微机械行业及其微细加工技术

一、引言

随着微／纳米科学与技术(Micro/NanoScienceandTechnology)的发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。3.6微机械及其微细加工技术3.6微机械及其微细加工技术微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之一。微机电系统与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术的发展等密切相关。被公认为21世纪的重点发展学科，是国家重点发展的高技术产业。微机电系统是微电子技术的延伸和拓宽，通过传感器、致动器、信号处理、控制等多项功能，与外部世界有机联系起来。

微机电系统的概念始于20世纪80年代，一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内的装置。在不同国家和地区有不同的术语和解释：美国称作MicroElectro-MechanicalSystem-MEMS（微型电-机系统）微型电-机系统是由电子和机械组成的集成化器件或系统，采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到毫米之间。3.6微机械及其微细加工技术在欧洲则称作MicroSystem（微系统）是指具有微米级结构，可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。在日本称作MicroMachine（微机器）微机器由只有几毫米大小的功能元件组成，它能够执行复杂、细微的任务。3.6微机械及其微细加工技术3.6微机械及其微细加工技术微机电系统是指特征尺寸在微米至毫米范围内，由电子和机械组成的集成化器件或系统。按外形尺寸，微机械可划分为110mm的微小型机械,1m1mm的微机械，以及1nm1m的纳米机械。图13.6微机械及其微细加工技术微机电系统器件不能用总尺寸来定义，而用特征尺寸来表征。特征尺寸：决定器件性质和加工工艺的关键尺寸。如扩散硅压力传感器的膜厚。

由于微机电系统的基于微电子技术的背景（从微机械的加工方法来看，它主要起源于硅集成制造技术），使其具有集成电子器件所具有的微小、可靠、灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批量生产等系列优点。3.6微机械及其微细加工技术微机械具有以下几个基本特点：1.体积小(特征尺寸范围为lnm～10mm)，精度高，重量轻，惯性小。2.性能稳定，可靠性高。微机械器件体积极小，封装后几乎可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的影响，具有较高的抗干扰性，可以在比较恶劣的环境下稳定工作。3.6微机械及其微细加工技术3.能耗低，灵敏性和工作效率高（响应时间短）。完成相同的工作，微机械所消耗的能量仅为传统机械的十几或几十分之一，却能以数十倍以上的速度运作。微机电系统不存在信号延迟等问题，从而更适合高速工作。4.多功能和智能化。集约高技术成果，附加价值高。5.适于大批量生产，制造成本低廉。3.6微机械及其微细加工技术具有以下一般机械所不能及的优势：1.表现在活动空间、操作对象和工作环境上。微机械能够进入极狭小空间进行作业，且不易对环境造成不必要的影响与破坏。微机械还可以面对很脆弱、易损伤的工作对象。微机械还可出现于人类所不能及或不适宜的工作环境。3.6微机械及其微细加工技术2.与一般机械相比，微机械所表现出的智能化程度更高、实现的功能更趋于多样化。

