断方可继续使用。悬挂安全带冲击试验

时，以80kg重量做自由坠落试验，若不破断，该批安全带可继续使用。

对抽试过的样带，必须更换安全绳后才能继续使用使用频繁的绳，要经常进行外观检查，发现异常时，应立即更换新绳。带子使用期为3～5年，发现异常应提前报废安全带正确叠放图生产安全事故的防范意识和应急措施安全帽使用和保管方法：在使用前一定要检查安全帽子是否有裂纹、碰伤痕迹、凹凸不平、磨损，

安全帽上如存在影响其性能的明显缺陷就应及时报废使用时一定要将安全帽戴正、戴牢，不能晃动，要系紧下颏带，调节好

后箍以防脱落不能私自在安全帽上打孔，拆卸配件，不要随意碰撞安全帽受过一次强冲击或做过试验的安全帽不能继续使用，应予以报废安全帽不能放置在有酸、碱、高温、日晒、潮湿或化学试剂的场所应注意使用在有效期内的安全帽生产安全事故的防范意识和应急措施防毒面罩使用和保管方法：使用前检查是否有裂痕破口，确保面具与脸部贴和封闭检查呼气发片有无变形和破裂检查头戴是否有弹性检查滤毒盒座密封圈是否完好检查滤毒盒是否在有效期应注意使用在有效期内的安全帽将面具戴至口鼻，将头带框拉至头顶双手将头下头带拉至颈后，扣好风干面具请仔细检查连接部位呼气阀、吸气阀的密封性，并将面具放在

洁净的地方，以备下次再用

使用后的面罩清洗，要采用0.5%高锰酸钾溶液擦洗，然后放置阴凉处晒干，用滑石粉保养。滤毒盒使用后立即用原密封端盖密封好，存放在低温、干燥、通风，且远离可能被污染的地方防护眼罩使用方法：

—操作LaserRepair设备有可能被Laser灼伤—开启Door或者解除关闭Door时，因为眼睛有可能会放射出看不见的

Laser伤害,因此为了保护眼睛需要戴上保护眼镜.生产安全事故的防范意识和应急措施生产安全事故案例2010年6月25日安全事故描述：2010年6月25日下午17时左右，一名Vendor（Thera-Gen）无视警示标志，进入STK区域作业，被正在运行的设备撞到，发生人身伤害。事故原因：Vendor（Thera-Gen）对其员工的安全教育不够充分事故发生位置安全警示标志事故现场发生事故设备受伤人员生产安全事故案例2010年6月25日安全事故反思：以事故为鉴，加强对所有员工岗位安全意识教育重新学习岗位安全作业规范，加强安全作业意识安全教育合格者，方可进行上岗作业一经发现违规作业现象，立即予以阻止，并告知其负

