安徽德徽创芯科技有限公司年产4.8万片第三代半导体材料碳化硅功率芯片项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表(污染影响类)硅功率芯片建设单位(盖章)：安徽德徽创芯科技有限公司编制日期：2021年7月中华人民共和国生态环境部制—1—一、建设项目基本情况建设项目名称年产4.8万片第三代半导体材料碳化硅功率芯片项目代码2020-340323-39-03-037679建设单位联系人联系方式建设地点 安徽省(自治区)蚌埠市固镇县(区)新马桥镇蚌埠铜陵现代产业地理坐标经度：117度24分3.015秒，纬度：33度6分47.591秒国民经济行业类别C3985电子专用材料制造建设项目行业类别81电子元件及电子专用材料制造398；印刷电路板制造；电子专用材料制造(电子化工材料制造除外)；使用有机溶剂的；有酸洗建设性质团新建(迁建)改建扩建技术改造建设项目申报情形团首次申报项目□不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批(核准/固镇县发展改革委项目审批(核准/备案)文号(选填)固发改项字(2020)694号总投资(万元)66600环保投资(万元)200.03施工工期/是否开工建设是：专项评价设置情况无规划情况蚌埠铜陵现代产业园区由蚌埠和铜陵两市合作共建，2012年4月经安徽省人民政府以(皖政秘[2012]192号文批复为省级开发区。规划名称：《蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)总体规划(2012-2030年)》规划环境影响评价情况环评文件：《蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)总体规划环境影响报告书》；—2—241号”文《安徽省环保厅关于蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)总体规划环境影响报告书审查意见的函》规划及规划环境影响评价符合性分析1、与蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)总体规划的符合性分析根据《蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)总体规划 (2012-2030年)》，蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)的发展总目标为：“以新一代信息技术、装备制造、新材料和生物医药为支柱产业，以纺织、轻工食品和现代物流产业为辅助产业，共同打造信息化、科技化、现代化的产业园。成为集产业、孵化、生活、休闲多功能为一体的四化协调先导区、江淮协作示范区；蚌埠市经济结构优化、产业能级跃升的城郊现代产业基地；引领蚌埠北部地区发展的产城融合创新区。”本项目属于C3985电子专用材料制造，属于规划中新材料行业，故与蚌埠铜陵现代产业园(蚌埠台湾产业园)的总体规划相符。其他符合性分析1、产业政策符合性29号令《产业结构调整指导日录(2019年本)》有关条款的规定，本项目第一类鼓励类“信息产业”第二十八项“信息产业”中第22款“半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印刷电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”，生产设备、工艺均不属于淘汰类、限值类，符合国家产业政策的要求。通过固镇县发展和改革委员会备因此，本项目的建设符合国家和安徽省的相关产业政策。3、与相关政策符合性项目与相关政策要求的符合性分析如下：—3—表1-1项目与相关政策符合性分析表文件名称相关要求项目建设情况《“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案》严格建设项目环境准入。提高VOCs排放重点行业环保准入门槛，严格控制新增污染物排放量。重点地区要严格限制石化、化工、包装印刷、工业涂装等高VOCs排放建设项目。新建涉VOCs排放的工业企业要入园区。严格涉VOCs建设项目环境影响评价，实行区域内VOCs排放等量或倍量削减替代，并将替代方案落实到企业排污许可证中，纳入环境执法管理。新、改、扩建涉VOCs排放项目，应从源头加强控制，使用低(无)VOCs含量的原辅材料，加强废气收集，安装高效治理设施。C3985电子专用材料制造，不属于工作方案中规定的重点行业。项目选址位于蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，属于规划的园区内。2、本项目原料为气体及固体，存放于单独的气站和可燃性气房内。3、外延生长废气通过焚烧炉+1根15m高排气筒(DA001)VOCs原料容器为全密闭，原料道输送，生产车间有门窗密闭《挥发性有机污染物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)工艺过程VOCs无组织排放控制要求配料加工和含VOCs产品的包装：VOCs物料混合、搅拌、研磨、造粒、切片、压块等配料加工过程，以及含VOCs产品的包装(罐装、粉状)过程应采用密闭设备或在密闭空间内操废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至VOCs废气收集处理系统。《关于印发重点行业挥发性有机物综合治理方案【2019】53号)重点对含VOCs物料(包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs废料以及有机聚合物材料等)储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收集等措施，削减VOCs无组织排放。企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造，应依据排放废气的浓度、组分、风量，温—4—度、湿度、压力，以及生产工况等，合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术的组合工艺，提高VOCs治理效率。低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理；高浓度废气，优先进行溶剂回收，难以回收的，宜采用高温焚烧、催化燃烧等技术。油气 (溶剂)回收宜采用冷凝+吸附、吸附+吸收、膜分离+吸附等技术。低温等离子、光催化、光氧化技术主要适用于恶臭异味等治理；生物法主要适用于低浓度VOCs废气治理和恶臭异味治理。非水溶性的VOCs废气禁止采用水或水溶液喷淋吸收处理。采用一次性活性炭吸附技术的，应定期更换活性炭，废旧活性炭应再生或处理处置。