微电子洁净厂房运行与管理

微电子洁净厂房运行与管理2007年2月华卫群中国电子科技集团公司第五十八研究所微电子洁净厂房运行与管理

洁净厂房相关一般概念

工程建设与高质量的安装工程

洁净厂房管理及运行微电子技术的重要性和发展趋势目前、微电子工业的发展水平已成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志！自1958年世界上第一块集成电路问世以来，特别是近20年来，几乎每隔2~3年就有一代产品问世。我国的微电子行业的发展，近年也投入了大量的人力、物力、财力，先后建成多家有实力的公司。洁净厂房的一般概念常识气闸室、传递箱

7洁净区2人身净化用室

、物料净化用室3单向流、非单向流

6洁净度

5洁净室1悬浮粒子、粒径4净化厂房的“三态”

8洁净室---CLEANROOM空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

洁净区---Clean

zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

人身净化、物料净化用室人身净化用室—Roomforcleaninghumanbody洁净室工作人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。物料净化用室—Roomforcleaningmaterial

物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

悬浮粒子、粒径悬浮粒子—Airborneparticals用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在０.1um~5um的固体和液体粒子。粒径

–Particalsize

由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体半径。对离散粒子计数、光散射仪，采用当量光学直径。洁净度--Cleanliness按单位容积空气中某种粒子的数量来区分的洁净程度。单向流、非单向流单向流---Unidirectionalflow沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。非单向流—non-nidirectionalflow凡不符合单向流定义的气流。气闸室、传递箱气闸室—Airlock沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。传递箱—Passbox在洁净室隔墙上设置的传递另部件或小设备的开口,两侧装有不能同时开启的门扇并可设气闸。洁净厂房“三态”空态：asbuilt设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。静态：atrest设施已建成，生产设备已经安装，并按用户及供应商同意的状态运行，但无人员。动态：operational设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。洁净吐厂房端管理辽与运醉行随着锐我国严电子足工业仪的飞叫速发惕展、拥特别罩是微器电子冰工业爸以及健产品炉的供季过于渴求，赠各项君产品产的竞顷争日宪趋激脱烈，中打赢检这场哑竞争缎的关尾键是螺产品劈燕的质量和价格。生娃产环亩境的览洁净绘度水江平是溪电子勒产品龟生产斑的前竹提条益件，宇而厂碑房各号项设洒施的蒜低成斧本运饮行则居是产垮品价鸟格的延基础炭。洁净姥厂房忙管理肌与运适行洁净厂房的一般设计原则2洁净厂房的运行管理重点3洁净厂房的运行管理体会5洁净厂房的系统组成

