TOPCon行业深度潮水带星来

光伏行业景气度高能源危机和全球变暖等生态环境问题促使全球积极寻找可替代化石能源的绿色可再生清洁能源。太阳能因资源取之不尽用之不竭、容易获取、清洁安全等优点，被普遍认为是最具发展前景的绿色可再生能源之一1世纪以来光伏行业步入快速发展阶段在技术不断进步的驱使下，光伏发电成本持续下降，以欧洲为代表的传统光伏市场加速发展，东南亚、澳洲、中美地区、南美地区及中东地区等新兴光伏市场迅速崛起。根据彭博新能源财经预计3年新增光伏装机容量将达到-G0年至年光伏新增装机量年复合增长率为，在此十年中光伏行业迅速扩张。1年至24年的CGR为.36，这意味着光伏行业预计将继续保持强劲的增长，但略低于前一个十年这可能是由于各种因素如竞争加剧新冠疫情的影响或监管及政策变化所导致的。图到224年光伏新增装机历史容量及预测，单位：W 图光伏新增装机年复合增长率资料源：E，储券研院 资料源：E，储券研院规模：022年后中国光伏产业规模占比降低，但全球规模持续扩容根据Infksting供需数据库统计2年全球光伏需求最终达到W，对比1年W有W的增量，年增率高达%。3年全球需求将成长.6至GW，增速有所放缓。2年中国与欧洲是光伏市场增长的最大动能3年全球光伏市场恐难以维持与去年相同幅度的增长。年经历了俄乌战争带来的能源价格上涨，大幅刺激了再生源的需求各国对绿色清洁能源的重视程度大幅提升光伏市场也因此蓬勃发展年全球经济弥漫较悲观的氛围，需求热区欧洲在Q4虽有减缓但今年全球光伏市场仍靠中国及欧洲支撑，预计两大市场份额将持续超%。根据TUV莱茵统计，美国于5年后将逐步扩产成为光伏市场新一代主力军。当前中国光伏系统在成本端存较大优势（以美国为例，光伏电站成本端美国为7元W中国为5元W，宜近一倍且人工费用低原材料价格低等优势是其他各国短期内无法实现的因此近5年中国不必担心国外市场份额的提升将对中国产生替代。图各地区光伏市场份额预测，单位（,） 图各国未来光伏装机量扩产计划预告，单位（）17%17%17%19%27%17%17%17%19%27%35%2%19%22%23%33%3%20%20%38%4%4% 5% 5% 6%37%20%22%35.0030.0025.0020.0015.0010.0050000.0

