传感器课件数字式位置传感器

传感器课件数字式位置传感器2023/7/291第1页，课件共94页，创作于2023年2月第一节位置测量的方式

一、直接测量和间接测量

位置传感器有直线式和旋转式两大类。 若位置传感器所测量的对象就是被测量本身，即用直线式传感器测直线位移，用旋转式传感器测角位移，则该测量方式为直接测量。例如直接用于直线位移测量的直线光栅和长磁栅等；直接用于角度测量的角编码器、圆光栅、圆磁栅等。

若旋转式位置传感器测量的回转运动只是中间值，再由它推算出与之关联的移动部件的直线位移，则该测量方式为间接测量。

第2页，课件共94页，创作于2023年2月1.直接测量回转工作台旋转运动θ

利用角位移传感器直接测量工作台的角位移第3页，课件共94页，创作于2023年2月直接利用数字式直线位移传感器测量直线机床的位移量直接测量的误差较小光栅工作台运动方向第4页，课件共94页，创作于2023年2月2.间接测量

在间接测量中，多使用旋转式位置传感器。测量到的回转运动参数仅仅是中间值，但可由这中间值再推算出与之关联的移动部件的直线位移间接测量须使用丝杠-螺母、齿轮-齿条等传动机构。工作台丝杠编码器进给电机θ

x2023/7/295第5页，课件共94页，创作于2023年2月传动机构

滚珠丝杠螺母副、齿轮-齿条副等传动机构能够将旋转运动转换成直线运动。但应设法消除传导过程产生的间隙误差。齿距齿条齿轮θ

x第6页，课件共94页，创作于2023年2月滚珠丝杠螺母副

滚珠丝杠螺母副能够将减小传动磨檫力，延长使用寿命，减小间隙误差。螺母丝杠xθ

第7页，课件共94页，创作于2023年2月传动分析

设：螺距t=4mm，丝杠在4s时间里转动了10圈，求：丝杠的平均转速n(r/min)及螺母移动了多少毫米？螺母的平均速度v又为多少？螺母丝杠螺距x=？N=10圈2023/7/298第8页，课件共94页，创作于2023年2月

二、增量式和绝对式测量

在增量式测量中，移动部件每移动一个基本长度单位，位置传感器便发出一个测量信号，此信号通常是脉冲形式。这样，一个脉冲所代表的基本长度单位就是分辨力，对脉冲计数，便可得到位移量。绝对式测量的特点是：

每一被测点都有一个对应的编码，常以二进制数据形式来表示。绝对式测量即使断电之后再重新上电，也能读出当前位置的数据。典型的绝对式位置传感器有绝对式角编码器。增量式测量得到的脉冲波形第9页，课件共94页，创作于2023年2月第二节角编码器

角编码器又称码盘，是一种旋转式位置传感器，它的转轴通常与被测旋转轴连接，随被测轴一起转动。角编码器能将被测轴的角位移转换成二进制编码或一连串脉冲。角编码器有两种基本类型：绝对式角编码器和增量式角编码器。第10页，课件共94页，创作于2023年2月一、绝对式角编码器

绝对式码盘与增量式码盘有何区别？10码道光电绝对式码盘

绝对式角编码器按照角度直接进行编码。根据内部结构和检测方式有接触式、光电式、磁阻式等。

透光区不透光区零位标志第11页，课件共94页，创作于2023年2月绝对式测量角编码器

每一个微小的角位移都有一个对应的编码，常以二进制数据形式来表示。在绝对式测量中，即使中途断电，重新上电之后，也能读出当前位置的数据。10θ绝对式角编码器自然二进制码或格雷码01第12页，课件共94页，创作于2023年2月绝对式编码器（接触式）演示4个电刷4位二进制码盘+5V输入公共码道

最小分辨角度为α=360°/2n

2023/7/2913第13页，课件共94页，创作于2023年2月其他角编码器外形

（参考德国图尔克传感与自动化技术专业公司）2023/7/2914第14页，课件共94页，创作于2023年2月其他角编码器外形（续）2023/7/2915第15页，课件共94页，创作于2023年2月其他角编码器外形（续）