1洁净厂房的节能改造及措施41、洁就净厂厘房的清系统弦组成扫。风机(F惜an阻)：空气紧调节礼处理妄机组妈：过滤储器(F阴il陷te客r)：自动歇控制你系统(B麻A)：环境肿参数偏监控场仪器宪仪表悉：2、洁锻净厂轿房的树一般冠设计附原则位置败选择功及平底面布贵置：垫含尘幅低、迟无有草害气瘦体、永远离睡铁路跟等，衡最大列频率壶风向笋上风在侧。工艺室平面哥布置饮应合电理、纽奉紧凑粱：只逝布置猾必要灶的工劣艺设驾备以叛及工楚序和敬工作滤室噪声幸的合扛理控控制：挠洁净肥室必昂须≤6旷5d闯B(叔A)放,维护蹦结构嘱良好苍隔声出性能渔、采病用低廊噪声缩慧产品瞎、风庸管风久速宜娇按规府定选柏用。微震若控制宇：建筑准要求雾：1、建劝筑平逃面和丛空间脱布局奥应具数有适肝当的约灵活舱性。2、围及护结稻构的稳材料庭选型滔应满费足保肢温、湿隔热悼、防掉火、找防潮演、少条尘等驻要求呀。3、管讯线需从暗敷防时，陕应设朋置技犯术竖舒井、岂技术骄夹道板。2、洁话净厂叼房的旨一般械设计扎原则空气雄净化终的一磨般设梳计规场定：1、空奸气洁呈净度游等级祖应满遇足工绕艺的培要求屠。2、不启同洁香净度反级别袄选用侮不同锯气流泻流型尘。3、温溜度、蚊湿度叮宜根逐据工刊艺要改求合浙理确酱定。4、选听用高析效真亲空吸翅尘器侄或集射中式光真空趴吸尘短系统骨。5、压蔽差控眯制应娘不小趣于5P油a。6、根卖据洁醋净度汽要求惯合理姨选用多空气鄙处理膊用过邀滤器圆，2、洁扑净厂乖房的要一般钳设计麻原则给水别排水咳一般裁原则钟：1、给扒排水防干管湖应敷痛设在责技术角夹道泥或技乌术夹公层内踏。2、可衬能结捡露的浩管道术应采穗取防幼护措戏施。3、管约道穿冶越墙湿壁、渔楼板民和吊岗顶时斩应设符套管芦，并秒可靠拔密封严。4、超爆纯水拉、冷种却循栋环水妙、自脆来水房诚等。5、排令水系榆统应奔根据氏工艺冠设备千排出男的废痰水性影质、允浓度勺和水卫量等餐条件籍分别顾设置车、达染标排稀放。2、洁蔽净厂子房的呀一般娇设计堆原则气体魄管路枯的一抗般规序定：1、气烛体管着道的秤布置型干管密应敷浊设在宰上、铜下技尚术夹苦层或击技术悟夹道面内宜惩与水梅、电鹿管线罚共架防，并蜘应设战在其咸上部股。2、高像纯气百体管闹道应跪按流腾量、劝压力扶或生宫产需新要确氧定管己径，折最小古不宜华小于致∮6×省1m馋m。3、穿养越楼撑板或音墙壁双处不衡应有牛焊缝侍。4、入哈口控竞制阀宵门、榴过滤锄器、准减压稻装置恐、压唤力表乱、流载量计旷等宜旨集中珍设置砌在入耗口室榆。2、洁陷净厂损房的叨一般音设计撇原则5、管疑道材乒料和饺阀门奶的选狭用应驱满足战生产耽工艺辨对气无体纯铲度、否露点钞的要堤求和绿使用仙特点们。6、气再体纯决度≧99姑.9竭99去%、露妄点＜-7法6℃，应室选用刻电化障学抛轻光管佩（31闹6L或30茄4），估隔膜晕阀或棚波纹灰管阀也；纯叶度≧99弹.9婶9%、露取点＜-6索0℃，应僚选用盗电化奸学抛萌光管搜（30滋4），辟阀门淘可用不球阀添。7、管滤道连附接除淘镀锌贫管外鄙，应龟采用料氩弧翠焊接碰，采碗用对心焊或脸承插童焊接茫。8、阀期门与毒管道煎连接岁密封腹材料博宜采恶用金表属垫仪或聚眯四氟区乙烯歪垫。3、洁主净厂谣房的愤运行么管理韵重点厂房灭运行泉安全命：1、送罩、排倒风系车统。2、特注气管掩路的俱监控沙及报碌警。3、各怨种压留力管巷道的产定期锯巡视铜。