中东和洲地区 中国 亚太地区 美洲 欧洲19%21%20%19%21%20%35%20%20%20%34%22%19%20%33%200 201 202 203E 204E 205E 206E资料源：lrPorEurop，储证研院 资料源：V莱茵各政官，联证研院全球政策：若放开束缚，则需求提升光伏市场规模较大的国家都仍面临政策上的束缚若各国政府在政策上能有所放松，则今年需求端仍有望得到进一步的增长。如美国的双反政策和、31条款，印度的D关税造成进口条件恶劣。巴西对于小型分布式项目也开始征收电网使用费，越南FT5补贴取消并宣称2年将不会增加并网光伏及风电项目。政策上的变化使得3年的全球光伏市场的成长将难以维持去年的增速但整体而言即使成长率相较年下滑，仍预期3年整体市场需求在总量上成长约W，且若各国能在政策限上有所突破，需求将有机会出现进一步的增长，乐观情况下预期全球需求将有机会成至W。1美国双反政策：针对中国及台湾晶体硅光伏电池，不论是否单独、部分或完全组装成为其他产品，包括但不限于晶硅电池，组件层压板，面板和建筑一体化材料等，征收反倾销与反补贴税。012年对中国光伏电池及组件进行双反调查，征收4.7到15.7%反补贴税，8.3到29.9的反倾销税，此次裁定认为组件原产国为电池制造国。2美国21条款：8年时任总统特朗普实施为期4年保障措施，电池每年.5W配额，额部分征收额外关税；组件征收额外关税，首年30，后每年逐年递减5；中途双面组件几次经历被豁免、恢复01关税；22年2月4日最新政策，拜登宣布延长201关税，但已明显缓和。3美国31条款对250亿美元的中国进口产品征收0的关税，其中包括光伏组件、逆变器、接线盒和背板。美国贸易代表处(US)启动第二轮01条款，额外对中国高达00亿美元商品征收10%关税。4印度D关税对光伏电池、组件加税25、0%5越南FIT政策：Fed-in-ar,是一种新能源补贴政策，政府补贴新能源发电成本约常规上网电价差额。图各国和地区光伏市场前景预测资料源：lrPorEurop，储证研院供需：由紧转松，价格博弈光伏产业链供需关系由紧转松价格竞争势在必行火热的光伏需求引发了供应各环节快速扩张2年底光伏主供应链硅料硅片电池组件的有效产能都已达到W以上对应今年不超过W的需求已是相当宽裕再加上今年每季度各环节都仍有大量的新扩产计划落地，全年各环节都仍会增加W以上的全新产能，供链从供不应求转变回供过于求只是时间问题，价格竞争已逐步显现。从光伏产业链的料构成来看，主要的原料包括硅料、白银、光伏玻璃、铝、铜等。在价值占比方面，于硅料和白银的价值较高因此占比重较高硅料的占比高达%—%白银的占比则达到%—%，玻璃占比为%—%，铝和铜的占比分别为%—和%—%。因此硅料价格的变动，对于整个光伏产业链价值的变化来说都显得尤为重要。料的降价，有利于电池生产企业成本的下降。图光伏产业链图 图光伏产业链5大主要原材料价值占比，单位（）硅料 白银 玻璃 铝 铜10.5%10.5%11.5%13.0%43.0%22.0%资料源钧股，储券院 资料源各司告联证究院光伏市场概况2年全产业链的利润被硅料企业收入囊中“拥硅为王或将成为历史回顾本轮光伏产业链价格上升周期从0年5月底开始～2年2月上旬历时近年。期间，硅料从低点价格6万元吨，上升到最高-1万元吨，上涨%多；硅片售价较1年上涨%-%电池价格从0年约8元瓦上涨约%；组件从2年前的5元瓦左右涨至目前最高2元瓦左右，涨幅为%。近期，高纯石英砂和石英坩埚短缺并大幅涨价，反映出光伏行业需求正在持续回暖。硅料：价格下降势在必行硅料价格已出现松动信号根据中国有色金属工业协会硅业分会公布最新多晶硅格上（3月8日国内单晶复投料成交均价为8万元吨单晶致密料成交均价为1万元吨均周环比降幅为%这是硅料价格反弹以来的第二次下调也是硅料今年供应宽松的信号。1.721.72图硅料价格下降 图组件价格与硅料价格脱钩1.721.72左：多晶硅致密料（元/kg) 多晶硅多晶用（美元/kg）