拉线式角编码器利用线轮，能将直线运动转换成旋转运动。2023/7/2916第16页，课件共94页，创作于2023年2月2．绝对式光电编码器

a）光电码盘的平面结构（8码道）b）光电码盘与光源、光敏元件的对应关系（4码道）

高位低位第17页，课件共94页，创作于2023年2月绝对式光电码盘与增量式码盘的区别

绝对式光电码盘（12码道）增量式光电码盘（1024位）高位低位第18页，课件共94页，创作于2023年2月绝对式光电编码器的分辨力及分辨率

绝对式光电编码器的测量精度取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘上的码道数n

有关，即最小能分辨的角度为：

α=360°/2n分辨率=1/2n第19页，课件共94页，创作于2023年2月增量式光电编码器的分辨力及分辨率

增量式光电编码器的测量精度取决于它所能分辨的最小角度，而这与码盘圆周上的狭缝条纹数n有关，即最小能分辨的角度及分辨率为：2023/7/2920第20页，课件共94页，创作于2023年2月二、增量式编码器转轴盘码及狭缝光敏元件光栏板及辨向用的A、B狭缝LEDABC零位标志ABC2023/7/2921第21页，课件共94页，创作于2023年2月辨向原理

光敏元件所产生的信号A、B彼此相差90相位。当码盘正转时，A信号超前B信号90；当码盘反转时，B信号超前A信号90。LED光栏板及A、B狭缝2023/7/2922第22页，课件共94页，创作于2023年2月光电编码器的输出波形

上图光栏板上的两个狭缝距离是码盘上的两个狭缝距离的（m+1/4）倍，m为正整数，并设置了两组光敏元件A、B，有时又称为sin、cos元件。2023/7/2923第23页，课件共94页，创作于2023年2月

两路光电信号判断旋转方向

A超前于B，判断为正向旋转，A滞后于B，判断为反向旋转2023/7/2924第24页，课件共94页，创作于2023年2月辨向信号和零标志

光电编码器的光栏板上有A组与B组两组狭缝，彼此错开1/4节距，两组狭缝相对应的光敏元件所产生的信号A、B彼此相差90相位，用于辩向。当编码正转时，A信号超前B信号90；当码盘反转时，B信号超前A信号90。(请画出反转时信号B的波形）

在上一页图的码盘里圈，还有一根狭缝C，每转能产生一个脉冲，该脉冲信号又称“一转信号”或零标志脉冲，作为测量的起始基准。第25页，课件共94页，创作于2023年2月

零标志（一转脉冲）波形及作用

一转（360）CC

在码盘里圈，还有一条狭缝C，每转产生一个脉冲。该脉冲信号又称“一转信号”或零标志脉冲，作为测量的起始基准（0）

。AB2023/7/2926第26页，课件共94页，创作于2023年2月三、角编码器的应用

角编码器除了能直接测量角位移或间接测量直线位移外，还可用于数字测速、工位编码、伺服电机控制等。2023/7/2927第27页，课件共94页，创作于2023年2月M法测速（适合于高转速场合）T

编码器每转产生N个脉冲，在T时间段内有m1

个脉冲产生，则转速（r/min)为：n=60m1/（NT）

m1第28页，课件共94页，创作于2023年2月例题T

有一增量式光电编码器，其参数为1024p/r，在5s时间内测得65536个脉冲，则转速（r/min)为：

n=60×65536/（1024×5）r/min

=768r/min

m1第29页，课件共94页，创作于2023年2月T法测速（适合于低转速场合）时钟脉冲fc

编码器输出脉冲

m2

···

编码器每转产生N个脉冲，用已知频率fc作为时钟，填充到编码器输出的两个相邻脉冲之间的脉冲数为m2

，则转速(r/min)为n=60fc/（Nm2）

第30页，课件共94页，创作于2023年2月T法测速举例时钟脉冲fc

编码器输出脉冲

m2

···n=60fc

/（Nm2

）

=60*1000000/（1024*3000）

=19.53r/min

有一增量式光电编码器，其参数为1024p/r，测得两个相邻脉冲之间的脉冲数为3000，时钟频率fc为1MHz，则转速（r/min)为：第31页，课件共94页，创作于2023年2月M/T法测速（高速、低速场合均可使用）M/T法与M法稍有不同：