4、洁和净室咽的温误度、蕉湿度烧、洁蹄净度绞和正电压的裁控制医。设施钳稳定章运行:定期手巡视因，定狗期保泽养，裁定期舌整固口。高效哪、低偏耗运滴行：咽根据盟现场卸情况碌和设悉备工梯艺需浓求制屠定和魄实施共节能绒改造喘。4、洁矮净厂格房的岂节能括改造留及措翻施能源橡是国狗家建局设、浙人们皮生活喜中必归不可滴少的望，而口能源谁利用闷率是蜂一个焦国家咳科技伏水平暑的一任个象义征，厉开糖发新世能源镜，提杂高能组源的小利用柴率是你为保统证经城济发鼓展的冶首要上任务洲。中疑央空尽调它嫂是以雅消耗姿电能扭为动善力，攀为人籍们提贺供舒藏适的导工作赔环境诞和生魄活环波境，枯但是模中央悬空调益耗电站量在辞整个宝单位协平均抖占用议电量色的40％已以上索，所拐以对率中央益空调萄进行丹节能派设计宽与节家能改橡造，坚对节李约能棵源是斯十分样重要剑的。4、洁副净厂邀房的瞧节能腊改造蛙及措抵施中央族空调扮由制啊冷主病机、高冷却巨水泵喉机组另、冷泄冻泵雪机组杂等几苦个部品分组咽成，纱其作柏用就传是制勇冷、奋热交赵换为店空调杆室提离供冷彻空气翠及新宾鲜空那气。对于贴中央忍空调旷来说骡，按矩照国姿家标说准，灭系统潮的最饰大负勾载能庭力是养按照平气温黑最高酷，负案荷最涉大的煌工作特环境钞来设肠计的洗，就些系统钩本身捷来说茫，存州在着介很大秒的储论备空栋间，的而实唉际上恳系统炮又很兰少在松这些疤极限搂条件鸟下工何作。根据崇有关悬资料康统计芦，中级央空肝调设貌备97古%的时范间在70革%负荷韵以下愚波动日运行缴，所歌以实元际负敢荷总堵不能野达到广满负删荷（童即通分常所至说的浇‘大喘马拉浴小车'）；番特别丝式是冷畏气需尝求量榴较少倾的情琴况下翼，主刘机负妇荷量摇低。4、洁俗净厂音房的枕节能则改造脂及措悔施节能欧降耗律要体鹊现合菜理使交用，否保障旋科研条生产赶的基绘本需俊要。中央狮空调裙节能挠的原乔理、飞方法虽及节柿能的茶效果居，重席点是堤变频拜器在载节能脂中的识应用里。对主极机进闲行变患频控联制，真节能含效果即最佳习。对冷皆冻泵绍、冷座却泵番进行谋变流贤量控虎制，缠加装陪变频当器后态，节分能率进可以萄达到60加%，节腹能率诸最佳意。4、洁赛净厂扶房的搜节能荒改造晓及措截施送、志排风论风机报工作俊、值挑班变机风量先调节衡。尽量鼻采用参高效引、低含阻力咸末端自过滤蝴器，册并且蜜前级偶保护习过滤诵器配增备适乒当。根据患不同疲季节披，在壮保证宵工艺惨要求及的前诸提下欧，适便当调则整房寒间的贺温、升湿度百控制纽奉指标头。压差笔控制鸽适当汁可以未降低速标准2P伤a左右狭。5、洁够净厂脆房的得运行四管理买体会微电轮子行恭业有瞎其显池著的管特点盖，在放厂房板的运坐行管储理方惊面要贺求很贵高，男必须插保证野常年岛连续脸工作翻，持究续运鲜转，央任何沃一次资短暂渠的停鼓机都竭会带惰来巨封大的暮损失枝。运行普、保膏障的益压力钩非常掘大。绣机器辟可以炒人为惊减少臭故障验率到月最少塌，但踢是不厕可能垒没有棋故障末发生改，而突且发柱生往士往是停突如宪其来旷。树立奔力争躬使设尸备故跌障率虚最低疮的工汁作思寻路。5、洁尿净厂谣房的赌运行包管理钉体会加强来现场膀设备疮操作察规程勒、应狠急故币障处黎理的近学习言和实筐践。制定众并且持严格剃执行壳现场呆巡查朝制度滚。定期蔑做好南设备俘的耗阵件更峰换、即保养务，并耻做好槐设备例档案问维修羞记录反。工艺趁间定淋期进校行环灵境参答数测缸试，皱及时毕发现鹿问题浸，及洁时处沿理。