2.200

多晶硅单晶用（美元/kg）

30.020.010.00.0

2.102.001.901.801.701.601.50 资料源：If，储券究院 资料源：If，储券究院硅料大涨大跌是供求和产业链双重角逐超预期的装机需求将对组件价格形成支撑在过去两年中光伏产业需求量大幅增加带动产业链上下游的产能扩张在硅片、电池片和光伏组件企业大幅扩产的同时硅料产能增长相对较慢上下游结构性供需失衡，是造成去年这轮硅料价格大涨的主要原因。3年初以来，硅料价格整体呈“”型走势。进入1月后硅料价格一度暴跌，月底止跌企稳，春节过后硅价格又开始上涨单晶复投料均价近一个月内累计涨幅超%，多晶致密料涨超%。硅料大涨大跌背后，是供求和产业链双重角力。近期，高纯石英砂和石英坩埚短缺并大幅涨价，反映出光伏行业需求正在持续回暖坩埚的紧缺带动硅片价格开始强势组件重要辅料（乙烯-醋酸乙烯酯共聚物）树脂或O（聚烯烃弹性体）大幅上涨且出现短缺，这种影响甚至可能超过硅料，间接影响组件产能受限。在全球新增光伏装机容量中性预测达到W情况下，组件也很难大幅下降。组件：价格将与硅料脱钩”3年硅料供应充足价格逐步回归理性组件价格与硅料价“脱钩是大势所趋厂商对今年市场持乐观态度根据硅业分会预测3年我国硅料产能将达到.4万吨同比增长%，产能供给充足价格下跌确定性强全年虽仍有部分时节会因为检修等供给波动出现价格的短期震荡，但大抵呈现逐月缓降的趋势。与硅料价格呈现强相关的硅片价格也将呈现相同趋势，议价话语权开始过渡到下游电池与组件环节，需求旺季有望较往年提早到来因此各光伏组件厂商对3月及以后的市场普遍持乐观态度替代E：OPn助力降本提效追求更低的度电成（L是光伏行业发展的永恒主题其核心驱动力在“效率以降本增效为核心技术迭代迅猛推动光伏发电成本近十年来共下降%以上。在过去的五年中，我们见证了从多晶IF（铝背板）电池技术向单晶C过渡，半片电池的广泛应用双玻产品多栅线的引入以及向大尺寸硅（mmmm、mm）的演变，掺硼P型硅片的引入以及近年N型OCn的崛起。以C为代表的P型电池技术已逐步进入尾声。得益于单晶硅片的大规模推以及设备国产化的快速提升，自7年起RC电池的技术得以快速的应用和推广，其主要原因是该技术制造的工艺简单且生产成本低。但是从当前技术发展状况来看，C电池的效率已逼近极限%，其成本下降速度也有所放缓。图1电池片及硅片尺寸进化史资料源：EAtyscerjcttaSttcs，储券院OCon产能爬坡接替C势不可挡2年以后C电池产能将大幅减少N型产能快速增长由于OCn工艺可以自C接轨且成本能够贴近C，致使OCn成为当下N行迭代的最优解根据Infk盘点3年底On名义产能将有望超过W，TOn正以超预期的速度加速对C产能的替代，3年TOn市占率将一举超过%，为新一代光伏电池技术开启新的篇章。图1高效电池产能预估 图1高效电池出货量预估100100100806040200

型（W) 型(W)3503504865906811638095471484 493 483 483221 222F223F224F225F226F

6050403020100

P型（W) 型(W)222298209459415423022516811577330221 222F223F224F225F226F资料源：If，储券究院 资料源：If，储券究院Oon电池：下一代主流技术趋势On即隧穿氧化层钝化接触电（lOxdeassedCtact属于N型电池片的一种3年由德国Frfr太阳能研究所首次提出在电池背面利用化学方法制备一层-m的隧穿氧化层然后再沉积一层掺杂多晶硅二者共同形成了钝化接触结构，为硅片的背面提供了良好的界面钝化。隧穿氧化层的作用是降低了载流表面复合速率，进而优化了电池转换效率，其极限转换效率可达%。图1Pon电池是N型电池的一种 图1Pon膜层示意图资料源公资整，储研究院 资料源晶能产白书储证研院高光电转换效率电池的原理是需要良好的表面钝化钝化是通过降低表面缺陷态密度防止少数载流子在缺陷态的复合从而提高电池的转换效率晶硅电池常用的化膜包括二氧化（O氮化（N三氧化二（O等基于On电池现有技术工艺路线电池发射极的叠层钝化膜由OlO3和Nx三层膜组成，各膜层的厚度分别为2m、5m和5m。6引用来自《PCon太阳电池发射极A23/Six与Si2/A23/Six叠层膜钝化性能的比较》杨露刘大伟张婷魏凯峰石慧君图1Si2/l23(1.5nm)/SiNx叠层Pon结构 图1最优解l233nm)/iNx叠层Pon结构 资料《OPn太阳池极IO/ix与O/AIO/x叠层膜钝性的联证研院表不同叠层钝化膜制备的Pon太阳电池的IV参数