闸门时间发生器受角编码器输出脉冲上升沿的触发，在经历设定的时间后，闸门高电平信号随被测脉冲上升沿而同步结束。2023/7/2932第32页，课件共94页，创作于2023年2月M/T法测速（高速、低速场合均可使用）

分别用两个计数器，对角编码器的输出脉冲个数m1和标准时钟脉冲个数m3同时进行计数，从而计算得到ts，ts＝m3T0＝m3/f0

。与M法相似，角编码器的输出脉冲频率f为则角编码器的转速n为第33页，课件共94页，创作于2023年2月安装套编码器的安装方式1.编码器的套式安装2023/7/2934第34页，课件共94页，创作于2023年2月安装轴2.编码器的轴式安装2023/7/2935第35页，课件共94页，创作于2023年2月编码器在定位加工中的应用1—绝对式编码器

2—电动机

3—转轴

4—转盘

5—工件

6—刀具

设该增量式光电编码器的参数为1024p/r，大、小皮带轮的传动比为5，若希望当加工好元件3后紧接着加工元件4，则电动机转动了多少分之几圈？应等待角编码器给出多少脉冲数时，电动机停转？2023/7/2936第36页，课件共94页，创作于2023年2月数控加工中心2023/7/2937第37页，课件共94页，创作于2023年2月

编码器在数控加工中心的刀库选刀控制中的应用旋转刀库被加工工件刀具角编码器的输出为当前刀具号角编码器与旋转刀库连接第38页，课件共94页，创作于2023年2月

用不同的刀具加工复杂的工件2023/7/2939第39页，课件共94页，创作于2023年2月编码器在伺服电机中的应用

利用编码器测量伺服电机的转速、转角，并通过伺服控制系统控制其各种运行参数。转速测量转子磁极位置测量角位移测量2023/7/2940第40页，课件共94页，创作于2023年2月角编码器在机器人控制中的应用伺服电机伺服电机编码器伺服电机伺服电机编码器编码器编码器点击播放jqrtw.AVI“角编码器在机器人运动控制中的应用”录像第41页，课件共94页，创作于2023年2月第三节光栅传感器

一、光栅的类型和结构

计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。

第42页，课件共94页，创作于2023年2月尺身尺身安装孔

反射式扫描头（与移动部件固定）扫描头安装孔可移动电缆光栅的外形及结构防尘保护罩的内部为长磁栅第43页，课件共94页，创作于2023年2月扫描头（与移动部件固定）光栅尺可移动电缆光栅的外形及结构（续）2023/7/2944第44页，课件共94页，创作于2023年2月反射式光栅2023/7/2945第45页，课件共94页，创作于2023年2月透射式光栅2023/7/2946第46页，课件共94页，创作于2023年2月透射式圆光栅固定（只画出其中一小部分）2023/7/2947第47页，课件共94页，创作于2023年2月莫尔条纹的光学放大作用

在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角θ。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。

光栅的刻线宽度W莫尔条纹的宽度LL≈W/θ

，（θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角，弧度）

第48页，课件共94页，创作于2023年2月莫尔条纹演示2023/7/2949第49页，课件共94页，创作于2023年2月莫尔条纹光学放大作用举例

有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角=1.8，则：

分辨力=栅距W=1mm/50=0.02mm=20m

（由于栅距很小，因此无法观察光强的变化）由计算可知，莫尔条纹的宽度是栅距的32倍：

L≈W/θ=0.02mm/（1.8*3.14/180

）

=0.02mm/0.0314=0.637mm

由于莫尔条纹间距较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。LW第50页，课件共94页，创作于2023年2月光栅的输出信号（TTL）余弦信号（超前）正弦信号零位信号2023/7/2951第51页，课件共94页，创作于2023年2月光栅输出信号（电压正弦波）细分点余弦信号正弦信号零位信号2023/7/2952第52页，课件共94页，创作于2023年2月脉冲细分

