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压电偏转镜|压电倾斜镜|压电快反镜|压电精瞄镜压电偏转镜(根据它的应用,常被叫作压电倾斜镜、压电快反镜、压电精瞄镜等)从字面上理解,压电即是压电式,以压电叠堆陶瓷作为驱动源;偏转即是指可在某些方向进行转动;镜代表它用于驱动反射镜等镜片,即它的负载为镜片,目的是调节镜面的朝向。芯明天压电偏转镜压电偏转镜约是近20年左右出现的高精密产品,它的功能可以简单理解为带动一个镜片,做偏转运动,转动方向一般为ex及ey方向,它的特点是转动角度非常小,最大能达到约50mrad(约3度),但它的转动精度可达0.02Prad(约<0.01”)。压电偏转镜的原理是利用压电叠堆陶瓷的逆压电效应(即压电叠堆陶瓷在电压信号的驱动下,会进行快速充电,从而产生微形变位移,位移量约为长度的1.5%。),再通过设计差分驱动式结构,将四支压电叠堆陶瓷距离同一中心点相同距离,并间隔90度安装于压电偏转镜内部的机械结构中,对角的压电叠堆陶瓷为一组,两组间进行差分式控制,压电叠堆陶瓷顶端与柔性铰链结构(即弹性薄片结构,在一定范围内可进行回转运动,可将压电叠堆陶瓷的微形变进行放大,柔性铰链的特点是运动灵敏度高、自回复、无间隙、无机械摩擦等)相连,柔性铰链与运动台面相连,通过两组压电叠堆陶瓷的微形变产生的推拉运动,使柔性铰链也产生微形变,从而使得压电偏转镜的运动台面产生偏转运动。四立压电番堆列瓷平分放司压电偏转诳构图:HJ四立压电番堆列瓷平分放司压电偏转诳构图:HJSEM海闭研柳既座制m蛛毓咱面通常,压电叠堆陶瓷的高度约为20mm,产生的位移量约为高度的1%。,即20M左右。而压电偏转镜外形尺寸小巧,结构紧凑,截面积最大约为90mm的直径。在压电叠堆陶瓷伸长20四m,半径为45mm时,如果按直驱式计算,则压电偏转镜台面偏转角度约0.8mrad。因柔性铰链对压电叠堆陶瓷的位移可进行放大输出,且根据使用压电叠堆陶瓷的不同,可产生的偏转范围自然不同,但压电偏转镜的偏转范围依然很小,目前芯明天标准压电偏转镜产品的偏转角度约为50mrad。压电偏转镜的转动角度这么小,能有什么用处呢?别看压电偏转镜的运动角度非常小,它的作用却是无法比拟的。压电偏转镜主要作用是用于带载镜片做偏转运动,它的应用是以对光的方向进行调节为主。如上所述,压电偏转镜的一个突出优点是角度调节精度非常高,可小于0.01〃。既然偏转角度小且偏转运动精度高,则它就非常适于较长距离的光传输方向的调节,例如卫星激光通信。卫星与地面间的信号传输通信是很难做到的,原因是光束的发散角很小,非常不易对准,因此卫星激光通信就需要非常高精度的瞄准系统。在这一点上,压电偏转镜就体现出了它的伟大效用。压电偏转镜与精跟踪相机等器件相配合,形成精跟踪系统,精跟踪相机采集的信号,会传送至压电偏转镜控制器,压电偏转镜控制器会做出反应,即根据光束对准所需要的偏转角度,输出能够使压电偏转镜偏转该角度所需要的电压信号,且控制时间非常短,在亚毫秒级范围,可使得卫星通信的信号快速而准确的瞄准、接收。压电偏转镜还具有很多应用,例如光路调节、激光合束、激光加工、光束指向器、天文
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