有条件的工业园区和产业集群等，推广集中喷涂、溶剂集中回收、活性炭集中再生等，加强资源共享，提高VOCs治理效率。《安徽省挥发性有机物污染整治工作方案》将控制挥发性有机物排放列入建设项目环境影响评价重要内容，严格环境准入，严控“两高”排放量大的企业应入工业园区并符合规划要求，必须建设挥发性有机物污染治理设施，安装废气收集、回收或净化装置，原则上总净化效率不得低于90%。建立VOCs排放总量控制制度。严格按照《挥发性有机物 (VOCs)污染防治技术政策》要求，科学制定重点行业、重点企业污染防治技术方案。采用密闭式生产和环保型原辅材料、生产工艺和装备，着力从源头控制VOCs废气的产生和无组织排放。加大VOCs废气的回收利用，优先在生产系统内回用。对浓度和性状差异大的废气应根据废气的产生量、污染物的组分和性质、浓度、温度、压力等因素进行综合分析，合理选择废气回收或末端治理工艺路线，科学治—5—理，达标排放。要妥善处置次生污染物，防范二次污染。加强企业内部管理，明确VOCs处理装置的管理和监控方案，提升现场管理水平，确保VOCs处理装置长期有效运行。要加强基础工作，建立完善的“一厂一档”，与VOCs排放相关的原辅料、溶剂的使用、产品生产及输出、废气处理、污染物排放、在线监控等信息应进行跟踪记录，以满足企业VOCs实际以及潜在的排放量查证需要，确保企业VOCs处理装置运行效果安徽省生态环境厅关于全面推进挥发性有机物综合治理的通知严格环境项目准入，严控新增VOCs排放量，各地要严格限制石化、化工、包装印刷、工业涂装等高VOCs排放建设项目，不得新建未纳入《石化产业规划布企业应进入园区。新改扩建涉VOCs排放项目，应使用低VOCs含量的原辅材料。《重点行业挥发性有机物综合治019】53号)相符性分析(一)大力推进源头替代。鼓励加快低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂等研发和生产。(二)全面加强无组织排放控制。采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置，控制风速应不低于0.3米/秒，有行业要求的按相关规定执行。 (三)推进建设适宜高效的治污设施。低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理。《安徽省挥发性有机物污染整治分析建立VOCs污染治理台账，推广使用低毒低挥发性有机溶剂。4、“三线一单”相符性分析中华人民共和国环境保护部环环评[2016]150号文《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》要求：为适应以改善环境质量为核心的环境管理要求，切实加强环境影响评价(以下简称环评)管理，落实“生态保护红线、环境质量底线、资源利—6—用上线和环境准入负面清单”(以下简称“三线一单”)约束，建立项目环评审批与规划环评、现有项目环境管理、区域环境质量联动机制(以下简称“三挂钩”机制)，更好地发挥环评制度从源头防范环境污染和生态破坏的作用，加快推进改善环境质量。表1-2“三线一单”符合性分析环评[2016]50号文要求本项目情况相符性分析生态保护红线综合考虑维护区域生态系统完整性、稳定性的要求，结合构建区域生态安全格局的需要，基于重要生态功能区、保护区和其他有必要实施保护的陆域、水域和海域，考虑农业空间和城镇空间，衔接土地利用和城镇开发边界，识别并明确生态空间。生态空间原则上按限制开发区域管理。已经划定生态保护红线的，严格落实生态保护红线方案和管控要求。尚未划定生态保护红线的，按照《生态保护红线划定指南》划定。项目位于蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，厂区所在地不属于自然生态红线区，不涉及生态环境保护红线范围内用地，符合生态保护红线要求符合总体要求对于环境质量不达标区，环境质量只能改善不能恶化；对于环境质量达标区，环境质量应维持基本稳定，且不得低于环境质量标准。本项目属大气环境质量不达标区，项目运营中产生的废气经处理设备处理后达标排符合水环境区将饮用水水源保护区、湿地保护区、区江河源头、珍稀濒危水生生物及重要水产种质资源的产卵场、索饵场、越冬场、洄游通道、河湖及其生态缓冲带等所属的控制单元作为水环境优先保护区。根据水环境评价和污染源分析结果，将以工业源为主的控制单元、以城镇生活源为主的超标控制单元和以农业源为主的超标控制单元作为水环境重点管控区。有地下水超柯超载问题的地区，还需考虑地下水管控要求。其余区域作为一般管控。本项目选址于固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，不在水环境优先保护区内，且本项目不产生生产符合要求。大气环境将环境空气一类功能区作为大气环境优先保护区。将环境空气二类功能区中的工业集聚区等高排放区域，上风向、扩散通道、环流通道等影响空气质量的布局敏感区域，静风或风速较小的弱扩散区域，城镇中心及集中居住、医疗、教育等受体敏感区域等本项目属于环境空气二类功能区，用地为工业用地，不属于敏感区域，为一般管控区，项目大气污染物产生量小，对大气环境影响较小。—7—作为大气环境重点管控区。将环境空气二类功能区中的其余区域作为一般管控区。土壤环境依据土壤环境分析结果，参照农用地土壤环境状况类别划分技术指南，农用地划分为优先保护类、安全利用类和严格管控类，将优先保护类农用地集中区作为农用地优先保护区，将农用地严格管控类和安全利用类区域作为农用地污染风险重点管控区。筛选涉及有色金属冶炼、石油加工、化工、焦化、电镀、制革等行业生产经营活动和危险废物贮存、利用、处置活动的地块，识别疑似污染地块。基于疑似污染地块环境初步调查结果，建立污染地块名录，确定污染地块风险等级，明确优先管理对象，将污染地块纳入建设用地污染风险重点管控区。其余区域纳入一般管控区本项目选址于固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，用地性质为工业用地，且本项目属于C3985电子专用材料制造，在采取了分区防渗措施后，对土壤环境影响很小。水资源根据生态需水量测算结果，将相关河段划为生态用水补给区，纳入水资源重点管控区，实施重点管控。根据地下水超采、地下水漏斗、海水入侵等状况，衔接各部门地下水开采相关空间管控要求，将地下水严重超采区、已发生严重地面沉降、海(威)水入侵等地质环境问题的区域，以及泉水涵养区等需要特殊保护的区域划为地下水开采重点管控区。本项目选址于固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，本项目生产不产生废水，项目仅为生活污水，废水经厂区化粪池预处理以后通过区域管网排入固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区污水处理厂处理，不在地下水开采重点管控区内。