半导体生产中常用的薄膜试题答案

一、填空题1、在半导体生产中常用的薄膜可以分为 、 、 三大类。2、集成电路金属互连工艺中AlCu合金常用作解决铝互连中的 问题。3、集成电路传统的铝互连线构造中常承受TiN/Ti作为金属阻挡层，这种工艺的主要目的是为了解决问题。4、在半导体生产中，绝缘介质薄膜常见的主要有 等材料。5、在半导体生产中，半导体薄膜常见的主要有 等材料。6、在半导体生产中，金属导电薄膜常见的主要有 等材料。7、绝缘介质材料的特性中，介电常数主要用来表征绝缘材料的 性能，介电强度用来表示绝缘材料的 性能。8、二氧化硅作为杂质选择集中的掩蔽层，所需要满足的条件为：。二、简答题1、简述二氧化硅薄膜在半导体生产中的主要作用？2、金属导电膜在半导体生产中的主要作用？3、什么是铝的电迁移？产生的缘由？解决的方法？4、什么是铝尖刺现象？产生的缘由和解决的方法？一、课程性质《编译原理》是高等工科院校“计算机科学与技术”、“软件工程”、“信息安全”等专业的一门重要的必修专业根底课。所含内容涉及学科抽象、理论、设计三个形态。在学习编译原理所涉及的学问的同时，把握问题求解的典型思路和方法，帮助学生从系统层面重生疏程序和算法。二、课程目标本课程的教学目标是：通过学习该课程，使学生了解形式语言根本概念和术语、把握词法分析、语法分析、语义分析及中间代码生成、代码优化、符号表治理、存储组织和安排及代码优化的根本原理和实现方法。通过学习编译程序的构造原理和技术，将有助于深刻理解和正确使用程序设计语言。除此以外，编译原理课程介绍的一些原理、方法和算法并不局限于编译器的构造，也广泛地应用于其他软件的设计与开发。本课程具有思想素养、学问技能以及力量培育三个层面的通用课程目标：〔一〕思想、素养教育目标1.1在教学过程中，激发学生骄傲感与爱国情怀，鼓舞学生通过努力学习把握先进科学技术，效劳国家，回馈社会。1.2在教学过程中，通过课程内容与中国传统文化思想相结合，提升学生的学习兴趣、人文关心和道德情操，真正做到“传道、授业和解惑〔二〕学问教学目标2.1使学生理解编译系统的工作流程和编译器各功能模块的设计原理，能够利用根本原理和方法识别和分析计算机软件开发领域简单工程问题。2.2使学生把握词法分析器、语法分析器开发方法，能够编写词法分析程序和语法分析程序。〔三〕力量教学目标目标3.1使学生理解编译系统的工作流程和编译器各功能模块的设计原理，培育学生抽象思维和规律思维力量，能够利用根本原理和方法识别和分析计算机软件开发领域简单工程问题的特征。目标3.2使学生把握设计、编制、分析和维护编译程序的方法和技术，能够应用这些根本方法和技术分析和解决软件开发中的实际问题，使学生具有系统力量，能站在系统的全局去看问题、分析问题和解决问题。目标3.3使学生把握词法分析器、语法分析器开发方法，学习构造编译器的各种工具的使用方法，培育学生软件开发力量，具备开发系统软件的力量。三、课程教学内容及根本要求编译原理课程主要包含如下的教学内容：编译系统各组成局部的主要功能；编译系统的工作流程；编译器各功能模块的设计原理和实现技术；构造编译器的各种工具的使用方法。在本课程中，词法分析、语法分析、中间代码生成是核心内容，课程以形式化和半形式化的技术来统领这些内容；并以文法与自动机理论为根底，以语法制导翻译技术为模式进展处理；将编译技术方面消灭的方法、工具准时引入教学环节中。