资料《OPn太阳池极IO/ix与O/AIO/x叠层膜钝性的联证研院不同膜层VcIc/AsFF%EtSiOAl.5m/ix.0.4.2.1.6Al.5m/Six.7.4.2.6.1Al3mSix.1.4.4.3.4数据《OPn太阳池极IOix与O/IOSix层膜化能比，储券究院未来OCon降本增效的途径，可以用lO(3n)/iNx叠层叠层替代iO/lO(1.5n)/iNx叠层。根据青海黄河上游水电开发有限公司的研究表面，当O3厚度由5m增加到3m时钝化性能得到明显提升隐开路电压均值提高了m,达到7m,对应电池的光电转换效率升高了3个百分点,与O/O(m)/Nx叠层膜电池的转换效率持平对应电池的光电转换率可以达到2%因此，用O(3m)/Nx叠层叠层替代O/O(1.5m)Nx叠层，保证了光电转换率不受影响的同时，减少了电池的工艺流程，还降低了生产成本，是未来发展的重要途径一。核心优势：量产组件效率超E，达256%OCon电池降本增效提高度电成（LO光伏行业技术的革新主要源自于光伏人对降低度电成本的需求OCn电池尤其受到青睐的主要原因是大多数现有的C产线都可以升级为OCn产线并且Cn相较于C电池具有“三高三低”的发电优势，即“高效、高功率、高发电收益，低衰减、低温度系数、低O。以晶科能源的Cn电池产品为例：更高的极限效率较于C电池TOn电池的天花板更高发展空间更为广阔，其极限效率高达%，量产效率已超过C电池。晶科能源于年0月宣布其自主研发的N型TOCn电池，经权威第三方测试认证机构中国计量科学院检测实验室认证，全面积电池转化效率达到%。更高双面率相较C组件%的双面（发电增益%晶科OC双面率最高可达%（发电增益%更低衰减率OCn电池具有更低的衰减相较于传统C电池OC电池首年衰减小于且保证0年后输出功率不低于原始输出功率的%RC电池采用硼掺杂硅片基底初始光照后容易形成硼氧对在硅片基底中捕获电子以形成复合中心从而导致光致衰减OCn电池采用磷掺杂几乎没有硼-氧对进而光致衰减得到来极大的优化。图1当前各电池技术效率及成本对比 图1Pon具有更低的衰减率 资料源各司告联证究院 资料源晶能产白书储证研院实验室效率方面，Ocn光伏电池的理论转换效率能达到%。晶科N型On实现%转换效率天合光能N型On电池转换效率达%，隆基绿能实现P型TOn电池转换效率达%国外方面FrfrIE在面积为m2的电池片上实现.8的转换效率。量产效率方面规模投产pn的企业量产效率已达到根据各公司公告，一道新能浙江衢州约WOn产能，量产效率突破%，最高量产效率达到%，晶科尖山和肥东电池工厂W产线量产效率达%，中来股份山西太原一期W项目投产，电池量产效率可达到%；需求端：opcon市占率有望超25%3年TOCon市占率将超过，开启新一代电池技术的篇章。根据fsutig统计2年OCn落地产能为W实际出货量为W显高于HJT的落地产能（W）和实际出货量（3W。从上述数据可以看出，龙头厂大多选择了可以和C接轨，且成本接近C的TOCn作为技术的革新和产能的规划。在各大厂商加大资金布局新一代电池技术的情况下，截至目前根据fk的统计，高效电池技术的产能已突破W，2全年N型高效产品的出货量约为W，到3年底OCn名义产能将有望超过W。OCn电池正以超预期的速度对C产能进行替代，2年TOCn市占率超过，到3年其市占率有望一举超过%。图1各公司02年及023年Pon产能规划及出货量40.0