符合土地资源区考虑生态环境安全，将生态保护红线区集中、重度污染农用地或污染地块集中的区域确定为土地资源重点管控。本项目不在生态红线范围内能源考虑大气环境质量改善要求，在人口密集、污染排放强度高的区域优先划定高污染燃料禁燃区，作为重点管控区。项目大气污染物产生量小，对大气环境影响较小资源湖白等自然资源核算结果，加强对数量减少、质量下降的自然资源开发管控。将自然资源数量减少、质量下降的区域作为自然资源重点管控区。本项目选址于固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，用地属工业用地，不在自然资源重点管控区内负面清单严格禁止在生态保护红线内不符合主体功能定位的各类开发活动；避免开发建设活动在水环境优先保护区本项目不在生态红线不在四个优先保护区符合—8—伐内对水资源和环境造成损坏不得建设破坏植被缓冲带的项目，已经损坏水体功能的，应建立退出机制；禁止在大气环境优先保护区新建、改扩建排放大气污染物的企业，已建企业应伐制定退出方案；严格禁止在农用地优先保护区新建重污染、具有有毒有害物质排放的企业且应划定缓冲区域，禁止新建排放重金属和有机污染物的开发建设活动，现有相关行业应加快升级改造步。域内，且项目污染物排放量较小，对环境影响较小，不属于负面清单内容—9—二、建设项目工程分析安徽德徽创芯科技有限公司选址于安徽省蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，建设年产4.8万片第三代半导体材料碳化硅功率芯片项目，本项目2020-340323-39-03-037679，批准文号：固发改项字(2020)694号，项目总投资66600万元。主要建设内容为：项目建筑总体为40000平方米，占地约100亩，其中30000平方米用作生产场所，计划投入产线10台套，项目全面建成达产后，预计年产4.8万片第三代半导体材料碳化硅功率芯片的规模。排污许可管理类别：对照《固定污染源排污许可证许可分类管理名录》(2019子专用材料制造398，其他电子设备制造399，其他类，应当进行“登记管理”。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理条例》(国务院令第682号)中有关规定，建设项目应在可行性研究阶段同步开展环境影响评价工作。依据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版)的有关规定，该项目应编制环境影响报告表。受安徽德徽创芯科技有限公司委托，我公司承担了该项目的环境影响评价工作，接受委托后，我公司组织有关技术人员，在现场调查和收集有关资料的基础上，本着“科学、公正、客观、严谨”的态度，编制了《安徽德徽创芯科技有限公司年产4.8万片第三代半导体材料碳化硅功率芯片环境影响报告表》，呈报环保主管部门审查。容本项目租赁蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区标准厂房8#楼的一层及二层进行生产，一层用于生产，二层用于办公，项目分两期进行，本次评价不包含封装车间的所有工序，如需增加，需另行评价。详细建设内容见下表：表2-1建设内容一览表工程名称单项工程名称项目工程内容备注主体工程生产车间依托厂房新建—10—外延生产车间的外延生长，建筑面积200m2辅助工程办公楼位于8#楼2层的东南侧，用于员工的办公，建筑依托厂房新建研发中试中心位于8#楼1层的西侧，用于产品的研发，建筑面依托厂房新建公司介绍、产品方案展示中心位于8#楼1层的东侧，用于公司的介绍，产品、方案的展示，建筑面积900m2依托厂房新建气站位于生产车间的北侧，用于原料气体的存放，建依托厂房新建可燃性气房位于生产车间的北侧，用于可燃气体的存放建筑依托厂房新建储运工程原材仓位于8#楼1层的生产车间的南侧，用于原材料的存放，建筑面积100m2依托厂房新建成品仓位于8#楼1层生产车间的北侧，用于成品的存放，建筑面积100m2依托厂房新建公用工程供电依托园区供电管网依托供水项目用水由市政供水管网提供依托排水生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，处理达标后排入北淝河依托环保工程废气处理焚烧炉+1根15m高排气筒(DA001)新建废水处理生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，处理达标后排入北淝河依托噪声处理基础设施减振、厂房隔声新建固废处理一般固废暂存间：位于8#楼1层的北侧，用于一般固废的存放，建筑面积20m2依托厂房新建风险防护/加强安全教育培训和宣传；配备完善的消防措施；设置事故池、应急预案新建、产品方案产品方案见下表。表2-2产品方案及规模一览表序号产品类别项目产能(万片)规格/型号生产时间(h/a)1SiC外延片4.8长宽高：10*10*6.5m订制型号：SiCCVD5280产设备本项目主要生产设备明细见下表。—11—表2-3项目主要设备一览表设备名称型号/规格项目设备数量单位位置1外延CVD设备台SiCCVD–CX-00120KW台外延车间2氢气纯化器设备台3KW5台3氮气纯化器设备台3KW5台4氩气纯化器设备台3KW5台5尾气处理设施套5KW5台6外延层厚度测试仪台CVP-211kw1台测试车间7外延层掺杂浓度测试仪台CVP-L-21台表面缺陷测试仪台NPL-C1台拉曼测试仪个NL-0P5KW1台5、主要原辅材料及用量、理化性质(1)主要原辅材料及用量项目主要原辅材料及用量详见下表。表2-4项目主要原辅材料及其用量一览表名称单位性状规格项目用量最大存储量存储周期存储位置1硅烷a气体44L/瓶2640440个月可燃性气房2a气体44L/瓶2640440个月3三氯氢硅a气体44L/瓶2640440个月4高纯氢气a气体44L/月气站6高纯氮气a气体44L/瓶26400035200个月7高纯氩气a气体38L/瓶9120019000个月8SiC晶片片10片/盒4800010000个月原料库(2)理化性质本项目主要原材料理化性质见下表：表2-5主要原辅材料理化性能一览表序号原料成分理化性质、毒性和风险性1丙烷丙烷的分子式为C3H8，分子量为44.10。丙烷为无色气体，无臭。熔点为-187.6℃，沸点为-42.1℃，微溶于水，溶于乙醇、乙醚。在低温下容易与水生成固态水合物，引起天然气管道的堵塞。丙烷在较高温度下与过量氯气作用，生成四氯化碳和四氯乙烯Cl2C=CCl2；在气相与硝酸作用，生成1-硝基丙烷CH3CH2CH2NO2、2-硝基丙烷(CH3)2CHNO2、硝基乙烷CH3CH2NO2和硝基甲烷CH3NO2的混合物燃气体；与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热源和明火有—12—燃烧爆炸的危险；与氧化剂接触会剧烈反应；气体比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃2三氯氢硅Ngcm\相对密度(气体，空气=1):自燃点：104.4P；闪点：-27.8G爆炸极限：6.9〜70%；毒性级别：3：易燃性级别：4：易爆性级别：2，能溶于苯、氮仿和二硫化碳。