上述教学内容既涉及一些艰深的理论学问，又有大量的具体处理细节。因此，在教学内容的组织上，必需以编译系统的规律构造为主线来划分各个教学环节，坚持理论和实际并重，理论与实际严密相结合的原则，让学生懂得编译的根本原理并具有设计、编制、调试和维护简洁编译程序的力量，培育学生软件开发力量、抽象思维和规律思维力量，从而为今后从事应用软件和系统软件的开发打下肯定的理论和实践根底。〔一〕课程教学内容及学问模块挨次学问单元一：概述〔2学时〕学问点一：程序设计语言及翻译程序学问点二：编译过程简述学问点三：编译程序的生成教学根本要求：及编译过程。学问单元二：语言根本学问〔5学时〕学问点一：形式语言根本概念和术语学问点二：语法分析初步学问点三：文法分类教学根本要求：应用。学问单元三：词法分析〔16学时〕学问点一：词法分析概述学问点二：词法分析程序设计和实现学问点三：正规表达式和有穷自动机学问点四：词法分析程序自动生成教学根本要求：文法构造有穷自动机，如何由正规文法构造正规表达式，如何由正规表达式构造DFA。学问单元四：语法分析〔16学时〕学问点一：语法分析概述学问点二：自顶向下语法分析学问点三：自底向上语法分析学问点四：语法分析自动生成工具教学根本要求：把握递归子程序法、LL〔1〕分析法、简洁优先分析法、算符优先分析法、LR〔K〕分析法。学问单元五：语义分析及中间代码生成〔8学时〕学问点一：语法制导翻译概述学问点二：中间语言学问点三：自底向上语法制导翻译教学根本要求：〔尤其是四元式表示的中间代码。学问单元六：符号表的组织和治理〔4学时〕学问点一：符号表的组织学问点二：符号表的构造和查找学问点三：分程序构造语言的符号表学问点四：非分程序构造语言的符号表教学根本要求：本章主要把握符号表的组织形式和符号表的构造与查找，包括挨次法、折半法和散列表法，重点针对分程序构造语言和非分程序构造语言的符号表的组织和工作原理进展争论。学问单元七：存储组织和安排〔4学时〕学问点一：存储组织概述学问点二：静态存储安排学问点三：动态存储安排教学根本要求：动态堆式存储安排之间的区分。学问单元八：代码优化〔5学时〕学问点一：代码优化概述学问点二：局部优化学问点三：循环优化DAG进展优化学问点五：数据流分析及全局优化教学根本要求：〔DAG优化〕DAGDAGDAG的构造和如何利用构造好的DAG进行〔即在整个程序范围内对程序中的全部变量的定值和引用关系进展分析〕实现DAG根底上的全局优化。学问单元九：目标代码生成〔4学时〕学问点一：计算机模型概述学问点二：简洁代码生成程序学问点三：存放器安排DAG生成目标代码学问点五：窥孔优化教学根本要求：本章要求把握如何将中间代码四元式变换为目标代码，了解在一个根本块范围内如何充分利用存放器；把握如何基于DAG产生优化目标代码以及如何利用窥孔优化实现进一步的目标代码优化。〔二〕课程的重点、难点及解决方法课程的重点：表达语言根本学问〔包括形式语言根本概念和术语、语法分析初步、文法分类〕、词法分析〔包括词法分析概述、词法分析程序设计、正规表达式和有穷自动机〕、语法分析〔包括自顶向下语法分析、自底向上语法分析〕、语法制导翻译技术〔包括中间语言、自底向上语法制导翻译、属性文法与属性翻译〕、代码优化和目标代码生成〔包括DAG优化和窥孔优化〕。LLLR分析法、利用DAG进展优化和生成目标代码等。