《真空技术》课程教学大纲

第3页共3页真空技术课程教学大纲(VacuumTechnology)学时数：32其中：实验学时：0课外学时：0学分数：2适用专业：电子科学与技术专业、光信息科学与技术一、课程的性质、目的和任务真空技术是专业基础任选课程。主要目的培养掌握较为深入的真空科学与技术基础理论和实践能力的高级工程技术人才。通过课堂学习和实验训练，使学生掌握真空技术的物理基础、真空的获得、真空的测量、真空的检漏、真空系统的设计和组装等方面的知识。二、课程教学的基本要求：（一）了解真空度的基本单位及其划分原则。（二）掌握真空物理中的基本概念和现象，流导的概念及其计算。（三）了解种真空泵的结构、工作原理、特性和适用范围。（四）理解上述各种真空计的结构、工作原理、特性和适用范围。（五）掌握常见真空检漏的方法和基本原理，标准漏孔的形式及其漏气量的测量。（六）掌握真空系统的构成、设计方法和典型问题的计算，如抽气时间的计算。三、课程教学内容、重点和难点绪论主要内容：真空的基本概念，真空度的划分及其单位。第一章真空技术的物理基础主要内容：理想气体及其定律，蒸气，气体分子运动论，气体的输运现象，流导及其计算，固气界面现象。重点：理想气体及其定律，气体的输运现象，固气界面现象。难点：流导及其计算第二章真空获得与真空泵主要内容：旋片式机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵、分子筛吸附泵、离子泵、低温泵。重点：各种真空泵的结构、工作原理、特性和适用范围。难点：各种真空泵的工作原理。第三章真空测量与真空计主要内容：压缩式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计；冷阴极电离真空计、分压强真空计。重点：各种真空计的结构、工作原理、特性和适用范围。难点：各种真空计的工作原理。第四章真空检漏主要内容：检漏方法，氦质谱检漏仪、标准漏孔、漏孔及漏气量的测量。重点：真空检漏的方法和基本原理，标准漏孔的形式及其漏气量的测量。难点：真空检漏的方法和基本原理第五章真空系统主要内容：真空系统的构成，真空系统常用材料，真空系统组成元件，真空系统的组装，真空系统的设计。重点：真空系统的构成、设计方法和典型问题的计算，如抽气时间的计算。难点：真空系统的设计四、课程各教学环节要求本课程教学以讲课为主，重点讲授基本原理和实际应用。讲课时根据所讲授的内容，提出一些与内容相关的实际问题，让学生思考，然后作简单的讲解，一方面提高学生的学习兴趣，另一方面可以使学生将学到的基础理论与实际的系统和技术相联系。在每一章结束后给学生留一定量的习题，作为作业，作业成绩占考试成绩的一部分。课程结束后，考试方式依照考试课进行。五、学时分配章节主要内容各教学环节学时分配作业题量备注讲授实验讨论习题课外其它小计绪论22一真空技术的物理基础442二真空获得与真空泵884三真空测量与真空计884四真空检漏663五真空系统442合计323215六、课程与其它课程的联系通过这门课程的学习，将为各专业的相关课程的学习打下坚实的基础，建立必要的知识储备，同时开阔学生的眼界、丰富其知识结构。先修课程：大学物理七、教材与教学参考书（一）教材：王欲知，陈旭编著.真空技术.北京：北京航空航天大学出版社,2007。（二）参考书：HYPE