在空气中极易燃烧，在-18C以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发岀红色火焰和白色烟，生成SiO2.HC1和Ch。三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。贮存三氯気硅的容器为常压容器，发生泄漏时应针对不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切断泄漏源，用砂土、水泥吸收残留液。3氢气常温常压下，翅气是一种极易燃烧，无色透明、无臭无味且难溶于水的气体。在1标准大气圧和0C.氢气的密度为0.089g/L：难溶干氛气的性质很稳定，不容易跟其它物质发生化学反应。但当条件改变时(如点燃、加热、使用催化剂等)，情况就不同了，如気气被杷或钳等金属吸附后具有较强的活性(特别是被紀吸附)。金惱杷对氢气的吸附作用最强。当空气中的体积分数为4%-75%时，遇到火源，可引起爆炸。灭火剂：雾状水、泡沫、二氧化碳、干粉。4氮气氮气，化学式为N₂，为无色无味气体。氮气化学性质很不活泼，在高温高压及催化剂条件下才能和氢气反应生成氨气；在放电的情况下才能和氧气化合生成一氧化氮，大气中约有4，000万亿吨气体，其中氮气占78%。氮气微溶于水和酒精。它是不可燃的，被认为是一种窒息性气体(即呼吸纯净的氮气会剥夺人体的氧气)。尽管氮被认为是一种惰性元素，但它会形成一些非常活跃的化合物。它可用作稀释剂并控制自然的燃烧和呼吸速率，在较高的氧气浓度下会更快。氮可溶于水和酒精，但基本上不溶于大多数其他液体。它在生活中是必不可少的，其化合物可用作食物或肥料。氮用于制造氨和硝酸。氮气在环境温度和中等温度下基本上是惰性气体。因此，大多数金属都容易处理它。在升高的温度下，氮可能对金属和合金具有侵蚀性5氩气氩气是一种无色、无味的单原子气体，相对原子质量为39.948。一般由空气液化后，用分馏法制取氩气。氩气的密度是空气的1.4倍，是氦气的10倍。氩气是一种惰性气体，在常温下与其他物质均不起化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，在焊接有色金属时更能显示其优越性，熔点：-189.2℃，沸点：-185.9℃，密度：1.784kg/m3[4]；1394kg/m³(饱和液氩，1atm)，外观：无色无臭气体，溶解性：微溶于水，6无色稍有气味的气体，密度为1.256g/L，比空气的密度略小，度溶于水，易溶于四氯化碳等有机溶剂.凝固点：-169.4C，相对密度：温下极易被氧化剂氧化，易燃烧・与空气混合能形成爆炸性混合物.遇明火、高热或与氧化剂接触•有引起燃烧爆炸的危险。与疯、氯等接触会发生剧烈的化学反应。灭火方法：切断气源。若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰.喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。火火剂：泡沫、二氧化碳、干粉。—13—6、公用系统能耗公用系统能耗见下表：表2-6项目公用系统能耗明细表序号名称规格单位项目消耗量1水t//t//2电380/220V、50HZ万度/年40施(1)供电：接入园区供电电网。(2)供水：项目用水由市政供水管网提供。(3)排水：生活污水通过化粪池处理，处理达蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂接管标准及《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)后(两者标准从严执行)，排入市政污水管网，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，处理达标后排入北淝河。8、劳动定员及制度工时项目劳动定员100人，3班制，每班工作8小时，年工作220天，规划不提供就餐及住宿。9、平面布置及说明本次项目租赁标准厂房8#楼的一层及二层区域，一层为生产车间，用于产品生产，2层为办公区域，用于员工办公。8#楼一层中部为外延生长车间，西侧为研发中试中心，东侧为公司介绍、产品方案展示中心，原料库位于一层车间的南侧，成品仓在一层车间的北侧，气站位于外延生长车间的北侧。项目依托现有雨污管网，生产生活分开，平面布置较合理。10、环境相容性分析本项目位于蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，为规划的工业园区，园区四周均为工业企业，根据现场勘查，项目500m范围内无环境敏感点，项目建设与四周环境相容。本项目租赁蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区标准化厂房进行生产，工艺只包含运营期，具体的生产工艺详如下：—14—一、运营期：图1生产工艺流程图工艺流程简述：1.腔体抽真空：生产过程首先对反应腔体抽真空，保证压力在10-8Mpa以下2.刻蚀：对抽真空的反应腔体压力稳定至1MPa，升温至1400℃，并稳定10min，然后加热至一定温度，进行氢气载气加不同流量的三氯氢硅刻蚀5min，刻蚀过程中，会增加碳化硅衬底表面粗糙度，在表面形成台阶，促进台阶流稳定生长。3.外延生长：刻蚀结束后通入氮气，确保刻蚀气体完全排出后，再逐步通入生长源气体(硅烷(20mL/min)、乙烯(10mL/min)、氮气(20mL/min)由高纯氢气(80L/min)稀释)，开始外延生长30min，生长温度为1550℃，压强为10000Pa，生长结束后降温度至室温，外延CVD设备自带冷却腔。在更换气体罐时在反应腔体内充入氩气，保护碳化硅衬底片不被其他气体腐蚀，在外延生长过程中氮气作为外延过程中的掺杂源，可控制外延层的载流子浓度和导电性能，硅烷、乙烯分别作为外延中的硅源和碳源。参与反应的气体为硅烷和乙烯，反应方程式为∶2SiH4+C2H4→2SiC+6H2项目生产过程中主要产生的污染物为外延废气、不合格产品。废气主要为VOCs，外延生长过程中设备全封闭，产生的外延废气直接通过管道进入设备自带的尾气处理装置。—15—本项目为新建项目，租赁安徽省蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区标准化厂房进行生产，经过现场勘查，租赁厂房为新建厂房，不存在与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题。