微机电系统(MEMS)的学习56张课件

微机电系统Micro-ElectroMechanicalSystems微机电系统1引言G信息系统微型化系统体积大大减小性能、可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标:微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化>非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键引言2控制部分电子学微电子学机械部分传感执行MEMS控制部分3MonsterfliegenderHutschraubetderWeit"rea'eGres24mnlong,8mmhoeninidRo:arenTinosrtyingheicopteroftheworkrealsoSong:h24mmheghtammmnerangrotcRotoLaertesPaperDutcrmessor33mmFoNdpain:edDecamerer1semGeventohneerdos400mgwithoutpoint400mBear.Prunus,rendoitunierMoro:Lange5mDurchmesser24mmWording:h5mmdamorer2-MonsterfliegenderHutschraube4MEMS技术从广义上讲,MEMS是指集微型传感器、微型执行器信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于体的微型机电系统MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域,它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学运动匾妪匮型温度化学与其它系统的通信/接口蜜测量控制量MEMS技术5MEMS—微小型、智能、集成、高可靠SMEMS是人类科技发展过程一次重大的技术整合微电子技术、精密加工技术、传感器技术、执行器技术G微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成在芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变SMEMS极大地改善了人类生活的质量大批量、低成本的传感器生产方式给人们更多的保护MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长不是钢铁、汽车、微电子,而是微系统MEMS—微小型、智能、集成、高可靠6DEMODULATORBUFFERADI公司AMP生产的微SENSORLOAD加速度机RESISTORMEMMS芯|雪CARRIER片APACITORSENSOR口PREA内EFERENCESELFTESTDEMODULATOR7MEMS技术的应用MEMS在航空、航天、汽车、生物医环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息采集等等>已经制造出尖端直径为5μm的可以夹起一个红细胞的微型镊子,可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞机等MEMS技术的应用8MEMS技术的应用空间应用>用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验,正在进行飞行搭载实验微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础硏究通信方面光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展无线通信则要求增强功能(如联网等)和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统MEMS技术的应用9MEMS技术的应用在生物医学方面,将光、机、电、液、生化等部件集成在一起,构成一个微型芯片实验室,用于临床医学检测,为医生甚至家庭提供简单、廉价、准确和快捷的检测手段光显示、高密度存储、汽车、国防等微系统MEMS技术的应用10微机电系统(MEMS)的学习56张课件11微机电系统(MEMS)的学习56张课件12微机电系统(MEMS)的学习56张课件13微机电系统(MEMS)的学习56张课件14微机电系统(MEMS)的学习56张课件15微机电系统(MEMS)的学习56张课件16微机电系统(MEMS)的学习56张课件17微机电系统(MEMS)的学习56张课件18微机电系统(MEMS)的学习56张课件19微机电系统(MEMS)的学习56张课件20微机电系统(MEMS)的学习56张课件21微机电系统(MEMS)的学习56张课件22微机电系统(MEMS)的学习56张课件23微机电系统(MEMS)的学习56张课件24微机电系统(MEMS)的学习56张课件25微机电系统(MEMS)的学习56张课件26微机电系统(MEMS)的学习56张课件27微机电系统(MEMS)的学习56张课件28微机电系统(MEMS)的学习56张课件29微机电系统(MEMS)的学习56张课件30微机电系统(MEMS)的学习56张课件31微机电系统(MEMS)的学习56张课件32微机电系统(MEMS)的学习56张课件33微机电系统(MEMS)的学习56张课件34微机电系统(MEMS)的学习56张课件35微机电系统(MEMS)的学习56张课件36微机电系统(MEMS)的学习56张课件37微机电系统(MEMS)的学习56张课件38微机电系统(MEMS)的学习56张课件39微机电系统(MEMS)的学习56张课件40微机电系统(MEMS)的学习56张课件41微机电系统(MEMS)的学习56张课件42微机电系统(MEMS)的学习56张课件43微机电系统(MEMS)的学习56张课件44微机电系统(MEMS)的学习56张课件45微机电系统(MEMS)的学习56张课件46微机电系统(MEMS)的学习56张课件47微机电系统(MEMS)的学习56张课件48微机电系统(MEMS)的学习56张课件49微机电系统(MEMS)的学习56张课件50微