国外一些有实力的半导体公司和研究机构对微机械的研究非常重视，已研制开发出许多有特色的产品。3.6微机械及其微细加工技术

目前，微机械的研究正在从基础研究逐步迈向研制开发与实用阶段。许多微传感器、微执行器以及微光学部件已经在某些行业得到应用。3.6微机械及其微细加工技术3.6微机械及其微细加工技术目前微机械研究分为理论研究、技术基础研究及应用研究三部分。1、理论基础当尺寸缩小到一定范围时，许多物理现象与宏观世界有很大差别。在微观尺寸领域，与尺寸L的高次方成比例的惯性力、电磁力(L8)等的作用相对减小，而与尺寸的低次方成比例的黏性力、弹性力(L2)、表面张力(L1)、静电力(L0)等的作用相对增大，同时表面积(L2)与体积(L3)之比增大，热传导、化学反应等加速和表面间的摩擦力显著增大。3.6微机械及其微细加工技术因此，许多宏观物理量进入微观尺度后甚至需要重新定义。相关学科，如微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微结构学和微生物学等共同构成了微机械研究的理论基础。3.6微机械及其微细加工技术2、技术基础微机械涉及的基础技术主要有：微机械设计，微机械材料，微细加工，集成技术，微装配和封装，微测量，微能源，微系统控制等。3.6微机械及其微细加工技术微机械设计技术包括：微结构设计、弹塑性有限元分析、CAD/CAM技术、数据库技术、微系统建模与仿真等。微细加工技术：微机械的技术关键，目前常用的方法包括起源于半导体IC加工工艺的硅微细加工、微细电火花加工等特种精密加工、LIGA技术、微组装技术等。3.6微机械及其微细加工技术微系统测量技术：设计材料的机械性能、微构件或微系统参数与性能测试等，微型薄膜构件的弹性模量、泊松比、拉伸强度、残余应力、韧性等。在测量基础上建立相关的数据库和数学、力学模型，从而进一步服务于以后的设计、制造、改进以及测量过程。3.6微机械及其微细加工技术微系统的集成与控制：涉及系统设计、微传感器或微执行器与控制处理电路的集成、能源供给、接口通讯等。3.6微机械及其微细加工技术3、应用研究微机械在精密仪器、生物医学，特别是空间狭小、操作精度高、功能高度集成的航空航天设备领域，有着巨大的应用潜力。二微型机械发展现状及展望1.微型仪器微型仪器实际上就是具有仪器功能的MEMS产品，是MEMS技术与微电子技术综合集成的产物。它具有一般仪器具有的监测、测量、分析、诊断、控制和执行功能，是一种新型的智能结构。其基本结构模式为：微传感器+信号和数据处理电路（含控制软件）+外显示器或微执行器3.6微机械及其微细加工技术(1)微光谱仪(2)MEMS显示器美国TexasInstruments研究用于投影显示装置的数字驱动微镜阵列芯片（DigitalMicromirrordevice-DMD）。已成功利用768×576像素的DMD芯片制出彩色电视投影仪。DMD芯片利用硅表面微加工工艺制作，一个微镜的尺寸仅16um×16um。(3)微型化学传感器及微型粘度仪利用微机械薄膜（厚度仅3um）对化学分子的吸收，改变薄膜的体积，导致性能发生改变。3.6微机械及其微细加工技术2.MEMS在医疗和生物技术领域的应用生物细胞的典型尺寸为1～10um，生物大分子的厚度为纳米量级，长度为微米量级。微型器件尺寸也在这范围之内，因而适合操作生物细胞和生物大分子。另外，临床分析化验和基因分析遗传诊断所需要的各种微泵、微阀、微镊子、微沟槽、微器皿和微流量计等。3.6微机械及其微细加工技术3.6微机械及其微细加工技术增高体温法治疗癌症：利用超声波或无线电波的能量把身体某一部位加热到430C以杀死癌细胞。在治疗时温度不够效果就不好，温度过高又会伤害周围的组织，医生很难判断肿瘤部位是否达到这个温度。美国斯坦福大学研究所研制的微型温度传感器可注射到肿瘤中去。3.6微机械及其微细加工技术血管成形手术：在动脉中推动一个小气球来清除动脉壁上的硬化瘢块。通过注射或吞服法将微机械加工法制成的微型压力传感器放到气球里面，医生通过它可以知道瘢块清除工作进行得怎样。通过微机械加工技术已经能够制造出可以夹起一个红细胞的微型镊子。3.MEMS在汽车工业的应用汽车内安装的微型传感器已达几十个，用来传感气囊、压力、温度、湿度等的情况，以及进行智能控制。其中用于制导、卫星控制的微惯性传感器及微型惯性测量组合在汽车中可用于自动驾驶、防撞气囊、防报死系统（ABS）等。微型压力传感器：检测发动机进气管压力，微机据此控制发动机的工作状态，如最省油或排污最少的状态。微加速度计：用于汽车安全气袋系统中，检测和监控前面和侧面的碰撞。微角速度计：用于车轮侧滑和打滚控制。微型继电器等。3.6微机械及其微细加工技术3.6微机械及其微细加工技术4.MEMS军事应用展望军事领域是微机电系统技术的最早应用领域。3.6微机械及其微细加工技术汽车工业安全气囊加速计、发动机压力计、自动驾驶陀螺武器装备制导、战场侦察（化学、震动）、武器智能化生物医学疾病诊断、药物研究、微型手术仪器、植入式仪器信息和通讯光开关、波分复用器、集成化RF组件、打印喷头娱乐消费类游戏棒、虚拟现时眼镜、智能玩具3.6微机械及其微细加工技术微机电技术已经受到工业发达国家的高度重视。从微机电发展的总体水平看，许多关键技术已经突破，正处于从实验室研究走向实用化、产业化阶段。美国国家自然科学基金、先进研究计划、国防部等投资1.4亿美元进行微机电系统技术的研究。3.6微机械及其微细加工技术欧共体为了加强各国之间的组织和合作，成立了NEXUS（多功能微系统研究合作机构）组织。德国20世纪80年代中期发展的LIGA工艺，研究人员在实验室里制造出了微传感器、微电机、微执行器、微型流量计以及直径为数百微米的金属双联齿轮等微机械零件。日本制定了纳米制造计划、埃技术计划、微型机器人计划。目前日本共有以企业为中心的60多个微机电系统研究组。成立了微机械中心和微机械学会。3.6微机械及其微细技术加工我国的微系统研究起步并不晚，目前从事微机电系统研究的单位有60多个，主要集中在高校、中科院及信息产业部的研究所。已积累了一些基础技术，取得了一些传感器和微执行器的研究经验和科研成果，多数为实验室产品，商品化工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。3.6微机械及其微细技术加工二、微机电系统材料硅材料微机械加工源自于微电子集成制造，所以在微机电系统材料中，硅是最常用的材料。硅具有良好的机电合一特性。3.6微机械及其微细技术加工特点：1、既有足够的机械强度，又有良好的电性能，便于实现机电器件的集成化。2、硅的加工精度比较高，容易生成绝缘薄膜。3、硅具有压阻效应、霍尔效应。4、硅材料密度小，为不锈钢的1/3，而弯曲强度却为不锈钢的3.5倍。3.6微机械及其微细技术加工压阻效应：电阻阻值变化与应变成正比。