—16—三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准环境质量现状区域环境质量现状如下：(1)项目所在区域达标判断根据《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ2.2-2018)，项目所在区域达标判定，优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据或结论，本次评价采用蚌埠市生态环境局发布的《2019年蚌埠市环境质量状况》中的各污染物的平均浓度，具体污染因子年均浓度见下表：表3-12019年年均浓度单位µg/m3(CO为mg/m3)污染物年评价指标单位评价标准现状浓度μg/m3占标率%达标情况PM2.5年平均μg/m33554154.3%不达标PM10年平均μg/m370121.4%不达标SO2年平均μg/m36026.7%达标NO2年平均μg/m3403895%达标CO24小时平均第95百分位数mg/m3435%达标O3小时滑动平均值的第90百分位数μg/m3不达标根据导则分析，SO2、NO2、CO、O3、PM10、PM2.5六项污染物全部达标即为区域环境空气质量达标，根据安徽省蚌埠市2019年对全市环境质量统计结果分析，该区域PM10、PM2.5、O3三项指标均超标，因此认定该区域为空气质量不达标区。根据《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ2.2-2018)要求，不达标区建设项目选择大气污染治理设施、预防措施或多方案比选时，应优先考虑治理效果，结合达标规划和替代源削减方案的实施情况，在只考虑环境因素的前提下选择最优技术方案，保证大气污染物达到最低排放强度和排放浓度，—17—并使环境影响可以接受。(2)其他污染物环境质量现状评价由于本项目生产的特点，项目大气特征污染物为非甲烷总烃，非甲烷总烃由安徽省佳逸环保科技有限公司于2021年07月21日-23日检测。具体监测数据如下：表3-2环境空气质量现状监测结果单位：mg/m3检测点位北郢村采样日期非甲烷总烃2021.07.21小时平均0.30120.562020.07.22小时平均0.590340.252020.07.23小时平均0240.350.31051由上表可知，非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准详解》中相关标准要求，说明项目区域大气环境质量现状较好。—18—2、地表水环境：根据《环境影响评价技术导则地表水环境》(HJ2.3-2018)，应调查受纳水体近3年的水环境质量数据，建设项目评价区域内的地表水体为浍河，本次评价引用蚌埠市生态环境局公布的《蚌埠市2019年环境质量概况》。监测断面水质类别均符合《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中Ⅲ类标准，水质状况良好，与上年相比无明显变化。2019年淮河蚌埠段支流5个监测断面中沱河关咀断面水质类别符合Ⅲ类标准，水质状况良好，与上年相比有所好转；怀洪新河五河断面水质类别劣于Ⅲ类标准，为Ⅳ类，水质状况轻度污染，与上年相比有所下降；涡河龙亢断面水质类别符合Ⅳ类标准，水质状况轻度污染，与上年相比有所下降；浍河蚌埠固镇和湖沟2个断面水质类别符合Ⅳ类标准，水质状况轻度污染，与上年相比无明显变化。3、声环境质量本项目为新建项目，周边50m范围内无居民等敏感点，根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》可不对声环境进行监测。综上所述，项目所在区域空气、地下水环境不满足相应标准，地表水及声环境满足相应标准，区域环境质量基本良好。—19—环境保护根据对建设项目所地块周边环境现状的踏勘，安徽德徽创芯科技有限公司厂区位于固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区，项目厂区四周均为工业企业和市政道路，厂界外500米范围内，无自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区、居民点等保护目标；本项目主要环境保护目标见下表。表3-3地表水环境和声环境保护目标一览表环境要素环境保护对象名称方位距项目边界最近距离规模环境功能声环境厂界四周//《声环境质量标准》(GB3096-2008)3类标准水环境北淝河S23.5km小型《地表水环境质量标类标准注：本项目500m范围内，无大气环境敏感点。污染物排放控制标准生活污水经化粪池预处理后，达到蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂接管标准、《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中的三级标准、《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)后(标准从严执行)，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理。具体标准见下表：表3-4废水排放标准项目pHCODBOD5NH3-N蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂接管标准6~9500/35035《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中的三级标准6~9500300400/《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中间接排放标准6~9500/40045本厂污水排放标准6~950030035035VOCs有组织执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297－1996)，具—20—体标准值详见下表；表3-5大气污染物排放浓度限值污染物名称最高允许排放浓度(mg/m3)排气筒高度排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值浓度(mg/m3)依据非甲烷总烃4.0《大气污染物综合排放)(GB12348-2008)中3类标准，具体标准见下表：表36运营期厂界噪声排放标准单位：dB(A)时间段标准类别昼间夜间运营期《工业企业厂界环境噪声排放标准》GB12348-2008中3类6555体废物一般固废处理处置执行一般固废处理处置执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)、《中华人民共和国固体废物污染—21—总量控制指标关于进一步加强建设项目新增大气主要污染物总量指标管理工作的通知 (安徽省环保厅(皖环发【2017】19号))，为进一步加强大气主要污染物源头管控，有效落实《大气污染防治行动计划》、《建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法》等，确保大气环境质量改善目标任务顺利完成，现就加强建设项目新增大气主要污染物总量指标管理工作通知如下：自2017年4月起，新增大气主要污染物排放的建设项目环境影响评价文件审批前必须取得的总量指标从两项增加为四项。