芯片制造技术

RFID标签天线及读写器设计制造1芯片设计及制造1.1芯片设计技术按照能量供给方式的不同，RFID标签可以分为被动标签，半主动标签和主动标签，其中半主动标签和主动标签中芯片的能量由电子标签所附的电池提供，主动标签可以主动发出射频信号。按照工作频率的不同，RFID标签可以分为低频(LF)、高频(HF)、超高频(UHF)和微波等不同种类。不同频段的RFID工作原理不同，LF和HF频段RFID电子标签一般采用电磁耦合原理，而UHF及微波频段的RFID一般采用电磁发射原理。不同频段标签芯片的基本结构类似，一般都包含射频前端、模拟前端、数字基带和存储器单元等模块。其中，射频前端模块主要用于对射频信号进行整流和反射调制；模拟前端模块主要用于产生芯片内所需的基准电源和系统时钟，进行上电复位等；数字基带模块主要用于对数字信号进行编码解编码以及进行防碰撞协议的处理等；存储器单元模块用于信息存储。目前，发达国家在多种频段都实现了RFID标签芯片的批量生产，模拟前端多采用了低功耗技术，无源微波RFID标签的工作距离可以超过1米，无源超高频RFID标签的工作距离可以达到5米以上，功耗可以做到几个微瓦，批量成本接近十美分。射频标签的通信标准是标签芯片设计的依据，目前国际上与RFID相关的通信标准主要有:ISO/IEC18000标准（包括7个部分，涉及125KHz,13.56MHz,433MHz,860－960MHz,2.45GHz等频段），ISO11785（低频），ISO/IEC14443标准（13.56MHz），ISO/IEC15693标准（13.56MHz），EPC标准（包括Class0,Class1和GEN2等三种协议,涉及HF和UHF两种频段）,DSRC标准（欧洲ETC标准，含5.8GHz）。目前电子标签芯片的国际标准出现了融合的趋势，ISO/IEC15693标准已经成为ISO18000－3标准的一部分，EPCGEN2标准也已经启动向ISO18000－6PartC标准的转化。中国在LF和HF频段RFID标签芯片设计方面的技术比较成熟，HF频段方面的设计技术接近国际先进水平，已经自主开发出符合ISO14443TypeA、TypeB和ISO15693标准的RFID芯片，并成功地应用于交通一卡通和中国二代身份证等项目，与国际主要的差距存在于片上天线与芯片的集成上，目前国内还没有相应的产品应用。国内在UHF和微波频段的标签芯片设计方面起步较晚，目前已经掌握UHF频段RFID标签芯片的设计技术，部分公司和研究机构已经研发出标签芯片的样片，但尚未实现量产。国内在UHF频段读写器RF芯片和系统芯片（SOC）的设计方面也具有一定的基础，但目前产品仍主要依赖于进口。在微波频段（2.45GHz及5.8GHz）,国内有部分应用在公路不停车收费项目中，相对于国外在这两个频段的技术水平，国内的研究还处于起步阶段，尚无相应产品。与国际先进水平相比，中国在RFID芯片设计方面的主要差距如下：1）国外在RFID芯片设计方面起步较早，并申请了许多技术专利，而国内起步相对较晚，尤其在UHF及微波频段的RFID芯片设计方面的基础比较薄弱，取得的自主知识产权较少；同时，一些目前广泛采用的RFID标准中包含了国外的技术要求及专利，在实现这些标准过程中有可能触及一些国外已有的技术及专利；2）在存储器方面，发达国家已经开始采用标准CMOS工艺设计非挥发存储器，使得RFID标签芯片的所有模块有可能在标准CMOS工艺下制作完成，以降低生产成本，而国内目前仍主要采用传统的OTP工艺或EEPROM工艺，关于标准CMOS工艺下的非挥发存储器的研究刚刚开始；湾冲绪3蠢）智洪在超串低功孔耗模调拟电卡路研盲究方井面，堂国内浓研究秧较少飞，而六这方刷面的览设计批将直剩接影情响到搏芯片烦的阅悠读距拌离和唱整体坚性能蒸；抢嚷半4女）计湖RF刊ID断标签窑对成激本比摘较敏预感，傻芯片偶设计亭需要刘在模鞭拟电喉路和生数模厉混合栏电路轰设计规方面删具有晃丰富谦经验眨的专辱业人添才，逐而国唱内目籍前从携事射测频识帽别芯眯片设绍计的顿人才箭较少坟，技咐术力象量相栏对薄童弱。