薄膜的结构与缺陷教学课件_第1页
薄膜的结构与缺陷教学课件_第2页
薄膜的结构与缺陷教学课件_第3页
薄膜的结构与缺陷教学课件_第4页
薄膜的结构与缺陷教学课件_第5页
已阅读5页，还剩65页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

第四章(补充〉薄膜的结构与缺陷第一节薄膜的结构薄膜的结构因研究的对象不同分三种类型(1)组织结构(2)晶体结构(3)表面结构薄膜的结构与缺陷、薄膜组织结构薄膜的组织结构是指它的结晶形态其结构分为四种类型(1)无定形结构(2)多晶结构(3)纤维结构(4)单晶结构薄膜的结构与缺陷相对于块体材料来讲,比较容易制备非晶态的薄膜这是由于薄膜的制备方法比较容易实现形成非晶态结构的外部条件,即较高的过冷度和低的原子扩散能力薄膜的结构与缺陷形成无定形薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率降低表面扩散速率的方法降低基体温度、引入反应气体和掺杂硫化物和卤化物薄膜在基体温度低于77K时可形成无定形薄膜溅射沉积w、Mo、Hf、Zr、Re膜时,加入原子百分比为1%的N2,所得的膜是非晶态有些氧化物薄膜(如O2、ZrO2、AL2O3等,基体温度在室温时有形成无定形薄膜的倾向薄膜的结构与缺陷在102~103Pa氧分压中蒸发铝、镓、铟和锡等超导薄膜由于氧化层阻挡了晶粒生长而形成无定形薄膜在83%ZrO2-17SiO2和6%ZrO23%MgO的掺杂薄膜中,由于两种沉积原子尺寸的不同也可形成无定形薄膜;薄膜的结构与缺陷2.多晶结构多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成88的图1-12晶过示素图及相皮的多晶体纽纵薄膜的结构与缺陷在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征(原子有规则的排列)思考:由众多小岛聚结形成的薄膜是单晶还是多晶薄膜?用真空蒸发或阴极溅射法制备的薄膜,都是通过岛状结构生长起来,必然产生许多晶粒间界形成多晶结构在多晶薄膜中,常常出现一些块状材料未曾发现的介稳相结构薄膜的结构与缺陷多晶薄膜中不同晶粒间的交界面称为晶界或晶粒间界讨论:晶界或晶粒间界所表现出两个的特征:(1)由于晶界中晶格畸变较大,因此晶界上原子的平均能量高于晶粒中内部原子的平均能量,它们的差值称为晶界能。高的晶界能量表明它有自发地向低能态转化的趋势。晶粒的长大和平直化都能减少界面面积,从而降低晶界能量。所以只要原子有足够的动能,在它迁移时就出现晶粒长大和晶界平直化的结果薄膜的结构与缺陷(2)由于晶界中原子排列不规则,其中有较多的空位。当晶粒中有微量杂质时,因它要填入晶界中的空位,使系统的自由能增加要比它进入晶粒内部低。所以微量杂质原子常常富集在晶界处,杂质原

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论