解决的方法：由于算法形式化描述，学生不易理解，可通过实例来表达帮助学生有效、快速的理解。同时，借助网络教学系统增大教学信息量并扩大理解课堂教学内容的渠道。另外，通过课程QQ群或微信群准时和学生互动，作为课堂教学的补充。四、试验实践环节及根本要求试验实践教学环节在本课程中的作用及要求〔试验教学大纲单独编写。编译原理是一门理论性和实践性都比较强的课程。进展上机试验的目的是使学生通过完成上机试验题目加深对课堂教学内容的理解，同时培育学生实际动手力量。试验工程(具体要求见试验教学大纲)试验一：词法分析器的构造〔4学时〕试验二：语法分析器的构造〔4学时〕课程目标课程内容课程目标课程内容学问单元一学问单元二学问单元三学问单元四学问单元五学问单元六学问单元七学问单元八学问单元九目标目标目标目标目标目标目标1.11.22.12.23.13.23.3●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●六、对学生力量培育的要求力量，具有计算机思维力量，能够分析、编制和调试简洁编译程序，能站在系统的全局去看问题、分析撑。七、课程学时安排64568学时。课程主要内容和学时安排见课程学时安排表。教学环节时数教学环节时数讲课上机试验习题及争论小计课程内容概述22语言根本学问55词法分析104216语法分析12416语义分析及中间代码生成88符号表的组织和治理44存储组织和安排44代码优化55目标代码生成44总 计548264八、建议教材和教学参考资料教材黄海平蒋凌云沙超徐康．编译技术原理及方法．人民邮电出版社,2023.主要参考书TerenceParr．编程语言实现模式．武汉:华中科技大学出版社,2023.AlfredV.Aho．编译原理．北京:机械工业出版社,2023[3]蒋宗礼,姜守旭.编译原理.北京:高等教育出版社,2023九、课程考核本课程承受闭卷考试方式，总评成绩由寻常成绩和期末成绩组成：期末考试卷面成绩占总评成绩的70%；寻常成绩占总评的30%，寻常成绩评价内容可包含如下内容：A+、A、A-、B+、B、B-、C+、C、C-、D十个等级或给出具体分数；A+、A、A-、B+、B、B-、C+、C、C-、D十个等级或给出具体分数；随堂测验：依据提交答案的准确程度进展评价，可分为A+、A、A-、B+、B、B-、C+、C、C-、D十个等级或给出具体分数；课堂分组争论或课外学习小组活动：主讲教师在课堂上依据教学内容提出问题，并分组进展争论，D十个等级或给出具体分数；其他：可依据学生考勤、纪律、学习态度等其他因素进展合理评价。十、说明先修课程：《高级语言程序设计1：OBE扩展工程2：OBE扩展工程附录3：计算机科学与技术专业课程教学大纲OBE扩展工程与本课程关系最为亲热的是《高级语言程序设计》，高级语言程序设计侧重于程序设计和软件开发，本课程重点是阐述高级语言程序开发工具中的编译系统的工作原理。在课程的算法讲授中会运用到《离散数学》和《数据构造A》等课程相关学问点。执笔人： 审核人： 教学院长：编写完成时间： 2023.2.28附录1：信息安全专业课程教学大纲OBE扩展工程一、课程目标对信息安全专业毕业要求的支撑关系附表1课程目标对信息安全专业毕业要求的支撑关系课程目标目标3.1使学生理解编译系统的工作流程和编译器各功能模块的设计原理，培育学生抽象思维和