责人对此进行教育当必须进入安全警示标识的区域进行作业时，应当提

前与对应部门进行协商、申请，得到许可后，预先确

认无安全隐患时，至少两个人协作方可进入作业。职业病：企业、事业单位和个体经济组织的劳动者在职业活动中，接触粉尘、放射性物质和其他有毒有害物质等因素而引起的疾病。职业病危害因素：职业活动中影响劳动者健康的各种危害因素的统称。二、放射性物质类三、化学物质类职业病危害因素一、粉尘类五、生物因素四、物理因素职业病的预防措施：工程技术控制作业环境监测职业健康监护劳保用品佩戴职业健康基本知识粉尘类尘肺是由于在职业活动中长期吸入生产性粉尘(灰尘)，并在肺内潴留而引起的以肺组织弥漫性纤维化(疤痕)为主的全身性疾病。矿物性粉尘，如石英、石棉、滑石、煤等；金属性粉尘，如铁、锡、铝、锰、铅、锌等；人工无机粉尘，如金刚砂、水泥、玻璃纤维等。动物性粉尘，如毛、丝、骨质等；植物性粉尘，如棉、麻、草、甘蔗、谷物、木、茶等；人工有机粉尘，如有机农药、有机染料、合成树脂、合成橡胶。合成纤维等。混合性粉尘是上述各类粉尘，以二种以上物质混合形成的粉尘，在生产中这种粉尘最多见。生产性粉尘：在生产过程中形成的，并能较长时间悬浮在生产环境空气中的固体微粒。职业健康基本知识尘肺的预防：生产性粉尘的致病作用：局部作用:接触或吸入粉尘，首先对皮肤、角膜、粘膜等产生局部的刺激作用，并产生一系列的病变。感染作用：有些有机粉尘如破烂布屑、兽皮、谷物等粉尘常附有病原菌，如丝菌、放射菌属等，随粉尘进入肺内，可引起肺霉菌病等。致癌作用：接触如镍、铬、铬酸盐的粉尘，可以引起肺癌;接触放射性矿物粉尘、容易生成肺癌；石棉粉尘可引起皮癌。对肺部作用：尘肺肺粉尘沉着症有机性粉尘引起的肺部病变作业环境监测：对作业现场定期组织有资质的检测单位进行检测，确保符合国家标准。职业健康监护：定期对接触粉尘的员工进行职业体检；为员工建立健康监护档案。劳保用品配置：粉尘作业应正确并坚持佩戴；使用时应注意其有效性。职业健康基本知识放射性物质类X-射线：（X-ray）又被称为艾克斯射线、伦琴射线或X光，是一种波长范围在0.01纳米到10纳米之间（对应频率范围30PHz到30EHz）的电磁辐射形式。常见几种效应：急性放射病：机体受到一次或短时间内多次受到大剂量电离辐射作用引起的急性全身性损伤慢性放射病：机体在较长时间内受到低剂量率，超剂量限值电离辐射作用所引起的全身慢性放射损伤。（以造血组织损伤为主并伴有其他系统改变的全身性疾病）胚胎效应：胚胎发育过程中直接受到射线照射，常称之为宫内照射。（确定性效应）内照射放射损伤：放射性核素进入体内形成的照射为内照射。由体内放射性核素引起的损伤称为内照射放射损伤。放射性白内障：电离辐射外照射引起眼晶体混浊形成白内障。放射性皮肤损伤：身体局部受到一次或短时间内多次大剂量外照射所引起的急性放射皮炎及放射性皮肤溃疡。职业健康基本知识X-射线的防护：

由于人体组织在受到射线照射时能发生电离，当照射剂量低于一定数值时，对人体没有伤害。

如果人体受到射线的过量照射，便可产生不同程度的损伤。X-射线的防护方法：设备的固有的安全防护；时间防护-缩短受照时间；距离防护-远离放射源；屏蔽防护X-射线的控制措施：作业环境监测：定期进行自主检测或组织有资质的检测单位对作业现场进行检测，确保防护效果合格。职业健康监护：定期组织接触射线岗位的员工进行职业体检；为员工建立健康监护档案。设备本质安全化：足够厚度的PVC板可有效屏蔽软X线。足够厚度含铅外壳可有效屏蔽所有X线射线的现场检测职业健康基本知识化学物质类特殊气体：氯气氨气磷烷硅烷三氟化氮六氟化硫其他无机物：臭氧硫化氢酸碱有机物：异丙醇PR胶成份其他有机物职业危害控制措施健康监护前期预防专职的管理机构作业场所管理职业健康教育培训职业健康基本知识个体防护用品：特气监控（TGMS）系统：1.系统原理和用途：

通过采样管从机台的阀箱和现场环境中抽取空气，检测抽取的空气中有无被测气体。如果有，气体的种类、含量和测试位置将在中控室的图控上有显示并伴有警报音。2.适用设备、使用气体和报警值

目前：PECVD机台10台（7+3）DryEtch机台10台。适用设备气体名称1阶报警值2阶报警值单位PECVDSIH42.55PPMPECVDPH30.30.6PPMPECVDNH31325PPMPECVDNF31020PPMDryEtchCL20.51PPMDryEtchBCL32.55PPM应急时使用SCBA，加图职业健康基本知识氯气名称理化特性健康危害应急处理防护氯，氯气Chlorine化学式：Cl2