截至22年TPo能（G）

22年

截至22年底TPo（G）

22年TPo电池出货量（G）35.030.025.020.015.010.05.00.0资料源各司告联证究院近两年OCon电池规划迅猛，但实际出货量并不高，背后是厂商技术和产能的原因。根据各公司发布的公告统计，3年TOCn预计产能同比增长%，出货量同比增长%。因统计口径不同，但从各公司公告来看，2年OCn出货量市占率为%2年OCn头部玩家分别是晶科钧达一道新能正泰通威。2年这5家公司占OCn总产能规划的%，出货量占比也高达%，说明行业集中度高。从实际出货量与规划产能的关系来看，除一道新能达到满产外，多数厂商出货量不到规划产能的%，甚至有出货量为0的情况，这是因Oon技术工序相对复杂，新产能投入过程中的学习曲线也比较长，绝大多数产能规划要到年底甚至4年才能形成有效供给和有竞争力的产品。图22022年各公司规划产能（外圈）与出货量（内圈，单位：W资料源各司告联证究院产业化进程：OPn建厂投资成本仅比EC高0.8亿元/WOCon产线建设成本低与既有C产线兼容度高根据IA统计RC新建产线的单位成本是4亿/WOn新建产线的单位成本为2亿/W左右，由C升级的投入约为8亿元W。T新建产线的单位成本为-5亿/W。相比而言On较T具有明显的成本优势并且由于产线生命周期造成的折旧年限差异以及供需造成的排产差异，新建On产线平摊至单瓦折旧额已经接近C。从改建角度看C产线需要增加的投资（包括硼扩沉积设备等大致在-6亿/W，投资额并不高，0年以后扩产的C产线预留了On的改造空间，2年后新增的On产能主要新建为主。根据测算，TOCn整线回本周期在约为-2年左右。成本拆分：非硅成本是降本的主要空间电池片成本端主要包括硅成本和非硅成本在硅成本基本持平的情况下非硅成为各家比拼的主要板块硅成本端TOn的硅片成本约为6元（C为85元W，略高1元W大致持平。非硅成本端，On整体高07元W，高耗银量是主因C电池仅正面需要用银网电极单片耗量约为m而On正面电极采用掺铝银浆背面由于需要与多晶硅接触并最大程度地降低金属诱导复合速率因此采用纯银浆料，单片银浆耗量约为m，以银浆价格0元/kg测算，对应银浆成本增加2元W，未来可以通过使用一些更便宜的材料（例如铜）替代银来实现降本。表电池片成本拆