落实维技术淋、维介修人自员快坚速反摔应机余制，委现场铁问题漏无论旗何时倚，必思须最洞短时惕间到高达并裁着手烈处理工程组建设旱与高香质量帝的安沟装工巨程高质蜜量的书建设姻工程详从蓝悦图到烦工程樱竣工唯，交铺付使烫用，锣正常竹生产碎，都议离不画开高尿质量梢的安孟装做驱保证派。前期腊可行味性研两究阶僻段开捕始，翻就要踪蝶做好艘周密廉的项富目进微展计回划和劈燕人员腾配备贷。工程专安装炮阶段走，要爪成立伶项目商专案杏小组爸，落该实施胁工技岸术组谣织，决协调钩网络塑，专价业施砌工方绩案。项尽量升花更肥多时奋间做摊好前测期准弱备。工程净建设库与高击质量厉的安音装工强程对设未计图度纸上叫的某鹅些局物部方转案，盾不迷篮信，趴可以岂切实详依据坐现场撑情况端、安朝装使脏用的脱经验累和使赖用单新位的喊具体睡要求判来提亩出改沟进意胀见或越建议忌，这凳对建许设单班位来迷讲是坊非常北值得枝的。工程刺建设安与高亩质量堂的安材装工苗程安装源工程拌施工催中几恭点建示议：1、清香洗工蚂作不猫够贪洁垫净工渗程的航施工体应在絮建筑府施工政基本楼完工,外门生窗装桥好,地坪皱做好,吊架握预留塘好,并且鸭做了槐清扫相工作猛后才剩能开南始。常而且晓风管达成型导前必饲须对测板材艰进行亡清洗,去除知板面垦上的地油污,风管韵成型辜并揩闸试干农净后敢再用露吸尘岸器吸深去浮伴尘,然后雨将风黎管的释开口趣处用照塑料杏薄膜点包封座好。御有的散建设竟单位知及施兴工单的位为截了赶衰进度,往往陆在条慕件未朴具备惯的情脖况下吐就开凑始施砖工,还有懂的甚敌至就版干脆催省去捞了风叨管的愉清洗肚工作,导致担风管所受污上严重岔。另叉外,对高案效过器滤器袭的安猎装,施工渗规范今中明裤确规边定,必须理在室饮内清锁洁,系统骑空吹12小以姿上,然后浓再室躬内清楼洁后秘马上埋安装岔。然读而,在调疮试中滩发现,有的阅施工堪单位请在室填内很元脏,甚至册空调课箱也眠很脏酷的情孟况下,就安过装了殿高效狭过滤煮器,这必练将会植降低强高效穴过滤肿器的谨使用饮寿命腿。工程狐建设平与高虏质量阳的安缝装工链程2、风副管密堡封做事得不意好变由惕于净驼化空涛调系爆统的道特殊嗽性,对风巩管严华密性讯和不网易产驰尘有忽更高界的要歼求。套净化侧空调类系统揪内因哲增加响了三贩道过握滤器,系统廉的阻键力几当乎比植一般谋空调宅系统惊的压谁头大瞎一倍,这就术导致是系统箩投入摘运转托时，热风管萄所经钻过的毁非洁骂净区私中含气尘浓类度较离高的较空气怪就会痛渗入老系统师而直片接影欲响室爹内洁盏净度兰，因胡此风舰管的等严密填性显细得格维外重子要。方风管忘漏风椅主要党存在贱于风莲管咬炉口、绳法兰传间和窗法兰示翻边农处，泊对这漆些地朽方如陷不采完取密按封措仁施，眉漏风粉将相骆当严碑重。助调试拴中发滩现，猴有些威净化俩系统绳机组惰总风亦管测扬得总牵风量纤与风谜口风剪量总币和相民差很温大，陕这主咐要就藏是由阴于风案管漏珍风引任起的自，因拨此施蔬工中养务必油引起备重视批，从委而提选高施宝工质宪量。工程委建设泄与高箩质量怀的安截装工皂程3、高台效过西滤器颠安装鲁不当语高效填过滤扫器是姐洁净优空调阔系统呜的主还要设凤备。鸟由于洽滤纸念非常芝精细碍，易择损坏业，因克此只贪能在邪安装仁现场多安装吹时现泽拆高亦效过锤滤器济包装妄，应段按说暑明书沉要求吗取出腐。高竖效过双滤器股安装定时，升施工由人员年除了五要避贪免将嘱其损毕伤外召，还熟要