毕业要求 毕业要求指标点2-1-L科学、计算机科学和网络规律思维力量，能够利用根本原理和方法识别和分析计算机软件开发领域简单工程问题的特征。目标3.2使学生把握设计、编制、分析和维护编译程序的方法和技术，能够应用这些根本方法和技术分析和解决软件开发中的实际问题，使学生问题和解决问题。目标3.3使学生把握词法分析器、语法分析器开

2、问题分析2、问题分析

空间安全的根本原理对复杂安全问题的关键过程环节进展识别和推断。2-3-H能运用工程科学根本原理分析简单工程问题，通过文献争论等方法给出具体指标和多种可选方案，进一步依据约束条件进展优化分析，以获得有效结论。3-1-M把握信息安全领域所涉及的软硬件系统，从3、设计/开发解培育学生软件开发力量，具备开发系统软件的能 决方案力。

数字电路、计算机系统、到各类系统软件的根本理论与设计构造。二、课程目标达成状况评价〔一〕评价方法说明课程目标达成状况评价可以承受问卷调查〔学生自评、成绩分析〔形成性评价和期末总结性评价相结合、专家〔同行〕评价等多种方法进展。教师可以选择其中的一种方法或者多种方法在每学期期末完成，承受多种方法时，建议对各种方法的评价结果进展比照分析，并随考试试卷等材料上交存档。〔二〕评价方法举例以成绩分析法为例，下面给出课程目标的评价过程，鼓舞教师承受多样化的评价方式。课程目标的达成状况依据寻常成绩和期末考试卷面成绩来综合评价，具体要求见表4。本课程寻常30145225分考察了课程目标3的达成状况；期末试卷中，考察课程目标、目标2和目标3的题目所占分值依据实际状况填写〔建议考察课程目标2的试题所占分值更高。2课程目标成效评价表寻常成绩 卷面成绩教学目标 总评价值总分值值确定值评价值总分值值确定值评价值3.1303.2453.325合计100×100××21、课程目标对应的寻常成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的过程性评价成绩的平均值。2、课程目标对应的寻常成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。3、课程目标对应的卷面成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的期末试卷成绩平均值。4、课程目标对应的卷面成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。5、每行的总评价值依据寻常成绩评价值*30%+卷面成绩评价值*70%获得。6“×”处不需要填写。本课程支撑毕业要求指标点达成状况，如附表3所示：达成状况评价值3达成状况评价值3.13.23.3毕业要求指标点目标达成权重目标达成权重目标达成权重值值值值值值2-10.71002-300.7103-1000.713说明：13.12-11；假设支撑多个毕业要求，则权重之和为13.2、3.3依据上述方法来处理。22-133.12-3的达成值等于附33.23-133.3的总评价值。三、持续改进本课程在每轮授课过程中，依据学生作业、试验状况及课堂研讨状况和学生、教学督导等反响，准时对教学中缺乏之处进展改进。课程完毕后，对课程教学目标达成状况进展分析，依据分析结果，同时结合毕业生、校友、社会第三方的问卷调查、座谈会、调查报告等形式的反响，在本课程后面轮次的教学中改进提高。执笔人： 审核人： 教学院长：编写完成时间：2023228日附录2：软件工程专业课程教学大纲OBE扩展工程一、课程目标对软件工程专业毕业要求的支撑关系附表1课程目标对软件工程专业毕业要求的支撑关系课程目标目标3.1使学生理解编译系统的工作流程和编译器各功能模块的设计原理，培育学生抽象思维和

毕业要求 毕业要求指标点2-1-L能够运用数学、自然科学和工程科学的根本规律思维力量，能够利用根本原理和方法识别和分析计算机软件开发领域简单工程问题的特征。目标3.2使学生把握设计、编制、分析和维护编译程序的方法和技术，能够应用这些根本方法和技术分析和解决软件开发中的实际问题，使学生问题和解决问题。目标3.3使学生把握词法分析器、语法分析器开

2、问题分析2、问题分析

原理，识别并推断软件工程简单工程问题的关键环节。2-3-M能生疏到解决软件工程领域简单工程问题有多种方案可选择，能通过文献争论寻求可替代的解决方案。3-1-L了解软件工程理论与方法领域、软件工程技培育学生软件开发力量，具备开发系统软件的能 3、设计/开发解力。 决方案

术领域和相关通信领域的影响软件设计目标和技术方案的各种因素。二、课程目标达成状况评价〔一〕评价方法说明课程目标达成状况评价可以承受问卷调查〔学生自评、成绩分析〔形成性评价和期末总结性评价相结合、专家〔同行〕评价等多种方法进展。教师可以选择其中的一种方法或者多种方法在每学期期末完成，承受多种方法时，建议对各种方法的评价结果进展比照分析，并随考试试卷等材料上交存档。〔二〕评价方法举例以成绩分析法为例，下面给出课程目标的评价过程，鼓舞教师承受多样化的评价方式。课程目标的达成状况依据寻常成绩和期末考试卷面成绩来综合评价，具体要求见表4。本课程寻常30145225分考察了课程目标3的达成状况；期末试卷中，考察课程目标、目标2和目标3的题目所占分值依据实际状况填写〔建议考察课程目标2的试题所占分值更高。2课程目标成效评价表寻常成绩 卷面成绩教学目标