霍尔效应：霍尔效应是磁电效应的一种，将一块半导体或导体材料，沿Z方向加以磁场，沿X方向通以工作电流I，则在Y方向产生出电动势V，如图所示，这现象称为霍尔效应。V称为霍尔电压。3.6微机械及其微细技术加工压电材料一些离子型晶体的电介质存在压电效应(如石英、酒石酸钾钠、钛酸钡等)。可利用压电效应实现驱动或开发微型传感器。3.6微机械及其微细技术加工

正压电效应：在压电材料的一定方向上施加机械力而产生变形时，就会引起它内部正负电荷的迁移而产生电的极化，从而导致其两个相对表面(极化面)上出现符号相反的电荷，且其电荷密度与外应力成正比。3.6微机械及其微细技术加工逆压电效应（或称电致伸缩）：若对压电材料施加电场作用时，会引起材料内部正负电荷中心的相对位移，导致材料变形，应变与外电场强度成正比，应变的方向与电场方向有关。3.6微机械及其微细技术加工除石英晶体外，还有压电陶瓷、压电高分子材料和压电半导体等。由于压电陶瓷具有微小位移且精度高的突出优势，适应微机械、微机器人微小位移控制的要求3.6微机械及其微细技术加工形状记忆合金利用形状记忆合金的记忆特性可以制成对环境温度敏感的热响应执行器，也可利用形状记忆合金的导电特性进行电加热，构成电驱动执行器。超磁致伸缩材料材料在磁场作用下，其长度或形状发生伸长或缩短的现象，具有较大磁致伸缩应变的材料称为超磁致伸缩材料。超磁致伸缩材料可承受比压电陶瓷高一个数量级的应变，制成的超高精密致动器具有高的精度和大的输出力。三、微细加工技术

微细加工（Microfabrication）起源于半导体制造工艺，原来指加工尺度约在微米级范围的加工方式。

在微机械研究领域中，它是微米级，亚微米级乃至毫微米级微细加工的通称。3.6微机械及其微细加工技术

可以进一步分为微米级微细加工(Micro-fabrication)，亚微米级微细加工(Sub-micro-fabrication)和纳米级微细加工(Nano-fabrication)等。广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及了各种现代特种加工、高能束等加工方式。3.6微机械及其微细加工技术

从基本加工类型看，微细加工可大致分四类:

分离加工——将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射、破碎等；

接合加工——同种或不同材料的附和加工或相互结合加工，如蒸镀、淀积、掺入、生长、粘结等；3.6微机械及其微细加工技术

变形加工——使材料形状发生改变的加工方式，如塑性变形加工、流体变形加工等；材料处理或改性，如一些热处理或表面改性等。3.6微机械及其微细技术加工

微机械领域的重要角色不仅仅是微电子部分，更重要的是微机械结构或构件及其与微电子等的集成。所以微机械微细加工并不仅限于微电子制造技术，更重要的是指微机械构件的加工或微机械与微电子、微光学等的集成结构的制作技术。3.6微机械及其微细技术加工

目前，微机械微细加工常用的有光刻制版、高能束刻蚀、LIGA、准LIGA等方法。图7-19是通过三维微细加工得到的埃菲尔铁塔的微模型。

图7-19微细加工得到的铁塔微模型3.6微机械及其微细技术加工

微机械的微细加工技术（Micromachiningtechnology）有以下特点：⑴从加工对象上看，微细加工不但加工尺度极小，而且被加工对象的整体尺寸也很微小；3.6微机械及其微细技术加工⑵由于微机械对象的微小性和脆弱性，仅仅依靠控制和重复宏观的加工相对运动轨迹达到加工目的，已经很不现实。必须针对不同对象和加工要求，具体考虑不同的加工方法和手段；⑶微细加工在加工目的、加工设备、制造环境、材料选择与处理、测量方法和仪器等方面都有其特殊要求。3.6微机械及其微细技术加工教師專業發展評鑑

推動策略姚素蓮一、學校擁有發展課程的決定權：我們如何決定？課程決定的信心多大？課程決定規準是主觀？客觀？專業？隨意？檢視課程理論與學校現場二、教師自主決定：１.課程設計２.教學實施３.學生輔導４.教學評量５.班級經營教師的專業知能如何？

三、教師專業表現１.建構學校課程、教材２.靈活有效啟發學生３.培養學生帶著走的能力四、教師專業自主的省思１.教師自主VS.專業提升２.自主衝突VS.專業判斷３.判斷標準VS.衝突、和諧４.職場現象VS.專業知識五、評鑑為溝通與協商的歷程推動策略宣導→溝通→實作

↑↓培訓檢討評鑑回饋←結果運用←人員

實用正當可行具體壹、宣導一、對象：行政人員、教師、家長二、教師專業發展需求日殷三、評鑑的本質與目的是為教師專業發展四、試辦是找可行性和發現執行問題五、學校對教師專業發展評鑑提供支持六、試辦的選擇權在學校和教師七、並非為解決不適任教師八、試辦期程自９５年～９８年有補助經費，加速學校本位發展貳、溝通一、澄清疑慮１.與不適任教師、考績..等脫鉤２.是教師專業形象的重塑二、透過對話建立互信三、評鑑計劃回歸學校本位四、實施計畫、配套措施、支持系統同步規劃實施計畫含：（一）評鑑內容：１.課程設計與教學２.班級經營與輔導３.研究發展與進修４.敬業精神與態度（二）評鑑人員（三）評鑑方式（四）評鑑時程（五）評鑑結果的運用五、引領教師了解評鑑指標意涵＊評鑑指標可自訂，亦可參考已研發之規準評鑑人員在評鑑時，以所列規準和項目為依據。工具若有錯誤，結果必打折。好的工具應符合：1.教育現場需求2.有效評量出所要達到的目標。參、實作一、掌握回歸教學現場，化評鑑於無形的原則二、輔導建置教學檔案三、擬訂實用可行的評鑑方式四、開發簡易具體的評鑑工具一、掌握回歸教學現場，化評鑑於無形的原則1.全面宣導。自願參與鼓勵參與全面參與。2.成立評鑑推動委員會，討論評鑑計劃。3.透過工作坊(讀書會)方式詮釋評鑑規準、內涵、示例..等。4.經由討論決定評鑑模式、工具..等二、輔導建置教學檔案教育專業被挑戰！專業的尊嚴－是贏來的，而非爭來的.