在二氧化硫(SO2)、氮氧化物(NOx)的基础上增加烟(粉)尘、挥发性有机物(VOCs)两项指标。项目无生产废水，生活污水经化粪池预处理后，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，总量纳入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂总量范围内，不申请总量。项目申请总量为VOCs：0.163t/a。—22—四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施本项目为新建项目，租赁安徽省蚌埠市固镇县新马桥镇蚌埠铜陵现代产业园区标准化厂房进行生产，施工期已结束，本次评价不做分析。运营期环境影响和保护措施一、废气1、项目废气源强分析(1)外延生长废气根据企业提供生产工艺可知，本项目在外延生长过程中会产生一定量的有机废气(氢气、硅烷、乙烯)，以非甲烷总烃计，产生的外延废气直接通过管道进入设备自带的尾气处理装置，故本项目无无组织废气产生。有机废气进入焚烧炉内，通过电加热和压缩空气进行焚烧(焚烧温度≤800℃)，处理后的废气通过15m高排气筒(DA001)排放。尾气焚烧炉内发生的化学反应为∶2H2＋O2=2H2OC2H4+3O2=2H2O＋2CO2SiH4+2O2=SiO2+2H2O在外延生长过程中99%的气体参与反应，项目外延生长原料使用量为163680l/a，则产生的有机废气(VOCs)的量为1.63t/a，工作时间每日24小时，年工作220天，风机风量为2000m3/h，焚烧炉的处理效率为90%，VOCs的排放表4-1项目有组织废气产排情况一览表产排污环节排放形式污染物种类产生量(t/a)产生速率(kg/h)产生浓(mg/m3)风量(m3/h)治理措施排放量(t/a)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)外延生长有组织VOCs0.31154.352000焚烧炉+1排气筒(DA001)0.0343—23—表4-2项目废气治理设施一览表污染源污染工序污染物排气筒编号治理措施处理能力%收集效率%治理工艺去除率%是否为可行技术排放标准外延车间外延生长VOCsDA001根15m高排气筒 (DA001)900是《大气污染物综合排放标准》(GB16297－1996)表4-3项目有组织废气排放口基本信息一览表编号名称排气筒底部中心坐标(经纬度)排气筒高度/m排气筒出口内径/m烟气温度/℃排放型经度纬度DA001外延生长废气排放口117.4008370.325一般排放口2、污染防治措施及达标分析外延生长废气：项目共10台外延CVD设备，产生的有机废气通过设备自带的尾气处理装置，进入焚烧炉内，通过电加热和压缩空气进行焚烧(焚烧温度≤800℃)，处理后的废气通过15m高排气筒(DA001)排放。经净化后的排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297－1996)中相关的标准限值的要求。综上所述，本项目废气经上述环保措施后，可达标排放，对环境影响很小。3、废气污染物自行监测计划根据《排污单位自行监测技术指南总则》(HJ819-2017)、《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031—2019)，废气自行监测计划如下：表4-4有组织废气监测方案序号监测点位监测因子监测频率1外延生长废气排放口(DA001)非甲烷总烃1次/年—24—二、废水1、废水污染物源强分析本项目生产不用水，仅有生活污水。679─2014)，职工生活用水按50L/d·人，生活污水排污系数以0.8计。生活污水通过化粪池处理，处理达到蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂接管标准、《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中的三级标准、《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)后(标准从严执行)，排入市政污水管网，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，处理达标后排入北淝河。表4-5项目用、排水量分析序号用水项目用水定额用水量排水量t/dt/t/t/dt/t/1职工生活用水54880合计—54880项目水平衡图如下所示：图2项目水平衡图单位：t/d表4-6项目废水产生及排放情况表污染物CODcrBOD5氨氮生活污水产生浓度(mg/L)32020020020产生量(t/a)0.2820.018经化粪池处理后浓度(mg/L)280经化粪池处理后量(t/a)0.2460.016本厂污水排放标准(mg/L)50030035035—25—《城镇污水处理厂污染物排放标准》一级A标准(mg/L)505经污水处理厂处理后排放量(t/a)0.0440.0090.0090.004表4-7建设项目废水间接排放口基本情况表序号排放口编号排放口名称排放口地理坐标排放去向经度纬度1DW001废水总排口117.400644蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂4、废水污染物自行监测计划项目无生产废水，生活污水通过化粪池处理，排入市政污水管网，进入蚌埠铜陵现代产业园污水处理厂处理，处理达标后排入北淝河。根据《排污单位自行监测技术指南总则》(HJ819-2017)、《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》(HJ1031—2019)，废气自行监测计划如下：表4-4有组织废气监测方案序号监测点位监测因子监测频率1生活污水总排放口(DW001)流量、化学需氧量、氨氮1次/年三、噪声1、噪声源强及防治措施项目噪声主要来自于设备运行过程中产生的噪声，在采取厂房布局、隔声、减振、降噪、设备维护等方面考虑噪声防治措施。具体噪声源见下表。