浪1.软2谊芯片坑制造感技术败肆膝半诱导体里芯片磁制造激工艺团有多忙种类缴型，卧根据践器件烫类型况可分镇CM让OS属，B忍ip圆ol唤ar疯，B道IC焰MO短S等侦，根攀据材脉料可拥分S合i，痰Ge寨，G悼aA炸s工阴艺等私，根痒据衬旧底类陵型可腥分体遥硅工酬艺、坐SO距I工笼艺等春。R陪FI缴D应农用特忽点是翻批量芒大，简但成菊本极惑其敏傅感，倦尽管格有厂仍家利坟用特页殊工毯艺设隙计制怜造出意相应聋产品联，但眨综合资多种省因素齿及国饥内实薄际情设况，译基于鱼CM柜OS茫制造房工艺魂的工顾艺技朴术比坦较适伞合目桂前应雁用需离求的类RF士ID慨的加脸工制叼造。亦目前羞国外只也主忙要采乱用标唤准C件MO有S工沃艺，含且普奴遍采狡用0络.3换5模μ类m以均下工硬艺。猾2极天线撕设计嫩与制每造技倾术爹2.尾1糟天线掉设计甘技术选宽堪天违线是指一种错以电停磁波戒形式百把无缓线电选收发甩机的夫射频其信号亏功率竭接收制或辐屿射出夹去的议装置次。天存线按厌工作愤频段良可分买为长土波、迅短波努、超侵短波挂以及门微波链天线眉等；滚按方孙向性膀可分专为全姐向天侵线、份定向思天线史等；例按外过形可街分为腔线状甲天线滨、面登状天礼线等代。在题RF倡ID息系统变中，塘天线检分为杏标签愚天线受和读锯写器掘天线赤两种抖情况倦，当暮前的疏RF泻ID慎系统椒主要哑集中来在L斥F、够HF帽(逆13辫.5洞6M类Hz占)、肢UH旧F和颤微波偿频段宽。天衰线的售原理净和设纹计在包LF甜、H修F和祥UH顿F频腥段有冶根本乘上的呢不同宰。实垄质上溜，由殃于在辩LF裙和H装F频惧段系翅统近画场区开并没悬有电踏磁波注的传猛播，宣因此雕天线搅的问劈题主童要集桐中在灶UH佣F和渗微波跳频段辞。类倍旧（距1）宪R罢FI酒D标赛签天筒线设丙计龟叔姑天我线的丹目标由是传乐输最僵大的怜能量虑进出耕标签杀芯片浸，这念需要叔仔细静的设敏计天跳线和割自由衡空间共以及恒其相社连的以标签增芯片叛的匹绍配，董当工安作频珠率增盘加到巾微波迟区域浇的时破候，峰天线销与标守签芯州片之辩间的拥匹配此问题朽变得拍更加溜严峻哨。一粮直以棒来，行标签隐天线许的开劲发基提于的抗是5赵0或想者7影5欧极姆输拴入阻豆抗，玉而在话RF头ID宪应用酿中，耐芯片插的输孩入阻行抗可亭能是课任意静值，并并且铃很难防在工捕作状郑态下吼准确证测试饰，缺骑少准贷确的阳参数启，天训线的剖设计是难以丙达到央最佳蛋。相托应的哑小尺外寸以刮及低栗成本帝等要患求也炸对天捉线的尽设计瓣带来烫挑战库，天岭线的六设计层面临鞋许多坚难题穷。箭卧仪标牢签天帅线特引性受赤所标余识物撕体的逢形状菠及物映理特肯性影排响，花标签刚到贴扬标签括物体有的距跨离，弄贴标告签物塑体的尝介电纱常数毕，金奇属表之面的翅反射木，局窜部结涂构对和辐射顷模式股的影捞响等航都将桥影响骑天线愿的性璃能。跑给潮在绣国内娃，有俯近百社家的每天线迈公司誓或工遣厂。筐这些州天线雕厂家突主要朱的产以品是驱基本旗上传顶统的谣卫星兔接收兰天线足、电斑视接超收天房线、疾车载举天线挨，蜂某窝基济站天所线等伯等，油相对盾于从严事R茶FI咱D天歉线设背计的管单位华很少半，基商础比驱较薄从弱。芝国内盆LF川和H逆F的殃RF亚ID然系统劝的天寿线设击计比阶较成过熟。贝对于盈特定斑环境关应用忌的U己HF笔频段寺RF杆ID讨天线风的设份计和速应用揉比较幻成熟吃，比殿如应虑用于杀铁路指运输廉上的赌电子嘴车号炒自动盒识别罩系统面，该岂系统皇中阅选读器蚀天线娃为安狐装在什地面秀的微霸带天笋线，湖并且婶带有龟很坚闭固的观防护缎外壳闪。标璃签体麻积较沿大并馒且封床装在招塑料院壳中售，标倘签天配线可爷靠性究高、贺加工所工艺也成熟双但是汽成本景高。抵在读叶写器进和标稻签位意置、耀方向悬不固事定、映或者柱周围拣电磁逼影响日严重末的一乐些系剃统中椅存在剪识别嫩准确惊率不增高，腔测试埋一致衔性不蚀理想沙的问见题。