專業的權威－是來自別人的肯定，而非自我的認定.建置教學檔案是展現教師專業能力簡易、具體的措施教學檔案的定義一、教師是教學檔案的主體二、教學檔案的要項是有系統的、有結構的三、教學檔案的內容是反省與對話的歷程四、教學檔案的目的是促進教學專業發展教學檔案含一、教學目標與教學理念之陳述二、檔案計畫與組織三、課程的計畫四、作業的樣本（含對作業的解說與標題）五、師生的互動情形六、學習成就記錄七、個人的成長及反省八、他人的回饋及建議九、自我專業成長的記錄十、對檔案的評述三、實用可行的評鑑方式:(一).對話(二).審閱教學檔案(三).教室觀察(四).教學計畫(五).作業調閱對話訪談模式有:1.非正式訪談2.導引式訪談3.標準化開放式訪談4.封閉式訪談(一).對話說明目的→使參與者感到輕鬆→促使人際互動1.要有議題.2.對話內容要有準備.3.論述要有辯証,勿淪於各抒己見.訪談要領1.確認錄音(錄影)正常運作2.一次只問一個問題3.過程保持中立4.鼓勵多發表意見5.紀錄時不忘注意受訪者表情6.順利移轉主題訪談方法與發問技巧

1.選取符合主題需要人員.2.先談事實的問題,再談爭論性問題.3.先討論現況,再討論過去或未來的事4.讓受訪者自由發揮感覺.對話(訪談)1.以開放性問題引起討論問題.如:您以為目前的教學環境如何?2.激發與會者提出不同想法.如:我不認為有那麼糟,您以為呢?3.達到初步共識後:引入更深入討論.如:我們可以怎麼做?4.討論離題時,需回到主題.5.盡量不要過度贊同與會者意見.6.盡量不發表個人意見.7.錄音或即時紀錄要點.(二).審閱教學檔案評量要項一.檔案目錄二.個人專業背景三.課程教學設計與省思四.學習成果評量五.班級經營與輔導六.個人專業成長*注意事項1.不論是教師成長或學生作品樣本均須同一教學單元,其因為:a.能真正深入教學整體的各細部,有效協助教師反思與專業成長.b.一次一個單元不會造成過度負擔較易引導教師分析反省自己.2.簡要解釋每一個作品內容的標題和註解3.對教學及作品反省思考.4.檔案內容要逐年更改.屬直接觀察教學行為、察看環境與設備,以了解實際行為、環境現況的方法.含:1.教學環境佈置.2.學習形式組織.3.師生互動.4.靜態文件資料.如:教師檔案、學習檔案、作業、會議記錄.(三).教室觀察:教室觀察方法:1.準備紀錄單／檢核表.2.觀察並紀錄每一項的行為或存在事實.3.可同時紀錄次數、人數,以符合程度、量化依據.4.留意紀錄單未載之行為或情形.5.簡單紀錄行為發生或事物存在之現場環境.6.觀察次數要足夠,避免斷章取義.教室觀察注意事項:一.要蒐集具有代表性的事實資料,不必蒐集全部資料二.掌握新發現問題,並進一步蒐集相關資料以為驗證三.有效運用時間:1.觀察教師教學與學生學習2.與學生晤談

3.觀察對象要廣泛,觀察要完整a.觀察課外活動情形b.查閱評鑑與績效管理情形c.分析學生近期表現資料d.分析特殊學生學習紀錄4.把重點擺在影響學生表現的原因(四).教學計畫一.教學目標1.掌握教材內容~能連結舊經驗與新概念.2.設計教學方案~依據教學目標設計教學活動並提供切合教學目標的補充教材.3.系統呈現教材二.活用教學策略~善用不同教學方法；善於發問.三.善用評量回饋~評估學習表現提供回饋與指導.

(五).作業調閱1.作業內容要項分布是否平均?2.學生作業品質.3.教師批閱是否適切~批閱的時間、方式進度、評語..等等作業訂正是否追蹤?四、開發簡易具體的評鑑工具1.課程計畫編寫自我檢核表2.課程計畫編寫課發會檢核表3.教學檔案建置指標檢核表4.教學環境佈置檢核表5.教室觀察表6.班級經營表現(檢核表)教室觀察量表1.教室管理技巧2.維持適當的教室行為3.集中並維持學生的注意力4.提供學生複習與練習的機會5.展現發問技巧6.呈現多種教學方式7.營造一個積極的教室氣氛8.促進正向的自我概念9.佈置積極教室環境教學效能教室觀察表一.學科教學能力1.導引學習方向2.清楚呈現教材3.運用多種教學技巧4.提供練習與回饋5.有效利用時間二.班級經營能力1.維持班級秩序2.鼓勵正向行為表現3.實施生活教育4.表達清晰5.板書適當6.正向的師生互動教學效能教室觀察表臺北縣○○國小教師教學評鑑—「教室觀察」檢視表