分子质量：70.19性质：黄绿色有刺激性气味的气体急性：轻者有流泪、咳嗽、咳少量痰、胸闷，出现气管和支气管炎的表现；中度中度发生支气管肺炎或间质性肺水肿，病人除上述症状加重外，出现呼吸困难、轻度紫绀等；重者发生肺水肿、昏迷和休克，可出现气胸、纵隔气肿等并发症，吸入极高浓度的氯气可引起迷走神经反射性心跳骤停或者喉头痉挛而发生“电击样”死亡。皮肤接触液氯或高浓度氯，在暴露部位可有灼伤或急性皮炎。慢性：长期低浓度接触，可引起慢性支气管炎、支气管哮喘等，可引起职业性痤疮及牙齿酸蚀症。泄露：迅速撤离泄露污染区人员至上风处，并立即进行隔离。建议应急处理人员佩戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散，喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。如有可能，用管道将泄漏物导至还原剂溶液。工程控制：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。防护设施：淋雨及洗眼设备。个体防护：呼吸防护、身体防护。其他：TGMS（特气）

系统职业健康基本知识公司涉及的职业病危害因素及其预防措施氨气名称理化特性健康危害应急处理防护氨，氨气Ammonia分子式：NH3分子质量：17.03性质：无色气体，有强烈的刺激气味。极易溶于水。低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解性坏死，引起化学性肺炎及灼伤。急性中毒：轻度者表现为皮肤、粘膜的刺激反应，出现鼻炎、咽炎、气管及支气管炎；可有角膜及皮肤灼伤。重度者出现喉头水肿、声门狭窄、呼吸道粘膜细胞脱落、气道阻塞而窒息，可有中毒性肺水肿和肝损伤。氨可引起反射性呼吸停止。如氨溅入眼内，可致晶体混浊、角膜穿孔，甚至失明。急救：皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水彻底冲洗。或用3%硼酸溶液冲洗。若灼伤就医治疗。眼睛接触：拉开眼睑，用流动清水冲洗15分钟，就医。吸入：脱离现场至空气新鲜处，呼吸困难时给输氧。呼吸停止时立即人工呼吸，就医。食入：口服牛奶、豆浆或蛋清，就医。工程控制：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。防护设施：淋雨及洗眼设备。个体防护：呼吸防护、身体防护、眼睛防护。其他：TGMS（特气）

系统名称理化特性健康危害应急处理防护硅烷、四氢化硅分子式：SiH4分子质量：32.12性质：无色气体，有恶臭吸入硅烷蒸汽后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白，脉搏微弱，陷入半昏迷状态。急救：吸入：脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸畅通。必要时进行人工呼吸。就医。工程控制：密闭，全面通风。个体防护：呼吸防护、身体防护。其他：TGMS（特气监控）

系统磷烷、磷化氢分子式：PH3分子质量：34.04性质：无色气体，有类似大蒜气味磷烷作用于细胞酶，影响细胞代谢，发生内窒息。其主要损害神经系统、心脏、肾脏及肝脏。急性中毒：轻度有头痛、乏力、恶心、失眠、口渴、鼻咽发干、胸闷、咳嗽和低热等；中度出现轻度意识障碍、呼吸困难、心肌损伤；重度出现肺水肿、心肌损伤、肝脏及肾脏损伤。急救：吸入：脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸畅通。呼吸困难时给输氧。心跳停止者立即进行人工呼吸和心脏按压。就医。工程控制：密闭，全面通风。个体防护：呼吸防护、身体防护、眼睛防护。其他：TGMS（特气）

系统磷烷与硅烷职业健康基本知识名称理化特性健康危害应急处理防护氟化物主要使骨骼受害，表现肢体活动障碍，重者骨质疏散或变形，易于自发性骨折。其次是牙齿脆弱，出现斑点、损害皮肤，出现疼痛、湿疹及各种皮炎。氟化氢对呼吸器官有刺激作用，引起鼻炎、气管炎，使肺部纤维组织增生。泄露：迅速撤离泄露污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员佩戴正压自给式呼吸器，穿化学防护服。工程控制：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。个体防护：呼吸防护、身体防护。其他：TGMS（特气）

系统氢氟酸HydrofluoricAcid无色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。皮肤接触:立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。工程控制：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。个体防护：呼吸防护、身体防护。职业健康基本知识作业现场检测结果：有害物质国标检测值作业危害分级MACMACCl210.