表4-8项目噪声源的平均声压级设备名称产生强度(dB(A))降噪措施排放强度(dB(A))持续时间h/a1外延CVD设备75-85隔声、减震、噪声衰减、合理布局、选用低噪声设备6052802氢气纯化器设备70-7552803氮气纯化器设备70-7552804氩气纯化器设备70-7552805尾气处理设施75-8052806外延层厚度测试仪70-7552807外延层掺杂浓度测试仪70-75555280—26—8表面缺陷测试仪70-755552809拉曼测试仪70-75555280响预测工业噪声预测模式采用《环境影响评价技术导则·声环境》(HJ2.4—2009)中对工业企业噪声预测模式进行预测，考虑遮挡物、空气吸收衰减、地面附加衰减，对某些难以定量的参数，查相关资料进行估算。根据按声能量在空气传播中衰减模式计算出某声源在环境中任意一点的声压级。由于本项目声源均设置于室内，预测步骤如下：①首先计算出某个室内靠近围护结构处的声压级：式中：L1——某个室内声源在靠近围护结构处产生的声压级；Lw——某个声源的声功率级；r1——室内某个声源与靠近围护结构处的距离；R——房间常数，根据房间内壁内壁的平均吸声系数与内壁总面积计算；Q——方向因子，半自由状态点声源Q＝2；②计算出所有室内声源在靠近围护结构处产生的声压级：③计算出室外靠近围护结构处的声压级：式中：TL——构件隔声损失，双面粉刷砖墙。④将室外声级L2(T)和透声面积换算成等效的室外声源，计算出等效声源的式中：S为透声面积，m2。⑤采用户外声传播衰减公式预测各主要施工机械噪声对环境的影响。—27—式中：Lp(r)—距声源r处预测点噪声值，dB(A)；Lp(r0)—参考点r0处噪声值，dB(A)；Adiv—几何发散衰减，dB(A)；Aatm—大气吸收衰减，dB(A)；Abar—屏障衰减，dB(A)；Agr—地面效应，dB(A)；Amisc—其他多方面效应衰减，dB(A)；r—预测点距噪声源距离，m；r0—参考位置距噪声源距离，m。⑥噪声贡献值计算：设第i个室外声源在预测点产生的A声级为LAi，在T时间内该声源工作时间为ti，第j个等效室外声源在预测点产生的A声级为LAj，在T时间内该声源工作时间为tj，则拟建工程声源对预测点产生的贡献值(Leqg)为：tj——在T时间内j声源工作时间，s；ti——在T时间内i声源工作时间，s；T——用于计算等效声级的时间，s；N——室外声源个数；M——等效室内外声源个数。利用上述模式可以预测分析该项目主要声源同时排放噪声的最为严重影响状况下，这些声源对边界声环境质量叠加影响。、预测结果选择《环境影响评价技术导则－声环境》(HJ2.4-2009)中推荐的工业噪声预测模式进行预测：本项目的计算声源中，所有室内源均按导则要求经过换算，等效于室外点源，并根据治理措施降噪后的声级值，再进行衰减的分布计算。—28—根据项目设备布置情况及距离各场界距离，经计算，项目厂界噪声情况如下表所示：表4-9项目厂界噪声预测结果单位：dB(A)预测点贡献值昼间夜间达标情况东厂界51.547.5达标西厂界50.348.7达标南厂界54.345.6达标北厂界52.944.8达标项目噪声经减振、建筑隔声以及距离衰减后，由预测分析结果可知，建设项目厂界噪声的预测值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求，项目噪声对区域声环境影响较小。4、声环境监测计划表4-10声环境监测计划一览表序号监测点位监测项目频率执行标准1各一个监测点声1次/季度《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求四、固体废物1、固废产排情况本项目产生的固体废物及处置措施如下：生活垃圾：项目劳动定员100人，生活垃圾排放系数按0.5kg/人·d，则生活垃圾产量为11t/a，交由环卫部门处理。不合格品：项目会产生一定量的不合格品，根据企业提供资料，年产生量约为1000片，收集后，交由物资回收单位回收再利用。表4-11项目运营期固废产生及处置情况单位：t/a名称类别代码代码属性物理性状贮存方式产生量利用处置方式和去向利用或处置量1生活垃圾99900-999-99生活垃圾袋装交由环卫部门处理—29—2不合格品99900-999-99一般废物袋装0.1交由物资回收单位回收再利用产0.12、环境管理要求(1)一般工业固废：①要按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)中规定其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。②按照《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2020年04月30日)有关规定设置暂存场所，具体处置要求如下：第十八条建设项目的环境影响评价文件确定需要配套建设的固体废物污染环境防治设施，应当与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用。建设项目的初步设计，应当按照环境保护设计规范的要求，将固体废物污染环境防治内容纳入环境影响评价文件，落实防治固体废物污染环境和破坏生态的措施以及固体废物污染环境防治设施投资概算。建设单位应当依照有关法律法规的规定，对配套建设的固体废物污染环境防治设施进行验收，编制验收报告，并向社会公开。第十九条收集、贮存、运输、利用、处置固体废物的单位和其他生产经营者，应当加强对相关设施、设备和场所的管理和维护，保证其正常运行和使用。第二十条产生、收集、贮存、运输、利用、处置固体废物的单位和其他生产经营者，应当采取防扬散、防流失、防渗漏或者其他防止污染环境的措施，不得擅自倾倒、堆放、丢弃、遗撒固体废物。禁止任何单位或者个人向江河、湖泊、运河、渠道、水库及其最高水位线以下的滩地和岸坡以及法律法规规定的其他地点倾倒、堆放、贮存固体废物。第三十六条产生工业固体废物的单位应当建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账，如实记录产生工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现工业固体废物可追溯、可查询，并采取防治工业固体废物污—30—染环境的措施。禁止向生活垃圾收集设施中投放工业固体废物。第三十七条产生工业固体废物的单位委托他人运输、利用、处置工业固体废物的，应当对受托方的主体资格和技术能力进行核实，依法签订书面合同，在合同中约定污染防治要求。受托方运输、利用、处置工业固体废物，应当依照有关法律法规的规定和合同约定履行污染防治要求，并将运输、利用、处置情况告知产生工业固体废物的单位。产生工业固体废物的单位违反本条第一款规定的，除依照有关法律法规的规定予以处罚外，还应当与造成环境污染和生态破坏的受托方承担连带责任。第三十八条产生工业固体废物的单位应当依法实施清洁生产审核，合理选择和利用原材料、能源和其他资源，采用先进的生产工艺和设备，减少工业固体废物的产生量，降低工业固体废物的危害性。第三十九条产生工业固体废物的单位应当取得排污许可证。