基本資料授課教師（）老師學習領域（）學習領域授課班級（）年（）班教材來源□教科書（）版本□其他

教學日期

年月日時分觀察者指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議1瞭解學校課程計畫的內涵□持續參與領域課程計畫□徹底執行彈性學習課程□設計校本課程相關主題與活動設計□規劃補救或銜接教學□自編教材或學習單□教學札記□□2瞭解學校課程的架構□了解學校願景□了解校本課程主題□參與教科書評選□了解重大大議題融入領域教學□□□□□□

指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議3參與學校課程的發展□參與課程發展小組的座談、研討□與行政人員、教師意見交流、對話□學校課程地圖充分運用□積極參與學年（班群）、班親會會議□學生課程活動紀錄□教學札記□

4分析可運用的教學資源□思賢公園□文化藝術中心□新莊運動公園□署立台北醫院□大眾廟□慈祐宮□廣福宮□文昌祠□新莊老街□傳統行業□導護商店□自然公園

5研擬適切的教學計畫□教學計畫設計週延□活動安排與學校行事曆相結合□運用家庭聯絡簿進行個別輔導□注意學生學習經驗□流暢的教學歷程

6編選適切的教學材料□教材與學生身心發展相合□採用教科書版本經過分析、整理□社區資源融入教材□教學材料與學生生活經驗相融合□

指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議7規劃適切的學習評量□筆試□口試□表演□實作□自我評量□小組討論□實踐□同儕互評□

8編選適當的評量工具□文字描述的□圖畫的□量化的測驗□檔案記錄的評量□口語的評量□□□□□

指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議9.營造有利於學習的情境□配合教學單元佈置教室□佈置欄分類呈現□佈置欄內物品沒有掉落□掃除用具排列整齊□粉筆槽整理乾淨□黑板只呈現該單元內容□學生桌面整潔□學生抽屜不雜亂□教師桌面整齊□桌椅排放整齊□公物維修良好□打開窗戶讓教室光線充足、通風□美化、綠化教室□教室內外保持整潔□維護教室內設備如CD收錄音機、電視、錄放影機等清潔。□上課秩序良好□□

指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議10.建立有助於學習的常規□準時上、下課□學生秩序井然有序□學生學習氣氛熱絡□師生互動頻繁□學生對教師問題樂意回答□學生學習態度認真□學生對課程有興趣□學生穿著整齊□教師說話語調自然□教師說話語詞合適、比喻恰當□教師教學態度自然、舉止適合□教師穿著得體□眼神關愛全班□表情□以手勢動作輔助表達□身體動作□儀態大方□模仿動作□幽默、滑稽動作□指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議11.積極落實班級學生輔導.□快樂的學習氣氛□良好的教室常規□傾聽□讚美□口頭鼓勵□良性的師生互動□活絡的親師互動□和諧的同儕互動□適才適性的原則□鼓舞團隊士氣□公開獎勵□私下規勸□妥適規劃合作學習小組□肢體語言溫婉□晤談12.建立人力資源網絡與管理□班親會□親師懇談□家庭訪問□電話聯絡□聯絡簿聯絡□約談□通知書聯絡□E-Mail聯絡□由學生轉達□親職講座□□指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議13.善用教學媒體進行教學□自製教具□合製教具□多媒體使用：電腦結合電視、等□投影機使用□實物使用□網路資源□學術專書□雜誌資源□刊物資源□圖書館資源14.靈活運用多元的教學方法□講授法□問答法□討論法□比較法□練習教學法□欣賞教學法□角色扮演□價值澄清□問題解決□小組討論□合作學習□發現教學法□建構式教學法□創意思考教學法□編序教學法□精熟學習法□發現教學法□協同教學法指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議15.系統呈現學習單元的教材內容□簡介單元之重要性□資料蒐集整理□教學活動設計周延□□□□□□□16.熟練有效的教學技巧□講解□問答□討論□示範□參觀□訪問□表演□觀察□測量□紀錄□實驗□操作□角色扮演□分組報告□閱讀□資料蒐集□創作指標觀察紀錄或資料來源省思暨建議17.實施多元化的學習評量□筆試□