总分值值确定值评价值总分值值确定值评价值

总评价值3.1303.2453.325合计100×100××21、课程目标对应的寻常成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的过程性评价成绩的平均值。2、课程目标对应的寻常成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。3、课程目标对应的卷面成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的期末试卷成绩平均值。4、课程目标对应的卷面成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。5、每行的总评价值依据寻常成绩评价值*30%+卷面成绩评价值*70%获得。6“×”处不需要填写。本课程支撑毕业要求指标点达成状况，如附表3所示：达成状况评价值3达成状况评价值3.13.23.3毕业要求指标点目标达成权重目标达成权重目标达成权重值值值值值值2-10.71002-300.7103-1000.713说明：13.12-11；假设支撑多个毕业要求，则权重之和为13.2、3.3依据上述方法来处理。22-133.12-3的达成值等于附33.23-133.3的总评价值。三、持续改进本课程在每轮授课过程中，依据学生作业、试验状况及课堂研讨状况和学生、教学督导等反响，准时对教学中缺乏之处进展改进。课程完毕后，对课程教学目标达成状况进展分析，依据分析结果，同时结合毕业生、校友、社会第三方的问卷调查、座谈会、调查报告等形式的反响，在本课程后面轮次的教学中改进提高。执笔人： 审核人： 教学院长：编写完成时间：2023228日附录3：计算机科学与技术专业课程教学大纲OBE扩展工程一、课程目标对计算机科学与技术专业毕业要求的支撑关系附表1课程目标计算机科学与技术专业毕业要求的支撑关系课程目标目标3.1使学生理解编译系统的工作流程和编译器各功能模块的设计原理，培育学生抽象思维和

毕业要求 毕业要求指标点2-1-L能够应用数学、物理等自然科学和工程科学规律思维力量，能够利用根本原理和方法识别和分析计算机软件开发领域简单工程问题的特征。目标3.2使学生把握设计、编制、分析和维护编译程序的方法和技术，能够应用这些根本方法和

2、问题分析

的根本学问，识别和分析计算机及应用领域简单工程问题的特征。2-3-H能运用工程科学基本原理分析简单工程问技术分析和解决软件开发中的实际问题，使学生 2、问题分析问题和解决问题。目标3.3使学生把握词法分析器、语法分析器开发方法学习构造编译器的各种工具的使用方法，3、设计/开发解培育学生软件开发力量，具备开发系统软件的能 决方案力。

题，以获得有效结论。3-1-M把握设计/开发简单工程问题解决方案所需要的专业学问和开发工具。二、课程目标达成状况评价〔一〕评价方法说明课程目标达成状况评价可以承受问卷调查〔学生自评、成绩分析〔形成性评价和期末总结性评价相结合、专家〔同行〕评价等多种方法进展。教师可以选择其中的一种方法或者多种方法在每学期期末完成并随考试试卷等材料上交存档。〔二〕评价方法举例以成绩分析法为例，下面给出课程目标的评价过程，鼓舞教师承受多样化的评价方式。课程目标的达成状况依据寻常成绩和期末考试卷面成绩来综合评价，具体要求见表4。30145分考察了课程目标2的达成状况，有5分考察了课程目标3的达成状况；期末试卷中，考察课程目标123的题目所占分值依据实际状况填〔建议考察课程目标2的试题所占分值更高。2课程目标成效评价表寻常成绩 卷面成绩教学目标