遥闻乡国汉外已骆经研掠制出捞一种失在R医FI闹D芯各片上特嵌入拆天线录的方犁法，乘常规怜RF杜ID辣芯片欧需要丢用一债个外债部天筒线来肃实现伟它们飘与外渔部读刷取器隐的通门信，拿而微锦芯片喷的片杰载天址线使纽它能颠够接罩收来肌自读印写器卸的无顶线信锈号并划将I腿D号排回送龙。因困此这含种芯偏片无踪需任庭何外童部器涨件即芳可自商行进直行工业作。赵目前摊国内朗关于热片上绑天线进的研玩究基鬼本处丈于空便白状箭态。罪国外夸致力守于覆茫盖各名种频稍率的属复合尚天线吃设计侮，基党于研智究可注以用三来纺拔织复抖合天寨线、念电源蛛和数渴据总冰线的设未来必服装世所需徐要的肝新型尿材料舟，促伤进电沃子标狐签在辛服装矮上的烫使用邻。国升外厂交商都柱在研找制和相生产玉低成聚本的类电子汗标签狱天线骂和标辣签产跪品，彩用以秆满足晃产品酱商品沙标志彼等方倡面的屿需要名。国乖外注截重标朋签天妥线知叠识产谷权保陷护，教许多司标签快天线码都申路请专斤利保破护。室在特亩殊的叨使用址要求喇下，卖标签闲天线挂仍然洲需要涌有很捞高的灭可靠驾性。黎国内东在U狗HF负和微干波频团段的田标签搜天线三的形矩式、客体积状、成唯本方零面和战国外蕉技术女存在破一定指的差蜓距趣蒸军垃省（送2）托RF追ID屡读写箭器天凳线设腾计院告点对崭于近除距离奶13拣.5藏6M概Hz拴RF简ID秀应用凡(<踪唤10脚cm谨)，寇比如术门禁畏系统插，天描线一堡般和昂读写桂器集糠成在炒一起恩，对有于远桑距离债13没.5精6M让Hz呼(寻10到cm仇~凝1m册)或洁者U先HF敲频段摇(<拦脉3m城)若的R持FI陶D系股统，餐天线无和读拔写器祖采取摔分离某式结储构，宿并通洒过阻运抗匹缎配的划同轴晶电缆层连接坏到一堪起。茧读写没器由币于结育构、穷安装领和使乎用环晴境等规变化顾多样返，并冰且读柜写器音产品积朝着荒小型犹化甚哄至超榴小型俗化发虚展，垒天线烘设计丽面临惭新的林挑战悬。秧浅遭读苦写器绕天线匹设计趁要求污低剖访面、享小型析化以丛及多苗频段亚覆盖绝。对躲于分睛离式毒读写快器，灶还将吊涉及筐到天旬线阵单的设理计问乐题。炒它还唇涉及躬到小列型化花的问厅题带斗来的采低效呜率、毛低增糊益问箩题，带这同鼻样是游国内举国外崖共同明关注廊的研斧究课持题。大忽繁国赞外已满经开币始研词究读奶写器级应用王的智冠能波防束扫趋描天炭线阵软，读洋写器版可以禽按照珍一定熊的处焰理顺黄序，稻“匀智能圾”畏的打且开和斗关闭亡不同脊的天陡线，饱使系满统能关够感英知不堂同天矿线覆回盖区朗域的粥标签损，增拉大系另统覆身盖范哭围。祝2.饰2攻天赏线制补造技抚术蹦唱愧目瓶前，龙有三赢种天辩线制钱造技旁术：烤蚀刻倦/冲掠压天捕线（书et同ch恐ed见/p弹un溪ch织ed烂a登nt聋en宜na絮）、贤印刷锅天线葬（p窜ri注nt胶ed香a庙nt陆en眉na缸）和膜绕线愉式天饭线。纽扒疑在爪国际产上，欢目前铃一般享都采湖用蚀净刻/姑冲压凯天线析为主愚，其丘材料圆一般贡为铝瞒或者隐铜，帜因为卷其能脾提供碎最大推可能婆的信冬号给避标签俊上的制芯片骨，并裙且在架标签矿的方丰向性需和天戚线的勾极化就等特炸性上洪都能锡与读撞卡机疯的询炕问信仙号相弃匹配徒，同等时在摇天线糠的阻挨抗，羽应用疗到物集品上遇的R李F的搭性能懒，以睛及在患有其痕他的缸物品卖围绕虎贴标喉签物迹品时拳的R靠F培性能缩等方毙面都晴有很传好的手表现充，但奸是它引唯一留的缺袍点就倘是成短本太敏高。貌醉扫导制电油籍墨从纤只用瓣丝网库印刷苗扩展控到胶掩印、城柔性饱版印测刷、旷凹印卖，其含技术肚的进驴步，到促进赔了R巩FI哀D标档签的训生产屿和使愚用。才现在暖随着砌新型钞导电凝油墨竟的不翁断开愿发，关印刷商天线涂的优曾势越钱来越氏突出相。导涛电油毒墨是聚由细轿微导段电粒仔子或役其他相特殊哪材料织(如圆导电线的聚们合物缎等)死组成献，印丰刷到羡承印程物上爪后，章起到懒导线扫、天顿线和贝电阻躲的作般用。独这种蛙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