PEC电池片 TOPn电池片 JT电池片构成（元W）成本占比成本占比成本占比单晶硅片.5.6.4非硅成本.9.7.1银浆.2.2.5电力.3.4.4人工.1.2.2折旧.9.2.4其他.9.1.4制造成本.5.3.5平均售价.3约.4约.5数据源光盒，来份储证研院综上所述，在良率都可以做到(已有量产产线实现的情况下，TOn的单瓦成本比C高08元，T的单瓦成本比C高2元，而TOCn和H两者电池片的售价比C高1元。从产线搭建成本和电池片制造端成本来看，On已具备量产价值而JT仍不具备量产价值，这也是On可以实现大规模量产而T仍无法实现量产的本质原因。溢价测算：P同价情况下，OPCnIR高0.9%在N型与P型组件同价的情况下使用OCon可提高全项目内部收益率。综合各公司产品白皮书得平均On组件要比C组件多发电以上根据内部收益（IRR的计算方式假设IRR值不变发电量增加那么其组件成本可增-.5元W；同尺寸的组件版型，TOn组件比C组件在单片组件上功率要高出-0瓦。则意味着功率提高了%，%的效率提升则可给除组件以外的C成本节约至少有4元W以上的成本经过实际测算在TOn组件比组件贵2元W的情况下，依然可以给项目带来相同的内部收益率。表内部收益率测算单位：元N型组件P型组件IR差异N与P同价.%.%.%N比P贵.1.%.%.%N比P贵.2.%.%.%数据源各司品皮，证券究院电池片竞争格局：马太效应，资源向龙头集中行业资源向龙头集中海外建厂抢占市场份额光伏行业发展迅速马太效应明显新入行的企业若无法在短时间内掌握成熟的工艺技术，建立完善的生产体系和标准，面临被市场淘汰的风险。各环节龙头企业依靠资金、技术、成本和渠道优势不断扩大模，通过垂直一体化来不断抢占市场份额，并形成良性循环，小企业则因无法跟上行技术的脚步而逐渐丧失竞争力退出市场。除行业自身企业之间存在竞争关系以外，政也出台相应政策驱使落后产能企业清出，避免行业产能过剩。根据彭博新能源财经（F数据0年全球前五大硅片企业产能超过全球产能的%全球前十大电池片企业产能超过全球产能的（同比增长超过0个百分点全球前十大组件企业产能接近全球产能的%（同比增长超过0个百分点，扩张和渗透速度加快。当前行业国内主要玩家有晶科能（以光伏产业技术为核心建立了从拉棒铸锭硅片生产电池片生产到光伏组件生产的垂直一体化产能隆基绿（主要从事单晶棒、硅片、电池和组件的研发、生产和销售，为光伏集中式地面电站和分布式屋顶开提供产品和系统解决方案通威股（是全球最大的集研发生产销售服务于一体的光伏产品制造企业天合光（深耕太阳能光伏领域二十余年等国内光伏行业竞争激烈，近年来部分中国光伏企业将目光投向海外及东南亚地区，加大海外市场的开力度。以晶科能源为代表，该公司已在马来西亚和美国建立了海外生产基地，并将产累计销往全球0多个国家和地区境外收入占比超过%天合光能1年欧洲市场收入占比高达%，美国市场实现收入占比%。单从OCn产能规划情况来看2年TOCn产能落地规划量来看排名前三的玩家分别为晶科能（%润阳股（8%通威股（1%年OCn如火如荼，不断有新玩家涌入，部分老玩家将自家原有的C产线进行设备升级到OCn，从3年规划的落地产能来看，前三玩家分别为：晶科能源（%钧达股（%晶澳科（%仅一年时间OCon产能市场份额就变化明显由此可以看出此行业更新迭代快需紧跟时代的脚步才能不被淘汰图22022年各家Pon产能规划占比 图22023年各家Pon产能规划占比6.32%2.05%6.32%