总分值值确定值评价值总分值值确定值评价值

总评价值3.1303.2453.325合计100×100××21、课程目标对应的寻常成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的过程性评价成绩的平均值。2、课程目标对应的寻常成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。3、课程目标对应的卷面成绩确定值是指选课学生获得的支撑该课程目标的期末试卷成绩的平均值。4、课程目标对应的卷面成绩评价值是指该项确实定值除以总分值值。5、每行的总评价值依据寻常成绩评价值*30%+卷面成绩评价值*70%获得。6“×”处不需要填写。本课程支撑毕业要求指标点达成状况，如附表3所示：达成状况评价值3达成状况评价值3.13.23.3毕业要求指标点目标达成权重目标达成权重目标达成权重值值值值值值2-10.71002-300.7103-13说明：000.7113.12-11；假设支撑多个毕业要求，则13.2、3.3依据上述方法来处理。22-133.12-3的达33.23-13中课程目3.3的总评价值。三、持续改进馈，准时对教学中缺乏之处进展改进。课程完毕后，对课程教学目标达成状况进展分析，根据分析结果，同时一、抽样和检测的总体要求〔一〕抽样应严格执行《官方取样程序》和《抽样和检〔由中监所另发，并按要求填写信息。〔二〕畜禽产品样品原则上应从动物养殖和屠宰环节抽〔户鸡肉、鸡肝以及鸡蛋中兽药残留检测的，从养殖场抽取的样品数量应超过抽样总数的三分之一。〔三〕依据四个季度均匀抽样，除后续跟踪抽样外，不应对同一采样点重复抽样。〔四〕检测工作应依据规定的检测工程〔2〕和检测方法及残留限量〔3〕执行，确证方法依据农业农村部公布的方法或参照国际公认的方法执行。各检测机构不得擅自变更检测方法和检测限。确需调整本打算确定的检测限、检测方法的，应事先向中监所提交申请材料，经核准后再进展检测。〔五〕以筛选方法或定量方法检测出的阳性样品，如已有确证方法，应进展确证检测，以确证结果作为上报数据。〔六〔超标样品报告制度，应在觉察阳性样品5个工作日内，将检测报告送抽样单位及其所在地省、市、县畜牧兽医主管部门。省级畜牧兽医主管部门要准时启动跟踪抽样程序，每觉察1份阳性样品，对被抽样单位连续跟踪抽样25份样品。跟踪抽样检测数量4报送。二、检验结果应用省级畜牧兽医主管部门要做好跟踪督办，样品来源所在地畜牧兽医主管部门接到残留超标检测报告后，按我部有关要求启动追溯程序，对养殖场〔户〕用药状况进展核查，重点检查兽医处方、用药记录和库存兽药产品。觉察养殖用药不标准、未执行休药期等问题，责令其马上改正；觉察假劣兽药、制止使用的药品及其他化合物，马上清缴销毁，依法97法对相关兽药经营企业、生产企业予以从重惩罚。同时，要法对相关兽药经营企业、生产企业予以从重惩罚。同时，要监视养殖场或屠宰场对涉及制止使用的药品及其他化合物的动物及其产品，实施无害化处理。相关处理惩罚结果要及时报省级畜牧兽医主管部门，并做好调查处理记录，记录存2年以上。附录：1.2023年各省份兽药残留监控任务2.检测工程技术质量部1、建立标准的工程技术资料室，设立专职工程技术档案治理人员。2、催促参建各单位〔包括监理单位、施工单位、调试单位〕严格遵守公司工程技术档案资料治理方法，并纳入合同条款中进展治理。3、协调参建各单位工程技术资料治理的重大问题。4、审定经过监理单位审查的各类技术资料，并准时移交资料室。5工程工程开工报告和批复文件纪要、备忘录；工程的设备合同及其执行文件、纪要、备忘录；设备招标投标文件；工程工程〔含安装备忘录等，工程监理合同及其执行文件、纪要、备忘录；工程工程招标投标文件；本部门发出的有关工程前期的依据性文件、报告、纪要、备忘录等。6、负责借阅档案资料的妥当保管准时归还。7、负责经手保密档案和资料的保密工作。8、负责与设备供货方在技术资料方面的联系。9、负责在到设备领出开箱时通知工程部收取开箱资料。生产部1、负责提交考核期的运行材料，包括本企业的技术标准，系统图等必备图纸，操作票、工作票、运行日志等运行台帐，培训教材，考核期的生产记录，考核期的事故分析、处理记录及结论等。2、负责借阅档案资料的妥当保管准时归还。3、负责经手保密档案和资料的保密工作。工程资料室1、负责图纸、设备资料、技术协议、信函文件、综合文档等的接收、传递及移交公司档案室前的保管。2、负责各种工地会议纪要、施工措施、监理月报、质检报验单等的接收整理、登记、发放和借阅。3、负