排污许可的具体办法和实施步骤由国务院规定。产生工业固体废物的单位应当向所在地生态环境主管部门提供工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等有关资料，以及减少工业固体废物产生、促进综合利用的具体措施，并执行排污许可管理制度的相关规定。第四十条产生工业固体废物的单位应当根据经济、技术条件对工业固体废物加以利用；对暂时不利用或者不能利用的，应当按照国务院生态环境等主管部门的规定建设贮存设施、场所，安全分类存放，或者采取无害化处置措施。贮存工业固体废物应当采取符合国家环境保护标准的防护措施。建设工业固体废物贮存、处置的设施、场所，应当符合国家环境保护标准。第四十一条产生工业固体废物的单位终止的，应当在终止前对工业固体废物的贮存、处置的设施、场所采取污染防治措施，并对未处置的工业固体废物作出妥善处置，防止污染环境。(2)生活垃圾：按照《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2020年04月30日)—31—有关规定设置暂存场所，具体处置要求如下：第四十九条产生生活垃圾的单位、家庭和个人应当依法履行生活垃圾源头减量和分类投放义务，承担生活垃圾产生者责任。任何单位和个人都应当依法在指定的地点分类投放生活垃圾。禁止随意倾倒、抛撒、堆放或者焚烧生活垃圾。机关、事业单位等应当在生活垃圾分类工作中起示范带头作用。已经分类投放的生活垃圾，应当按照规定分类收集、分类运输、分类处理。第五十条清扫、收集、运输、处理城乡生活垃圾，应当遵守国家有关环境保护和环境卫生管理的规定，防止污染环境。从生活垃圾中分类并集中收集的有害垃圾，属于危险废物的，应当按照危险废物管理。本项目固废按要求经采取以上处置措施后，实现无害化，对周围环境影响较小。五、地下水、土壤环境影响分析及防治措施本项目生产不对地下水、土壤造成影响。六、环境风险影响分析对照《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ/T169-2018)，本项目不构成重大危险源。本项目涉及物质部分具有可燃、有毒等特性，这些物质在生产、贮运、使用以及废物处置过程中，不可避免地会通过泄漏等途径进入环境，对生态环境和人体健康造成危害。1、风险物质危险性辨识根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)和《环境风险评价使用技术和方法》规定，风险评价首先确定建设项目所用原辅材料的毒性、易燃易爆等危险性级别。项目使用的原辅材料具有易燃易爆特性。在运输过程中采用汽车运输，存储于车间内的可燃性气房。项目在生产过程中使用的主要危险物质见下表：—32—表4-13主要化学品贮存量一览表序号危险物质风险源分布可能影响途径1硅烷可燃性气房泄漏2泄漏2、环境风险分析根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)附录A规定，本项目环境风险分析见下表。表4-14环境风险分析表环境要素事故类型危害后果环境空气火灾/爆炸本项目使用气体硅烷、乙烯等在与空气接触时易燃烧，乙烯与空气混合会形成爆炸性混合物。遇明火、髙热或与级化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险，引发火灾或爆照后会产生SO2、CO、NOx等废气污染物，上述物质会严重影响局部环境空气质量，甚至引起人员中毒。地表水火灾/爆炸火灾、爆炸时，消防废液如不能妥善收集和控制，会影响地表水环境。泄漏在雨季，发生硅烷、乙烯泄漏时，污染物会随雨水外流，从而会影响地表水环境。地下水火灾/爆炸火灾、爆炸时，消防废液如不能妥善收集和控制，会影响当地地下水环境。3、风险防范措施(1)原料储存使用措施外延车间、可燃性气房属丁类工业厂房，耐火等级为二级，硅烷、乙烯等化学品应符合化学品储存的相关条件(如防晒、防潮、防火、通风、防雷、防给静电等)，实施危险化学品的储存和使用：建立健全安全规程及执勤制度，设置通讯、报警装置.确保其处于完好状态。对具有爆炸危险的区域(气体交接区，可燃性气体房)设有防爆与泄爆面积和安全的泄爆方向，应设置防爆墙体和防爆门，区域内设置急救措施，设置事故排风系统且采用防爆排风机。设置完整的火灾报警、消防联动控制系统及消防灭火系统。(2)消防防范措施本项目一旦发生硅烷、乙烯泄漏遇明火，可能会导致火灾，在灭火过程中将产生消防废水。为此，本次评价提出建设单位应建设一定容量的事故池，以—33—接纳事故情况下排放的污水，保证事故情况下不向外环境排放污水。在事故结束之后，将事故池中的污水在保证不会导致污水处理厂负荷过载的情况下将污水逐步排入污水处理厂进行处理。根据《水体污染防控紧急措施设计导则》对应急事故池大小的规定：V总＝(V1＋V2-V3)max+V4+V5注：计算应急事故废水量时，装置区或贮罐区事故不作同时发生考虑，取其中的最大值。V1——最大一个容量的设备或贮罐。V2——发生事故的装置的同时使用的消防设施给水流量，一次事故收集的消防废水量为48.6m3。注：消防用水计算：依据《建筑设计防火规范》(GB50016-2014)，本项目涉及的厂房为使用或产生可燃物质的厂房，属于丁2类厂房，全厂同一时间内的火灾次数为一次，消防用水量按全厂需水量最大处考虑。最大小时消防用水最大点和一次火灾消防最大用水点发生在生产车间，其消防灭火设施包括室内外消火栓。计算过程如下：表4-15消防水池容积核算表序号名称危险类别等级设计水量延火时间所需水量(m3)1生产车间丁类二级室内10L/s3h48.6室外35L/s3hV3——发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量。V3为50m3；V4——发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量。V4=0。V5——发生事故时可能进入该收集系统的降雨量，V5=48.26m3通过以上基础数据可计算得本项目的事故池容积约为：V总=46.86m3。根据上述计算结果，建议设置50m3的事故废水池，能够满足项目事故废水要求。(3)事故废水防范措施—34—厂区消防水采用独立稳定的消防供水系统，并配备有消防栓及固定式泡沫灭火器材。因火灾、爆炸等产生的事故废水、消防废水导入事故水池；事故排除后，将废水处理达到相应环境标准后排放，避免直接排放对环境造成严重影本项目新建消防事故水池，容量为50m3，可以满足消防事故状态下的废水容量，同时要求项目单位应做好消防事故水池防渗处理。因此，在事故状态下，废水不会出现外排，不会对周围地表水及地下水产生不利影响。若发生火灾时，大量消防水可能排出厂外，对外部水环境可能造成严重污染。针对拟建项目污染物来源及其特性，以实现达标排放和满足应急处置为原则，建立污染源头、处理过程和最终排放的“三级防控”机制。一