三自由度机械手论文：太阳能硅片移送用三自由度机械手的研究

三自由度机械手论文：太阳能硅片移送用三自由度机械手的研究【中文摘要】工业机器人正在逐步取代人工完成某些复杂工作,硅片制造业对环境洁净度要求极高,为了提高精度及效率,大量采用机器人来代替人工完成加工、搬运等工作。本课题以太阳能硅片移送用三自由度机械手为研究核心,开发出一种基于笛卡尔直角坐标系的专门用于太阳能硅片自动搬运的高精度机械手,该机械手定位精度高,控制简单,可取代人工搬运方式,实现太阳能硅片生产的局部自动化。本文首先探讨机械手的机械结构,分析了各种坐标形式的机械手结构,最终选定了直角坐标形式。机械手采用滚珠丝杠副实现三个方向的运动,并根据该机械手的性能要求及特点,确定开环控制方式,采用步进电动机作为机械手的驱动元件,PLC作为控制核心,由此确定了硅片移送机械手的整体结构与控制系统。针对硅片移送快速的性能要求,本文对机械手进行了时间最优轨迹规划,使机械手完成搬运的时间最短。然后根据时间最优轨迹路进行了插补运算,采用直线插补与圆弧插补两种方法,并且根据步进电动机特点提出具体执行方式。在太阳能硅片移送机械手软件程序开发时,采用顺序设计方法编写梯形图程序,并对PLC内部存储空间进行合理分配。最后完成了该机械手的组装与调试,通过不同试验验证了机械手的性能。分析了重力作用下形变对于机械手误差及定位精度的影响,采用脉冲补偿法进行补偿,补偿后减少了机械手的误差。【英文摘要】Industrialrobotsaregraduallyreplacingthemanualtocompletesomecomplexwork，wafermanufacturingrequiresahighdegreeofenvironmentalcleanliness．Inordertoimproveaccuracyandefficiency，alargenumberofrobotsbeingusedtoreplacethemanualcompletionofprocessing，handlingandotherwork．Thispapertakesthesolarwafertransferrobotwiththreedegreesoffreedomastheresearchcore，developedaspecializedsolarwafersforhigh-precisionautomatichandlingrobotbasedonDescartesCartesiancoordinatesystem．Thismanipulatorhashighpositioningaccuracy，simplecontrol，andcanreplaceartificiallyhandlingmethodstorealizethelocalautomationproductionofsolarwafers．First，thispaperdiscussesthemechanicalstructureofthemanipulator，analyzesthestructureofthemanipulatorofcoordinates，andfinallyselectedtherectangularcoordinateform．Robotadoptsballscrew-toachievethemovementinthreedirections．Open-loopcontrolmodeisdeterminedaccordingtotheperformancerequirementsandfeaturesoftherobot．Adoptsteppermotorasamanipulatordrivecomponent，PLCascontrolcore，thendefinetheoverallstructureandcontrolsystemofthewafertransferrobot．Accordingtotheperformancerequirementsofwafertransferredfast，thispaperconductedatimeoptimalrobottrajectoryplanningtomakethemanipulatorhandlingcompleteintheshortesttime．Theninterpolationoperationisusedaccordingtotimeoptimaltrajectoryroad．Usingthestraight-lineinterpolationandcircularinterpolation，andproposetheconcreteimplementationaccordingtothecharacteristicsofsteppingmotor．Whendevelopingsolarwaferstomanipulatorsoftwareprogram，ladderispreparedbysequentialdesignprocedure，andreasonabledistributionofPLCinternalstoragespace．Finally，therobotcompletestheassemblyandcommissioning．Performanceoftherobotisverifiedthroughdifferenttests．Analyzedthegravitydeformationlocalizationaccuracyforerrorandtheinfluenceofpositioningaccuracy．Usingpulsecompensationtocompensatetoreduceerrorofthemanipulator．【关键词】三自由度机械手步进电动机时间最优轨迹规划插补脉冲补偿【英文关键词】ThreeDOFManipulatorStepperMotorTimeoptimaltrajectoryplanningPulseCompensation【目录】太阳能硅片移送用三自由度机械手的研究

摘要

4-5

ABSTRACT

5

第1章绪论

8-18

1.1课题研究的背景

8-9

1.2课题的目的及意义

9

1.3机器人概述

9-12

1.3.1机器人的分类

9-10

1.3.2国外机器人发展状况

10-11

1.3.3我国机器人发展状况

11-12

1.4硅片传输机械手相关技术及发展状况

12-15

1.4.1硅片传输机械手的发展

12-15

1.4.2硅片传输机械手的发展趋势

15

1.5机械手运动轨迹规划概述

15-16

1.5.1机械手轨迹规划方法概述

15-16

1.5.2机械手时间最优轨迹规划方法

16

1.6本文的主要研究内容

16-18

第2章机械手机电系统的设计

18-31

2.1引言

18

2.2三自由度机械手的机械系统设计

18-26

2.2.1机械手坐标形式的分析

18-20

2.2.2机械手机械结构的设计

20-23

2.2.3结构形变误差的分析

23-26

2.3三自由度机械手的电气系统设计

26-30

2.3.1负载转矩及转动惯量

26-27

2.3.2电气系统执行部件的选择

27-28

2.3.3机械手驱动控制系统的设计

28-30

2.4本章小结

30-31

第3章机械手运动轨迹规划及插补算法

31-42

3.1引言

31

3.2机械手轨迹规划

31-37

3.2.1轨迹规划方法

31

3.2.2三自由度机械手时间最优轨迹规划

31-37

3.3机械手运动轨迹插补

37-41

3.3.1直线和圆弧运动轨迹插补

38-40

3.3.2插补运动轨迹的执行

40-41

3.4本章小结

41-42

第4章系统的软件设计及实验

42-59

4.1引言

42

4.2顺序程序设计

42-51

4.2.2控制系统流程图

42-45

4.2.3PLC存储空间分配

45

4.2.4插补流程

45-47

4.2.5系统的软件程序设计

47-51

4.3系统实验

51-56

4.3.1电气系统