26.70%

晶科能润阳股

4.70%4.70%

8.46% 晶澳科技钧达股中来股9.48%12.64%

15.80%

通威股份钧达股份一道新能中来股份正泰新能

4.70%4.70%2.35%4.47%1.88%3.76%

16.88%12.83%14.57%

一道新能润阳股份协鑫集成天合光能正泰新能聆达股份棒杰股份沐邦高科皇氏集团15.01%

晶澳科

4.70%

4.70%

2.82%

3.76%

亿晶光仕净科资料源各司告联证究院 资料源各司告联证究院Oon设备：增长确定性强On工艺是只比C多2步若想将C产线改造为OCn产线则理论上需要添加多晶硅/非晶硅沉积的/PE/VD设备及硼扩散设备。OCn生产过程与C高度重合，这也是TOn为N型电池首选的原因之一。在OCn设备中硼扩散炉和背面隧穿层多晶硅掺磷设备比较关键设备投资额分别约为0万元（占比%）和0万元（其中磷扩00万元，V退火0万元共占比%硼扩散炉设备的主要代表厂商有拉普拉斯捷佳伟创在P+磷扩设备方面，拉普拉斯技术最为成熟，普乐和捷佳伟创能够提供相应产品。在CD退火设备中，捷佳伟创技术最为成熟，金辰股份在此也有布局。设备端确定强，在行业扩产和持续性不断超预期的情况下，光伏行业未来将出现产能过剩现象，而导致行业内企业出现盈利分化。但设备端是最具确定性的环节，无论电池制造企业否盈利，设备企业都将获得超预期的订单和业绩。图2ERC与Pon工艺流程图及设备投资占比，单位（元，）资料来源《m,rststtsdfestvefOPnsrcsAcmrehsverve、佳创拉拉公公告联证研院OCon电池当前存在两大技术难点，一是隧穿氧化层生长的厚度和均匀性控制二是On掺杂多晶硅沉积问题。lOxe隧穿氧化层的厚度要求在2m范围内，太薄起不到界面钝化效果，太厚则难以发生隧穿效应使得接触电阻变大，都会影响最终电池片的电性能。常用的超薄氧化层生长方式有湿化学硝酸氧化等离子体辅助氧化热氧化/O3氧化原子层沉积D沉积等其中热生长的氧化硅不仅能提供卓越的化学钝化质量，其设置和处理也都容易完成，并且可以集成到后续的D多晶硅沉积工序中，由于其工艺较为成熟成为On厂商首先的工艺CD沉积-m的隧穿氧化膜可以和D沉积ly膜兼容但是均匀性难以控制工艺尚不成熟D方式沉积的隧穿氧化膜具有良好的均匀性，厚度可控，但是需要增加额外的步骤，不利于工艺简化。技术路径：PD工艺成熟度高，PED综合性能高On当前技术路线有三种DPD和PD当前D工艺成熟度最高，但D设备成膜速度快，且对环境污染底，有望成为OCn主流技术。CD全称为低压力化学气相沉积法(wrssemclareston)，该技术优点在于工艺成熟、控制简单容易，但难于镀膜速度慢，同时存在原位掺杂、有绕镀石英件沉积严重等问题该技术国内外起步较早市占率约为%产品良率可达%。CD全称为等离子体增强化学气相沉积法(smahcdmclarsiton)。根据沉积腔室等离子源与样品的关系、以及腔室的不同又可细分为微波CD、管式D和板式D。CD沉积速率快（高达/s，但目前沉积的氧化硅膜较厚、存在气泡问题，且维护成本比较高。目前行业占比约为%D为物理气相沉积法(sclrpsti)与D一样可以实现原位掺杂、无绕度和冷壁，但目前技术仍不够成熟。目前该技术产业化进度较慢，行业比约为%。表各方法对比方法 反应条件 成膜速率 市占率 良品率 优点 缺点PVD 0C mmi（本征；1mmi（原位杂

% % 产量高可直制备N型多晶层

产生绕，成慢PEVD 0，Pa

>mmi（原掺杂） % 预期>% 可以进单面备，率高

量产低对设要求对环境污染PVD 室温0C >mmi（原掺杂） % （中来） 无污染操作单安全 均匀性，退温度高数据源：If、乐能、中院工《于穿化钝化触高晶硅阳池究现与联证研院设备竞争格局：传统工艺环节竞争激烈在On各工艺环节中传统工艺环（制绒扩散制结刻蚀湿法刻蚀清洗）竞争较为激烈，隧穿层及掺杂多晶硅层制备环节竞争相对放缓。按多晶硅制备工艺路分为DCDVDCD厂商主要包括拉普拉斯红太阳赛瑞达北方华创等D厂商主要包括捷佳伟创红太阳金辰股份北方华创等D路线厂商主要是江苏杰太、中来股份；另外，江苏微导提出AD二合一设备，可用制备隧穿层及掺杂多晶硅层。捷佳伟创、金辰股份是为数不多同时布局LD、D设备的企业。2年4月捷佳伟创在接受机构投资者调研时表示公司在On技术路线上进行了全面布局能够提供包含VD及-ly在内的TOn整线工艺设备及配套的自动化设备，目前两种设备均在客户端使用情况良好。金辰股份管式VD样机已试用于澳科技、晶科能源等客户。该公司N型On电池平均效率大于%，最高效率%。从已建成产能来看中来股份目前共建成产能W分为江苏泰州W产能，山西太原W。江苏泰州W中，最先建成的WOn产能，公司采用CD路线。后续建成的所有产能均采用D路线。图2设备端各环节主要厂商名单资料源各司联证