细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的分辨力。细分前，光栅的分辨力只有一个栅距的大小。采用4细分技术后，计数脉冲的频率提高了4倍，相当于原光栅的分辨力提高了3倍，测量步距是原来的1/4，较大地提高了测量精度。细分前细分后2023/7/2953第53页，课件共94页，创作于2023年2月光栅细分举例

有一直线光栅，每毫米刻线数为50，细分数为4细分，则：分辨力=W/4

=（1mm/50）/4=0.005mm=5m

采用细分技术，在不增加光栅刻线数（成本）的情况下，将分辨力提高了3倍。第54页，课件共94页，创作于2023年2月辨向电路及波形

如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。

例：某1024p/r圆光栅，正转10圈，反转4圈，若不采取辨向措施，则计数器将错误地得到14336个脉冲，而正确值为：(10-4)×1024＝6144个脉冲。第55页，课件共94页，创作于2023年2月正向运动产生

加法脉冲

正向运动时，与门IC2无“减”计数脉冲输出。第56页，课件共94页，创作于2023年2月为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡）

内部包含以下电路：放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。第57页，课件共94页，创作于2023年2月为光栅设计

的专用信号

处理单元（光栅插补器）功能同上页第58页，课件共94页，创作于2023年2月光栅在机床上的安装位置（2个自由度）2023/7/2959第59页，课件共94页，创作于2023年2月光栅在机床上的安装位置（3个自由度）数显表2023/7/2960第60页，课件共94页，创作于2023年2月光栅在机床上

的安装位置

（3个自由度）（续）2023/7/2961第61页，课件共94页，创作于2023年2月2自由度光栅数显表X位移显示Z或Y位移显示2023/7/2962第62页，课件共94页，创作于2023年2月3自由度光栅数显表2023/7/2963第63页，课件共94页，创作于2023年2月光栅数显表（续）三座标数显表2023/7/2964第64页，课件共94页，创作于2023年2月SDS8-3E光栅数显箱功能:

·公制/英制转换

·绝对/相对转换

·线性误差补偿

·正反方向计算

·归零

·插值补偿

·到达目标值停机

·PCD圆周分孔

·200组零位记忆

·蚀深度目标值显示

·时工作位置显示

·掉电记忆第65页，课件共94页，创作于2023年2月光栅数显表（续）

设定按键2023/7/2966第66页，课件共94页，创作于2023年2月安装有直线光栅的数控机床加工实况

防护罩内为直线光栅光栅扫描头被加工工件切削刀具角编码器安装在夹具的端部第67页，课件共94页，创作于2023年2月第四节磁栅传感器

磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可超过十几米，抗干扰能力强。磁栅可分为长磁栅和圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。目前还出现了磁敏电阻原理的磁头，可不必设置励磁电路，检测速度也进一步提高。还有一种“空间静磁栅”。在失电→上电后，仍能正确地反映失电前的位置或角度，实现了磁栅的“绝对编码”。

第68页，课件共94页，创作于2023年2月磁栅的外形及结构磁尺静态磁头去信号处理电路固定孔2023/7/2969第69页，课件共94页，创作于2023年2月磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示2023/7/2970第70页，课件共94页，创作于2023年2月鉴相型磁栅数显表的原理框图

磁尺与磁头接触，使用寿命不如光栅，数年后易退磁。设置两个磁头的意义何在？2023/7/2971第71页，课件共94页，创作于2023年2月磁栅测量系统压板磁头磁尺2023/7/2972第72页，课件共94页，创作于2023年2月磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁头安装在何处？2023/7/2973第73页，课件共94页，创作于2023年2月磁栅在铣床直线位移测量中的应用磁尺数显表2023/7/2974第74页，课件共94页，创作于2023年2月第五节容栅传感器

容栅传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，它的电极排列如同栅状。与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，虽然精度稍差，但体积小、造价低、耗电省，广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以下行程的测量中。第75页，课件共94页，创作于2023年2月结构及工作原理

容栅传感器可分为三类：直线型容栅、圆容栅和圆筒形容栅。其中，直线型和圆筒形容栅传感器用于直线位移的测量，圆形容栅传感器用于角位移的测量。第76页，课件共94页，创作于2023年2月各种容栅测量装置2023/7/2977第77页，课件共94页，创作于2023年2月各种容栅